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SEDEX 국내외 280여개사 참가
주성, 웨이퍼에 얇은 막 입히는
ALD '가이던스 시리즈' 선봬
신성, 청정 토털솔루션 한층 진화
세미파이브는 개발 플랫폼 공개
24일 한국반도체산업협회에 따르면 25일까지 서울 코엑스에서 '제26회 반도체대전(SEDEX)'을 진행한다. 올해 전시회는 '인공지능(AI) 반도체와 최첨단 패키지 기술의 융합'을 주제로 삼성전자와 SK하이닉스를 비롯해 국내외 총 280개 업체가 700개 부스를 마련해 참가했다.
특히 주성엔지니어링과 신성이엔지 등 반도체 장비기업들을 비롯해 동진쎄미켐과 에프에스티, 미코 등 반도체 소재기업, LX세미콘과 세미파이브, 딥엑스 등 팹리스 업체들이 대거 참여했다.
우선 주성엔지니어링은 반도체 원판(웨이퍼) 위에 필요한 막을 입히는 기능을 하는 원자층증착장비(ALD) '가이던스 시리즈'를 선보였다. 가이던스 시리즈는 시공간 분할을 통해 단차 피복 비율과 박막 응력 등을 조절할 수 있다. 이를 통해 반도체 원판 위에 얇고 균일한 막을 입히는데 유리하다.
가이던스 시리즈는 반도체 원판 위에 소스와 퍼지, 가스 등 노출 시간을 자유자재로 제어할 수 있어 △커패시터 △트랜지스터 △인터커넥터 등 다양한 반도체 공정으로 확대 적용할 수 있다. 주성엔지니어링 관계자는 "반도체 회로선폭이 10㎚ 이하로 미세화 하는 등 빠르게 진화하는 추세"라며 "가이던스 시리즈는 반도체 업체들의 다양한 요구를 충족시킬 수 있을 것"이라고 말했다.
신성이엔지는 국내 반도체 산업 성장을 이끌어온 클린룸 기술을 공개했다. 특히 산업용 공기청정기 'FFU(Fan Filter Unit)' 첨단 공기 제어 기술을 통해 반도체 제조 공간인 클린룸 안에 있는 초미세먼지까지 제어, 제품 품질과 수율을 높이는 기능을 한다. 신성이엔지는 이 분야에서 전 세계 시장 1위 자리를 이어간다.
신성이엔지는 FFU와 함께 △청정 기능에 제습 기능을 더한 'EDM(Equipment Dehumidify Module)' △외부에서 유입되는 공기를 깨끗하게 처리해 실내로 공급하는 '외조기(OAC)' △공기 중 이온성 오염물질을 제거하는 'WSS' △정상 방향으로 기류 환경을 유지해주는 '기류 연동 시스템' △초미세먼지까지 감지하는 '미립자 가시화 시스템' 등을 전시했다.
신성이엔지 관계자는 "이번 반도체대전에 47년간 축적한 공기 제어 기술을 바탕으로 만든 제품들을 대거 출품했다"며 "앞으로도 기술 선도 기업으로서 첨단산업에 쓰이는 다양한 청정 토털솔루션을 선도적으로 제시하며 관련 산업 성장을 이끌 것"이라고 말했다.
세미파이브는 이번 전시회에서 'AI가 세미파이브를 이끈다'는 슬로건을 앞세워 그간 반도체 개발 현황과 AI 설계 플랫폼 등을 알리고 있다. 올해 양산에 들어간 5㎚ 공정 AI 반도체와 함께 내년 상반기 중 양산할 예정인 14㎚ 공정 AI 반도체 플랫폼 등을 공개했다. AI 반도체 분야에서 수요가 급증할 것으로 기대되는 AI 칩렛 솔루션도 전시했다.
세미파이브는 고성능 AI 반도체를 손쉽게 만들 수 있는 개발 플랫폼을 제공한다. 미국과 중국에 사무소를 운영하며 해외 시장 진출도 꾀한다. 세미파이브 관계자는 "AI 전용 반도체를 개발할 수 있는 가장 효율적인 솔루션을 제공한다"며 "앞으로 글로벌 AI 산업 한 축을 축을 담당할 것"이라고 말했다.
업계 관계자는 "최근 전 세계적으로 AI 생태계가 형성되고 고대역폭메모리(HBM) 등 반도체 업황 역시 호조를 보이면서 반도체대전 현장을 찾은 참관객들이 예년보다 늘어났다"며 "이에 발맞춰 참가한 업체들도 이번 전시회에 AI 반도체 등 최신 기술을 대거 선보였다"고 말했다.
butter@fnnews.com 강경래 기자
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