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[파이낸셜뉴스] 국일그래핀이 12인치급 신규 그래핀 제조설비를 추가 도입했다.
특수지 전문기업 국일제지의 자회사 국일그래핀이 기존 12인치 다중 챔버와 R2R 설비 외 세계 최초의 12인치 원 챔버(Single Chamber) 그래핀 제조설비를 추가 제작해 성남피엠센터(PM, Pilot Manufacturing)에 설치했다고 11일 밝혔다.
이번 입고된 제조설비는 기존 다중 챔버(Multiple chamber) 외 하나의 챔버(Single Chamber)에서 티타늄(Ti) 버퍼층을 올리고 매체 이동없이 연이어 탄소 분해를 통한 직성장으로 그래핀 박막을 증착한다. 기존 12인치 Batch식 제조설비의 다중 챔버(Multiple chamber)와는 달리 하나의 챔버에서 두 공정을 연속으로 진행하는 차이가 있다.
이 회사는 이번 제조설비 도입으로 여러 종류의 매체에 적용할 수 있을 것으로 기대하고 있다. 기존 12인치 Batch식 제조설비는 12인치 이하 다양한 사이즈 제작이 가능하고 다중챔버를 활용해 단단한(리지드; Rigid) 평면 그래핀 제조를 목표로 설계된 장치다. 이번에 추가로 제작된 제조설비는 하나의 챔버로 티타늄 버퍼층의 산화 안정성을 높여 매체 적용이 증대될 것이라고 회사측은 설명했다.
회사 관계자는 “자사가 보유한 독보적 기술과 노하우를 통해 제품의 수정, 보완, 테스트 등은 지속적으로 진행중”이라며 “기술장벽이 매우 높은 CVD 박막 그래핀의 특징만큼 제품의 표준화 작업, 안정화 단계 등에 자사도 많은 공을 들이고 있다”고 말했다.
이어 “다방면의 공동연구를 통해 무전사 그래핀의 우수한 성질은 유지하고 다양한 제품 적합성을 테스트 하는 과정에 있다”고 덧붙였다.
한편, 국일그래핀는 저온 무전사 그래핀 제조기술에 관한 국내외 특허를 다수 보유하고 있다. 이 회사는 독창적인 제조 기술을 토대로 반도체, 투명전극, ITO 등 활용분야는 물론 향후 응용 기술개발 가능성도 높게 내다보고 있다.
kakim@fnnews.com 김경아 기자
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