국일그래핀, 그래핀 증착법 관련 특허 등록 완료

국일제지 자회사

[파이낸셜뉴스] 특수지 전문기업 국일제지 자회사 국일그래핀이 ‘대면적 그래핀 증착방법 및 이를 이용한 그래핀 연속 증착 장치’ 특허 등록을 완료했다고 13일 밝혔다.

해당 특허는 필름 기판을 공급 및 회수하는 필름 이송부를 포함한 롤투롤 공정(Roll-to-Roll processing) 장치를 구비하고 티타늄 층을 증착시켜 형성하는 스퍼터(Sputter)부와 티타늄층에 그래핀을 성장시키는 인젝터(Injector)를 포함하는 제조방식의 내용을 담고 있다. 각 공정은 독립된 챔버로 나누어져 이루어진다.

필름 기판 위에서 티타늄 층을 증착시킨 후 환원가스와 반응가스가 섞이지 않도록 한다.

이를 위해 티타늄 층을 환원단계와 그래핀 성장단계로 시간적 분할함과 동시에 퍼지가스로 환원가스와 반응가스의 공급 영역이 공간적으로도 분할된다.

환원가스와 반응가스가 섞여서 발생하는 파티클을 방지해 고품질의 그래핀을 제조할 수 있다.

국일제지 관계자는 “저온 무전사 그래핀 제조기술에 관한 국내외 특허 및 장치부분까지 특허를 보유함으로써 기술력을 확보하고 특허를 토대로 테스트를 지속하고 있다”며 “국일그래핀의 성남PM센터에서 다방면의 연구를 통해 무전사 그래핀의 우수한 성질을 가지는 제품 개발에도 힘쓰는 중”이라고 설명했다.

[e-mail] 김태일 기자

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