최첨단 파운드리 사업에 필수
EUV 장비 안정적 공급 요청
네덜란드 뤼터 총리도 만나
파운드리 역량 강화 협력 확대
반도체 공급망 문제 해소 등 논의
이재용 삼성전자 부회장(왼쪽 두번째)이 14일(현지시간) 네덜란드 에인트호번에 위치한 ASML 본사에서 피터 베닝크 ASML CEO, 마틴 반 덴 브링크 ASML CTO 등과 함께 반도체 장비를 살펴보고 있다. 삼성전자 제공
글로벌 반도체 패권 경쟁이 심화되고 있는 가운데 이재용 삼성전자 부회장이 세계 반도체 업체들이 쟁탈전을 벌이고 있는 극자외선(EUV) 노광장비 확보를 위해 전면에 나섰다. 유럽을 방문 중인 이 부회장은 네덜란드 ASML 본사를 찾아 최고경영진들에게 EUV 장비의 원활한 공급을 요청했다. 또 차기 유럽연합(EU) 정상회의 의장으로 거론되는 마르크 뤼터 네덜란드 총리를 만나 파운드리(반도체 위탁생산) 역량 강화와 반도체 공급망 문제 해소를 위한 협력방안을 논의했다.
■ASML 경영진과 직접 만나 담판
이 부회장은 14일(현지시간) 네덜란드 에인트호번에 있는 ASML 본사를 방문해 피터 베닝크 최고경영자(CEO), 마틴 반 덴 브링크 최고기술책임자(CTO) 등 경영진을 만나 양사 간 협력 강화 방안을 논의했다.
이 부회장과 ASML 경영진은 차세대 반도체 생산을 위한 미세공정 구현에 필수적인 EUV 노광장비의 원활한 수급 방안과 중장기 사업을 폭넓게 협의했다. 이 부회장이 네덜란드 ASML 본사를 찾은 것은 지난 2020년 10월 이후 20개월 만이며, 이번 만남에는 경계현 삼성전자 DS부문장이 배석했다.
반도체 업계에 따르면 7나노미터(㎚) 이하 초미세 공정에는 EUV 노광장비가 필수인데, 전 세계에서 유일하게 ASML이 독점생산하고 있다. 한대당 가격이 2000억원 안팎에 달하고 1년에 40대 정도만 생산할 수 있는데, 이를 먼저 공급받기 위해 굴지의 반도체 기업들이 줄을 선 상태다. 이 부회장의 이번 방문은 EUV 장비의 원활한 공급을 ASML 경영진들에게 직접 확답받기 위한 것으로 보인다. 지금까지는 TSMC와 삼성전자가 비슷한 물량을 나눠 가졌지만, 미국의 인텔이 파운드리 진출을 선언하면서 확보 경쟁이 더 심해질 수밖에 없기 때문이다.
삼성전자가 추격하고 있는 글로벌 파운드리 1위 기업인 TSMC는 현재 약 80대 정도의 EUV 노광장비를 보유한 것으로 알려졌는데, 올해 시설투자에 52조원을 투입하기로 해 추가 장비 도입을 예고했다. 올 초 ASML의 베닝크 CEO는 외신과의 인터뷰에서 수요보다 생산능력이 부족해 앞으로 2년간 EUV 공급이 어려울 수 있다고 밝힌 바 있다. 삼성전자는 20대 미만의 EUV 장비를 보유한 것으로 추정된다.
업계 관계자는 "EUV 노광장비를 사용하는 분야가 점점 늘어나고 장비 도입을 원하는 기업들도 많아지는 상황"이라며 "장비를 얼마나 빨리 많이 확보하느냐가 미세공정 경쟁의 승패를 가르는 기본이다"라고 말했다.
■EU 최고위급과 반도체 동맹 논의
이 부회장은 이날 네덜란드 헤이그에 위치한 총리 집무실에서 뤼터 총리도 만났다.
두 사람의 만남은 2016년 9월 이후 6년 만이다. 뤼터 총리는 '차기 EU 정상회의 의장'으로 거론되는 인물로, 유럽 최고위급 인사다. 2016년 9월 방한한 뤼터 총리는 이 부회장의 안내를 받아 삼성전자 전시관 '딜라이트'와 △사업현황 △주요제품 △핵심기술 등을 소개받은 바 있다.
이 부회장과 뤼터 총리는 △최첨단 파운드리 역량 강화를 위한 협력 확대 △글로벌 반도체 공급망 문제 해소 등 포괄적이고 전략적인 협력방안을 논의했다. 또 ASML 장비의 안정적인 공급이 가능하도록 뤼터 총리에게 협조를 요청한 것으로 알려졌다. 뤼터 총리는 평소 정보통신기술(ICT)·전기차에 관심을 보여왔으며, 삼성전자와 이 분야에서 협력을 확대하자는 데 의견을 같이한 것으로 보인다.
윤석열 대통령도 3월 당선인 신분으로 뤼터 총리와 전화통화로 양국 간 반도체 분야에서 협력 확대를 요청했다.
윤 대통령은 당시 뤼터 총리에게 "'미래산업의 쌀'이라고 불리는 반도체 산업에서 양국 간 협력을 더욱 확대해나가자"고 제안한 것으로 전해졌다. 뤼터 총리는 "한국과 네덜란드가 반도체 선도국가인 만큼 양국 간 협력시너지는 매우 클 것"이라고 답했다.
한편 이 부회장은 15일(현지시간)에는 벨기에 루벤에 위치한 유럽 최대 규모의 종합반도체 연구소 IMEC를 방문, 루크 반 덴 호브 CEO와 만나 반도체 분야 최신기술과 개발방향 등에 대해 의견을 나눴다.
ahnman@fnnews.com 안승현 기자
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