세미콘코리아 2023 3일까지
주성·한미반도체·시노펙스 등 K반도체 신화 일군 중기 총집결
신성이엔지는 차세대 클린룸장비
2일 국제반도체장비재료협회(SEMI)에 따르면 세미콘코리아가 오는 3일까지 서울 삼성동 코엑스에서 열린다.
특히 주성엔지니어링과 신성이엔지, 한미반도체, 시노펙스, 유니테스트, 케이씨텍 등 국내 유수 반도체 장비·소재 업체들이 부스를 마련했다.
우선 주성엔지니어링은 반도체 원판(웨이퍼) 위에 막을 입히는 기능을 하는 원자층증착장비(ALD) '가이던스 시리즈'를 선보였다. 가이던스 시리즈는 시공간 분할을 통해 단차 피복 비율과 박막 응력 등을 조절할 수 있다. 이를 통해 반도체 원판 위에 얇으면서도 균일하게 막을 입히는데 유리하다.
아울러 반도체 원판 위에 소스와 퍼지, 가스 등 노출 시간을 자유자재로 제어할 수 있어 △커패시터 △트랜지스터 △인터커넥터 등 다양한 반도체 공정으로 확대 적용할 수 있다.
김태영 주성엔지니어링 경영관리그룹장은 "반도체 회로선폭이 최근 10나노미터(㎚) 이하로 미세화 하는 등 빠르게 진화하는 추세"라며 "가이던스 시리즈는 반도체 업체들의 다양한 요구를 충족시킬 수 있을 것"이라고 말했다.
신성이엔지는 '파티클 가시화 시스템', '기류 연동 시스템' 등 반도체 클린룸 장비를 선보였다. 파티클 가시화 시스템은 눈에 보이지 않는 초미세먼지를 영상을 통해 감지하는 기능을 한다. 또 기류 연동 시스템은 클린룸 안에 신선한 공기를 공급한다. 아울러 조명 일체형 공기청정기인 '퓨어루미', 에어샤워 기능을 하는 '퓨어게이트' 등 일반 소비자를 대상으로 한 제품들도 선보였다.
박원세 신성이엔지 해외관리팀장은 "창립 후 46년 동안 공기 조화 분야에 주력해 온 기술력을 한 자리에서 경험할 수 있도록 부스를 꾸몄다"고 말했다.
한미반도체는 반도체 원판을 정밀하게 절단하는 '웨이퍼 마이크로 쏘' 장비를 공개했다. 한미반도체는 지난 2021년 '듀얼 척 마이크로 쏘'를 출시한 이후 '테이프 마이크로 쏘', '글라스 마이크로 쏘' 등을 잇달아 출시하며 마이크로 쏘 장비 라인업을 강화하는 중이다.
한미반도체는 반도체 후공정 장비 일종인 '비전플레이스먼트' 분야에서 전 세계 시장 선두자리를 이어간다. 비전플레이스먼트에 이어 마이크로 쏘 분야를 집중 육성한다는 방침이다. 한미반도체는 세미콘코리아 외에도 이달 중 열리는 '세미콘차이나'(중국), '세미콘타이완'(대만)에서도 마이크로 쏘 장비를 선보일 예정이다.
한편 국제반도체장비재료협회가 주최하는 세미콘코리아 전시회에는 올해 삼성전자와 SK하이닉스 등 반도체 제조사를 비롯해 ASML과 니콘, 캐논, 히타치 등 국내외 반도체 장비·소재 기업 450곳이 참가했다.
butter@fnnews.com 강경래 기자
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