[단독] 영창케미칼, 차세대 반도체 EUV 공정 핵심 소재 2종 양산

"하반기 국내 공급"

영창케미칼 CI

[파이낸셜뉴스] 영창케미칼이 초미세 반도체 공정의 극자외선(EUV) 광원용 소재 2종의 양산을 추진, 하반기부터 국내 공급을 시작하는 것으로 확인됐다.

7일 금융투자업계에 따르면 최근 서울 삼성동 코엑스에서 열린 '세미콘 코리아'에서 영창케미칼은 차세대 EUV 핵심소재 2종을 선보였다. EUV MOR(Metal Oxide Resist) 포토레지스트 전용 신너(Thinner)와 디벨로퍼(Developer)다.

신너는 포토레지스트 스핀 코팅 후 실리콘 웨이버 가장자리에 불필요한 이물질을 제거하는데 사용되는 소재다. 디벨로퍼는 일종의 현상액으로 일정부위 포토레지스트를 제거해 패턴을 형성하는데 사용된다.

특히 영창케미칼이 양산을 추진해 국내에 공급하는 신너와 디벨로퍼는 EUV MOR 포토레지스트용이다. EUV MOR는 기존에 사용되는 유기 타입 EUV 포토레지스트를 대체할 무기 타입 포토레지스트로 차세대 공정용 소재다.

영창케미칼은 EUV MOR 소재 2종을 양산해 올해 하반기 국내 첫 공급을 준비 중이다.

회사 관계자는 "EUV MOR 소재는 이 부문 글로벌 1위 기업의 생산 라이선스를 확보해 국내 양산과 공급을 추진한다"라며 "EUV 린스 국산화 이후 MOR 신너와 디벨로퍼 등 다양한 EUV 관련 사업 포트폴리오를 확대하고 있다"고 말했다.

2011년 설립된 영창케미칼은 반도체 소재 공정용 포토레지스트와 린스, SOC(Spin On Carbon), 웻케미칼, CMP 공정용 슬러리 등 다양한 소재 분야에서 독보적 기술을 확보한 기업이다. 최첨단 반도체 소재 개발을 통해 2022년 코스닥 시장에 상장했으며, 최근 적극적인 투자로 성주일반산업단지에 4공장을 준공하는 등 생산 규모를 확대하고 있다.

[e-mail] 최두선 기자

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