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이트론이 반도체 제조에 필요한 모니터닝 센서 시스템 개발에 성공했다.
13일 업계에 따르면 이트론은 국내 반도체 산업의 경쟁력을 높이기 위해 SoW 센서 기술개발에 성공했다. 모니터링 센서 시스템인 SoW 센서는 반도체 부품의 크기, 정밀성, 정확성 등을 결정하는 핵심공정인 에칭공정내 온도 및 플라즈마상태 등을 측정, 공정을 실시간으로 모니터링 할 수 있다. 이를 통해 반도체 생산공정 조건을 최적화해 생산성과 성능을 향상시킬 수 있다.
반도체 제조공정 기술은 미세화가 더욱 진행되면서 공정을 실시간으로 모니터링하는 SoW 센서는 반도체 산업에 있어서는 매우 중요한 기술로 평가된다.
시장진출을 선언한 이트론은 국내 공공 및 금융 기업 등 다양한 고객사에 IT인프라와 자체개발 가상화 솔루션을 공급하는 코스닥 상장사이다
이트론은 반도체 경쟁력 확보 차원에서 2017년 국가과제로 선정되어 SK하이닉스와 한국표준기술연구원, 나노종합기술원, 연세대, 광운대가 함께 참여, 산학협력을 통해 연구를 시작해 원천기술을 확보했다. 2020년 국가과제가 종료된 이후에도 지속적으로 연구개발을 진행해 기술적인 완성도를 높였다.
시장 출시를 위한 제품신뢰성을 확보하기 위해 많은 제품테스트와 모니터링시스템 운영 프로그램 개발도 마쳤다는 것이 회사측의 설명이다.
이트론이 개발한 SoW 센서온웨이퍼 모니터링 시스템은 30여종의 국내외 특허를 보유했고 지속적인 출원도 진행한다.
이트론 관계자는 "해외의 여러 반도체 제조업체와 장비사 로부터 필드 테스트 요청을 받고 있으며 구체적인 진행일정을 조율중에 있다"며 "이트론은 기존공급사와 차별화된 제품 라인업 보유와 제품 신뢰성을 바탕으로한 가격 경쟁력으로 글로벌시장에서 충분히 경쟁력을 갖추고 있으며 국산 SoW 센서를 활용함으로서 반도체 생산성과 성능의 지속적인 향상을 기대할 수 있다"고 설명했다.
kjw@fnnews.com 강재웅 기자
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