"LCD 아닌 LED" 탑엔지니어링, 비접촉 검사장비 공개

수직형 마이크로 LED 비접촉식 검사장비 출시
전기적으로 분리된 상태서 비접촉 검사 가능
10㎛ 크기 LED칩 불량까지 검출 가능

탑엔지니어링 수직형 마이크로 LED 검사장비. 탑엔지니어링 제공.

[파이낸셜뉴스] 탑엔지니어링이 디스플레이 장비에 이어 마이크로 발광다이오드(LED) 장비 분야로 사업 영역을 확장했다.

21일 탑엔지니어링에 따르면 수직형 마이크로 LED 비접촉식 검사장비를 대만에서 진행 중인 '마이크로·미니 LED 디스플레이 컨퍼런스'에서 처음 공개했다.

이번 장비는 LED 원판(웨이퍼) 위를 깎아내는 식각 공정을 마친 뒤 마이크로 LED 칩 수 천 개를 동시에 검사, 불량을 검출하는 기능을 한다. 전극을 수직 구조로 배치한 수직형 마이크로 전기·광학적 불량을 비접촉 방식으로 검사한다.

탑엔지니어링은 지난해 수평형 마이크로 LED 비접촉식 검사장비를 출시한 데 이어 이번에 수직형 마이크로 LED 비접촉식 검사장비를 선보였다. 특히 종전 장비가 30마이크로미터(㎛) 크기 LED 칩 불량을 검출했다면, 이번엔 이보다 작은 10㎛ 크기까지 가능하다.

특히 기존 자동광학검사(AOI), 광발광분광법(PL) 검사로는 검출하지 못한 미세 불량까지 검출이 가능하다. 수직형 마이크로 LED 칩은 스마트워치 등 마이크로 디스플레이에 적용된다.

탑엔지니어링 관계자는 "검사 성능을 고도화 해 향후 5㎛ 이하 마이크로 LED 칩을 검사할 수 있는 장비도 출시할 것"이라고 말했다.

[e-mail] 강경래 기자

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