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[파이낸셜뉴스] 최근 정부가 반도체 기술 초격차를 목표로 관련 연구개발 지원에 나선 가운데, 예스티가 국책과제를 통해 차세대 고압 어닐링 장비 개발에 착수한다.
27일 예스티에 따르면 이번 국책과제는 정부가 총 30개 사업에 286억원의 예산을 투입해 진행하는 대규모 연구개발 사업이다. 예스티는 이미 상용화에 성공해 제품을 판매 중인 경쟁사와 경합한 결과, 70억원의 연구개발비 지원 사업 주체로 단독 선정됐다.
예스티 관계자는 "산업통상자원부가 주관하는 ‘차세대 지능형반도체 기술개발 사업(반도체 제조공정 장비)’에 선정돼 반도체 구조 결함 개선용 중수소 고압 어닐링 장비 개발을 추진한다"고 말했다.
예스티는 고압 어닐링 장비와 관련해 알파 테스트를 성공적으로 마치고 공정평가를 위한 베타 테스트를 준비 중이다. 이번 국책과제 선정으로 생산성 및 공정 성능 측면에서 더욱 고도화된 고압 어닐링 장비를 선제적으로 개발할 계획이다.
기존에 개발 중인 예스티의 고압 어닐링 장비는 자체 보유한 설계 기술을 기반으로 150~900℃ 사이의 온도와 1~30기압까지의 공정 적용이 가능하다고 알려졌다. 차세대 고압 어닐링 장비에 대한 예스티의 개발 목표는 현재 개발 중인 베타기 대비 약 50% 증가한 웨이퍼 처리량과 공정 확대성이다.
예스티는 차세대 고압 어닐링 장비에도 자체 챔버 기술을 적용할 예정으로 이를 통해 장비의 효율성을 극대화할 방침이다. 현재 경쟁사가 판매 중인 고압 어닐링 장비는 수입 제품이 적용돼 가격 및 관리 측면에서 고객 부담이 크다는 게 특징이다. 예스티의 장비는 자체 기술을 사용하는 만큼, 가격 경쟁력을 비롯해 세정 및 장비 셋업 시간을 크게 단축할 수 있어 이번 국책 과제 선정에서도 평가위원들로부터 높은 평가를 받았다.
회사 관계자는 “생산성 및 공정 성능이 향상된 차세대 고압 어닐링 장비에 대한 수요 증가가 예상되며 정부 측면에서 이를 해결하고자 국책 과제를 시행하게 됐다”고 말했다. 이어 “현재 자체 개발 중인 고압 어닐링 장비가 경쟁사 대비 생산성이 뛰어나면서도 가격 경쟁력까지 확보했다는 점에서 우수한 점수를 얻어 차세대 고압 어닐링 장비를 개발하는 이번 과제에 선정됐다”고 말했다.
아울러 이 관계자는 “이번 국책과제로 어닐링 장비를 고도화하는 한편, 이와 별도로 고압 어닐링 장비에 대한 베타 테스트도 빠른 시일 내에 완료해 연내 장비 공급을 진행하는 게 목표”라고 덧붙였다.
예스티는 이번 과제수행과 함께 상용화를 추진 중인 고압 어닐링 장비 개발도 가속화할 계획이다. 고압 어닐링 장비 알파 테스트에서는 고객사인 국내 주요 반도체 업체가 요구하는 성능 수준 이상의 장비 성능을 검증받았다. 기존 고객사 외에도 또 다른 글로벌 반도체 기업과 어닐링 장비에 대한 공급 논의를 진행 중이다.
고압 어닐링 장비는 반도체 미세화 공정에서 수율 향상을 위한 필수 장비로 주목받고 있다. 시장 규모는 약 6700억원으로 추정된다.
dschoi@fnnews.com 최두선 기자
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