반도체 건식 세정 분야 선도
기술성 평가 AA등급 소부장 기업 첫 사
8일 최재성 아이엠티 대표이사는 서울 여의도 63빌딩에서 열린 기업공개(IPO) 기자간담회에서 "아이엠티는 반도체 공정의 건식 세정 분야에서 독보적인 기술력을 보유하고 있으며 차세대 반도체 고대역폭 메모리(HBM) 분야에서도 당사의 기술에 대한 수요가 큰 폭으로 증가할 것"이라며 "상장 이후 차세대 첨단 반도체 시장 선점을 통해 글로벌 톱 티어(Top-Tier) 기업으로 도약할 것"이라고 말했다.
지난 2000년 설립된 아이엠티는 반도체 공정장비 기업이다. 레이저와 이산화탄소를 활용한 건식 세정 장비 사업과 국내 최초의 극자외선 마스크 레이저 베이킹 장비(EUV Mask Laser Baking) 장비 사업을 영위하고 있다.
아이엠티는 반도체 건식 세정 분야에서 선도하는 기업이 되겠다는 자신감을 내비쳤다.
핵심 기술 중 하나는 레이저 세정 장비다. 기계적 접촉이 없는 원격 세정 방식으로 제품의 손상을 최소화할 수 있고, 정밀하고 빠른 세척이 가능하다는 장점이 있다.
반도체 분야가 발전하면서 새로운 물질이 적용되거나 패턴이 미세화되자 세밀한 건식 세정 방식에 대한 수요와 활용 범위가 확대되고 있다. 아이엠티는 레이저 세정 원천 기술을 바탕으로 프로브 카드(Probe Card)용 레이저 세정장비를 추가 개발했다. 최 대표는 "레이저 세정 기술은 최근 고도화를 통해 최근 2차전지 관련 사업 영역으로 확장됐다"며 "현재 미국, 유럽 등 공장으로도 진출하게 됐다"고 말했다.
레이저 세정 외에도 HBM 분야에 적용 가능한 CO₂ 세정 기술 'MicroJet'을 세계 최초로 개발했다. 기존의 CO₂ 세정 기술은 드라이아이스의 낮은 온도로 세정 부위 주변에 결로가 발생하는 문제점이 있었다. 아이엠티는 드라이아이스 입자 크기를 제어해 세밀하게 세정하는 기술을 개발, 인공지능(AI)에 활용되는 초정밀 HBM 세정 분야에서 독보적 지위를 확보했다.
한편 아이엠티는 국내 유일로 EUV 마스크 레이저 베이킹 장비 개발에도 성공했다. 글로벌 반도체 기업들이 미세 공정을 위해 EUV 공정을 도입하는 사례가 늘어날 것으로 전망되고 있어 성장 가능성이 크다는 것이 회사 측 설명이다.
최 대표는 "회사는 지난 4월 코스닥 상장을 위한 기술성 평가에서 한국발명진흥회로부터 AA등급을 받아 사업성과 기술성을 인정받았다"며 "기술특례상장 제도가 시작한 뒤 소부장 기업이 AA등급을 획득한 첫 사례"라고 했다.
공모자금은 연구개발(R&D) 인력 확보 및 생산시설 확충에 활용될 계획이다. 아이엠티의 총 공모주식수는 158만주, 공모 희망 밴드는 1만500~1만2000원이다. 이달 6일부터 오는 12일까지 수요 예측을 실시해 공모가를 확정한 뒤 18일과 19일 이틀 동안 일반 공모청약을 진행할 예정이다. 상장 대표 주관사는 유안타증권이다.
nodelay@fnnews.com 박지연 기자
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