저스템, 2세대 습도제어장치 'JFS' 추가 수주

[파이낸셜뉴스] 저스템이 2세대 습도제어장치 'JFS(Justem Flow Straightener)'를 추가로 수주하며 반도체 습도제어 분야에서 입지를 공고히 했다.

8일 저스템에 따르면 반도체 대기업 M사로부터 JFS를 추가로 수주했다. 이는 지난 2월 첫 수주를 받은 이후 한 달 만에 받은 두 번째 수주다.

저스템 측은 "이번 수주를 계기로 반도체 양산라인에서 습도제어와 수율향상을 위해 JFS가 본격적으로 장착되는 횡전개 상황이 지속될 것"이라며 "그에 따른 매출 증대도 기대한다"고 설명했다.

JFS는 반도체 웨이퍼를 보관하는 장치(FOUP) 안 습도를 1% 이하까지 낮춰 수율 향상을 높이는 2세대 습도제어 시스템이다. 저스템 종전 1세대 습도제어장치 'N2 PURGE'는 전 세계 관련 시장 80% 이상을 점유한다.

저스템은 이번 수주 전까지 2년 동안 양산 평가 과정을 거치며 JFS 효용성과 완성도 등을 검증받았다.

양산평가 이전에도 3년여 기술 개발 과정을 거쳤다. 독자적으로 개발한 '수직층류(Laminar Flow)' 제어 기술을 적용해 습도제어 효과를 높였다.

임영진 저스템 대표는 "2세대 제품인 JFS는 종전 1세대 N2 PURGE 점유율과 수익을 상회하는 대표적인 상품으로 될 것"이라며 "앞으로 JFS 추가 수주와 시장 확대를 위해 노력할 것"이라고 말했다.

[e-mail] 강경래 기자

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