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최대 300㎜ 웨이퍼까지 분석
19일 관련 업계에 따르면 이번 파크시스템스 제품군은 최대 300㎜ 웨이퍼까지 분석이 가능한 'Park FX300'을 비롯해 기존 원자현미경에 적외선 분광(IR Spectroscopy) 기술을 접목한 'Park FX300 IR', 'Park FX200 IR' 모델을 포함한다.
파크시스템스 관계자는 "고정밀 분석이 필요하지만 완전 자동화된 인라인 시스템 도입은 부담스러운 기업과 인라인 생산 이전에 원자현미경을 도입하려는 기업들을 겨냥해 최적의 솔루션을 제공하도록 설계했다"고 설명했다.
이번 제품군은 대형 웨이퍼 샘플 분석을 위한 첨단 성능과 업계 최상의 자동화 기능을 갖춘 것이 특징이다. 우선 Park FX300은 최대 300㎜ 웨이퍼 혹은 소형 샘플 16개까지 동시 장착해 분석할 수 있다. 열에 의한 드리프트를 최소화하고 정밀한 측정을 구현했다.
아울러 내장 카메라 및 QR 코드 시스템을 활용한 자동 탐침 교체 및 모니터링, 머신러닝 기반 정밀 레이저 및 광 검출기 자동 정렬 시스템, 다양한 위치에서 자동 순차 측정이 가능한 'StepScan' 기능을 강화해 연구자들이 샘플 측정만 집중할 수 있는 환경에서 전기적·기계적·자기적 등의 특성을 분석할 수 있도록 보장한다.
특히 'Park FX200 IR', 'Park FX300 IR' 모델은 원자현미경과 적외선 분광 기술을 결합해 나노 단위 분석을 지원한다. 광유도력 현미경(PiFM) 기능을 탑재해 고해상도 적외선 스펙트럼 분석이 가능하다. 기존 적외선 해상도 한계를 수천 배까지 확장해 5㎚ 이하 초고해상도로 소재 분자 구조와 화학 결합 정보를 정밀하게 분석할 수 있다.
이를 통해 샘플 표면을 손상시키지 않으면서 반도체와 폴리머, 생명과학 소재 화학 조성을 정밀하게 연구할 수 있다. 특히 반도체 결함 분석, 고분자 연구, 차세대 신소재 개발 분야에서 성능을 발휘할 것으로 기대된다.
강경래 기자
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