【파이낸셜뉴스 원주=김기섭 기자】 강원테크노파크(이하 강원TP)와 나노종합기술원이 반도체 연구와 교육 활성화를 위해 업무협약을 체결했다. 12일 강원TP에 따르면 이날 원주에 위치한 강원TP 반도체교육센터에서 양 기관이 반도체 연구 및 교육 활성화를 위해 서로 협력하기로 약속했다. 이번 협약으로 강원TP는 나노종합기술원과 함께 반도체 공정장비와 Fab 시설 구축 및 운영, 테스트베드 구축, 인력양성 프로그램 개발, 차세대 반도체 센서 개발 등 다양한 분야에서 협력 체계를 구축하게 된다. 허장현 강원TP 원장은 “세계적 수준의 반도체 테스트베드를 구축, 운영하고 있는 나노종합기술원과의 협력을 통해 반도체 교육센터와 테스트베드 등 반도체 분야 기술과 역량을 강화할 수 있게 됐다"며 "강원형 반도체산업 생태계조성을 위해 전력을 다하겠다”고 말했다. kees26@fnnews.com 김기섭 기자

◆나노종합기술원 ◇본부장급 △나노융합기술서비스본부장 임성규 △나노융합기술개발본부장 이석재 ◇부장급 △기획협력부장(겸 대외협력실장) 남궁지 ◇실장급 △첨단융합소자개발실장 설우석 △나노소재개발센터장 안치원 △차세대플랫폼개발센터장 강일석 △팹운영지원실장 오재섭 △미래반도체인재센터장 배희경 △기획예산실장 조주형 △인재성과관리실장 김동일 △운영정보실장 김현태

[파이낸셜뉴스] 나노종합기술원 제7대 원장으로 박흥수 연세대학교 연구교수가 선임됐다. 한국과학기술원(KAIST)은 지난 3월 30일 정기이사회에서 박 교수를 나노종기원 원장으로 선임했다고 4일 밝혔다. 신임 박 원장은 서울대학교 금속공학과에서 학사와 석사를 수료하고 미국 스탠포드 대학에서 재료공학 박사학위를 취득했다. 이후 삼성전자 수석연구원, 텍사스인스트루먼츠 연구원, DB하이텍 부사장을 거쳐 연세대 연구교수와 차세대지능형반도체사업단 전문위원 등을 역임했다. 박 원장의 임기는 오는 2026년 4월 4일까지 3년이다.  monarch@fnnews.com 김만기 기자

[파이낸셜뉴스] 나노종합기술원은 반도체 소부장 국산화 지원에 필요한 12인치 반도체 20나노 미세패턴 공정기술 개발에 성공했다고 30일 밝혔다. 나노종합기술원 측은 "이번에 개발된 공정기술은 추가적인 장비투자 없이 기술원이 보유한 12인치 반도체 장비만을 통해 구현된 기술"이라며 "이는 200억원 이상의 예산절감, 개발기간 단축과 집적도를 4배 높일 수 있는 공정기술을 확보했다는 데 큰 의의가 있다"고 설명했다. 나노종합기술원은 반도체 소부장 기업들의 요청으로 공정별 전문가로 구성된 TF을 구성해 공정기술 개발을 추진한 결과, 6개월만에 추가적 장비투자 없이 20나노 미세패턴 공정기술을 개발하는 데 성공했다. 나노종합기술원이 개발한 공정기술은 기구축 장비를 활용한 공정기술(노광, 식각, 박막 등) 개발과 집적화를 통한 기술개발 성과다. 12인치 핵심장비의 40나노 노광공정과 식각공정 등을 기반으로, SADP 기술을 개발해 20나노 미세패턴을 구현하는 데 성공했다. 나노종합기술원은 "향후 개발된 공정기술을 20나노 미세패턴을 활용할 국내 반도체 소재(감광제, 반사방지막 등) 기업과 장비기업의 서비스 수요에 활용할 계획이며, 이를 통해 서비스 영역 확장을 추진할 계획"이라고 설명했다. 이조원 원장은 "이번 공정기술 개발은 기술원의 12인치 반도체 테스트베드 활용도를 획기적으로 높일 수 있는 성과로, 향후 국내 반도체 대기업 및 소부장 기업과의 연계와 협력을 기반으로 반도체 강국 구현을 위한 공공 테스트베드의 역할과 책임을 더욱 강화해 나가겠다"고 밝혔다. 한편, 나노종합기술원은 국내 최초로 12인치 반도체 테스트베드를 구축 운영하고 있는 나노인프라 기관이다. 핵심장비와 클린룸 구축을 완료하고 지난해 3월부터 국내외 반도체 소부장 기업을 위한 서비스를 제공하고 있다. 그러나 소부장 기업은 대기업 반도체 양산기술 수준에 부합하는 반도체 소재와 장비 개발을 위한 20나노급 미세패턴과 증착 서비스 제공을 요청했다. monarch@fnnews.com 김만기 기자

MEMS, 나노기술, 반도체 시장용 웨이퍼 본딩 및 리소그래피 장비 분야를 선도하는 EV그룹(이하 EVG)은 학계•연구기관•산업계를 위한 나노기술 R&D 인프라 기관인 나노종합기술원(NNFC)으로부터 우수 협력사상을 받았다고 오늘 밝혔다. EVG는 지난 1월 26일 NNFC가 주최한 나노종합기술원 반도체 소부장 성과 보고회에서 고객 및 파트너 간 동반성장 문화 협력 및 조성을 위해 NNFC가 개최한 ‘우수연구성과 및 협력사 시상식’에서 이 권위 있는 상을 수상했다. 올해 NNFC는 우수 협력사상 수상 기업으로 2곳을 선정했다. EVG는 장기적인 제품 서비스 및 기술 지원을 비롯해 제품 및 설비 운영 효율성 최적화를 위한 긴밀한 협력 및 컨설팅, 새로운 연구개발 및 디바이스 애플리케이션 지원을 위한 신규 웨이퍼 본딩 및 관련 공정에 대한 기술 자문 등에 기여한 공로를 높이 평가받아 이 상을 수상했다. EVG는 다양한 응용 분야와 산업을 위한 신기술의 개발 및 상용화를 위해 NNFC와 오랫동안 파트너십을 이어오고 있다. EVG는 자사의 웨이퍼 본딩 및 리소그래피 제품을 통해 칩스케일 원자시계, MEMS 마이크로폰 및 기타 디바이스, 사물인터넷(IoT) 센서 등 NNFC의 새로운 MEMS 제품 개발을 지원하고 있다. EVG Korea 지사장 양원식 박사는, "나노기술 개발, 교육, 훈련, 상용화 분야에서 인정받는 NNFC로부터 이 상을 받게 돼 영광이다"라며 "NNFC 같은 연구기관과의 협력은 나노기술 가치사슬 전반의 그룹들과 협력하여 혁신적인 아이디어와 프로세스를 새로운 제품으로 전환하는 EVG의 발명-혁신-구현(invent-innovate-implement)이라는 트리플아이(Triple-i) 철학에서 필수적인 부분이다. NNFC는 이러한 비전을 함께 하고 있으며, 세계 최고의 나노 인프라 기관 중 하나가 될 수 있도록 지원하는 우리의 역할을 인정해준 NNFC에 대해 EVG를 대표해 진심으로 감사드린다"고 말했다. EVG는 2월 9-11일 서울 코엑스 컨벤션센터에서 열리는 세미콘코리아 전시회에서 최신 웨이퍼 본딩, 계측 및 리소그래피 솔루션을 선보인다. EVG 부스 (1층, A Hall 544)를 방문하면 더 자세한 정보를 얻을 수 있다. 한편, EV 그룹(EVG) 은 반도체, MEMS, 화합물 반도체, 파워 디바이스 그리고 나노기술을 이용한 소자들을 제조하는데 필요한 장비 및 공정 솔루션을 제공하는 세계적인 전문 기업이다. 웨이퍼 본딩, 얇은 웨이퍼 처리 기술(TWHS), 리소그래피 / 나노 임프린트 리소그래피(NIL) 및 계측기기를 포함한 주요 제품 이외에도 포토 레지스트 코터, 웨이퍼 세정장비 및 검사 시스템을 제조 생산하고 있다. 1980년 설립된 EV 그룹은 글로벌 고객들과 파트너들을 위한 서비스와 협력지원을 위해 정교한 네트워크를 구축해 놓고 있다.

◆나노종합기술원 <부장급> △시스템반도체부장 이병주 △융합센서부장 김희연 △분석평가부장 김진수 △나노인력양성센터장 배우호 <실장급> △나노패턴공정실장 오재섭 △나노박막공정실장 강민호 △나노집적공정실장 홍대원 △시스템IC개발실장 김영수 △IoT나노센서개발실장 양충모 △나노융합소재개발실장 이종권 △나노바이오개발실장 이석재 △나노분석실장 정칠성 △나노소재·소자평가실장 송명호 △기획예산실장 남궁지 △인사총무실장 최영대 △재무회계실장 박영관 △성과·홍보관리실장 조주형 △시설안전실장 김동일

"반도체 소재·부품 기업의 기술을 실제 실용화하려면 적어도 프로토타입에서 완벽하게 작동되는 부품이 필요하다. 나노종합기술원이 고부가가치화해서 실제 국산화하는 브리지 역할을 확실히 해주겠다."나노종합기술원의 산파였던 이조원 신임 원장(사진)이 10월 31일 서울 광화문 인근 식당에서 간담회를 갖고 반도체 테스트베드 구축계획을 밝혔다. 나노종합기술원이 올해부터 2022년까지 총 450억원을 투입해 12인치(30.48㎝) 반도체 테스트베드를 구축한다. 삼성전자와 하이닉스 등 대기업이 필요로 하는 소재·장비 기준에 맞추기 위한 ArF이머전 스캐너 등 385억원어치의 장비 10대를 마련한다. 완료는 2022년이지만 중소·중견기업에 서비스를 시작하는 시기는 늦어도 2021년 상반기다. 산학연 서비스 지원현황을 살펴보면 2005년 1720건에서 지난해에는 1만4288건에 달했다. 서비스 이용기관이 산업계 437곳, 학계 113곳, 연구계 42곳을 포함해 총 592곳이다. 대부분 반도체나 소재기업이 나노소자와 나노소재 분야에 압도적으로 많이 활용하고 있다.이조원 원장은 "단위공정 지원수요가 폭증해 우리가 지금까지 전 공정을 커버할 수 없었지만 이제는 전 주기 공정지원 체제로 가야 한다고 본다"고 말했다. 국산화 지원을 위해서는 최종 수요자인 기업들이 요구하는 수준을 충족하는 테스트베드가 가장 필요한데 이것이 없다. 중소·중견기업들이 검증을 테스트할 수 있는 곳이 없어 해외로 나가서 서비스를 받고 있다. 시간과 비용에 대한 부담이 커 시설 접근성이 매우 제한돼 있다. 환경이 이렇다 보니 최근 몇 년 새 팹리스기업이 많이 줄었다. 이 원장은 "사물인터넷 센서나 스마트폰, 스마트카 등 앞으로 비메모리 수요는 폭증할 것"이라며 "우리가 테스트베드를 구축해서 지원한다면 국내 여러 팹리스기업들이 다시 살아날 것"이라고 전망했다. monarch@fnnews.com 김만기 기자

"반도체 소재·부품 기업의 기술을 실제 실용화 하려면 적어도 프로토타입에서 완벽하게 작동되는 부품이 필요하다. 나노종합기술원이 고부가가치화해서 실제 국산화하는 브릿지 역할을 확실히 해주겠다."  나노종합기술원의 산파였던 이조원 신임 원장이 10월 31일 서울 광화문 인근 식당에서 간담회를 갖고 반도체 테스트베드 구축 계획을 밝혔다.  나노종합기술원이 올해부터 2022년까지 총 450억원을 투입해 12인치 반도체 테스트베드를 구축한다. 삼성전자와 하이닉스 등 대기업이 필요로 하는 소재·장비 기준에 맞추기 위한 ArF이머전 스캐너 등 385억원어치의 장비 10대를 마련한다. 완료는 2022년이지만 중소·중견기업에 서비스를 시작하는 시기는 늦어도 2021년 상반기다.  산학연 서비스 지원현황을 살펴보면 2005년에 1720건에서 지난해 1만4288건에 달했다. 서비스 이용 기관이 산업계가 437곳, 학계 113곳, 연구계 42곳을 포함 총 592곳이다. 대부분 반도체나 소재기업들이 나노소자와 나노소재 분야에 압도적으로 많이 활용하고 있다.  이조원 원장은 "단위 공정 지원수요가 폭증해 우리가 지금까지 전공정을 커버할 수 없었지만 이제는 전주기 공정 지원 체제로 가야한다고 본다"고 말했다.  국산화 지원을 위해서는 최종 수요자인 기업들이 요구하는 수준을 충족해 줄 수 있는 테스트베드가 가장 필요한데 이것이 없는 실정이다. 중소중견기업들이 검증을 테스트 할 수 있는 곳이 없어 해외로 나가서 서비스를 받고 있다. 시간과 비용에 대한 부담이 커 시설 접근성이 매우 제한돼 있다. 환경이 이렇다 보니 최근 몇년새 팹리스 기업들이 많이 줄었다.  이 원장은 "사물인터넷 센서나 스마트폰, 스마트카 등 앞으로 비메모리 수요는 폭증할 것"이라며 "우리가 테스트베드를 구축해서 지원한다면 국내 여러 팹리스 기업들이 다시 살아날 것"이라고 전망했다. 그는 사실 나노종합기술원이 세상에 나오게 만든 장본인이다. 이조원 원장은 "그때 당시 기획을 하면서 이런 팹지원 시설이 필요하다고 느꼈고 강력히 건의해 종합발전계획이 만들어졌다"고 회상했다. 그 일환으로 2002년 KAIST에 나노종합팹센터가 건립됐고 2014년 나노종합기술원으로 개편됐다.  이 원장은 이와 관련해 "어떻게 보면 미리 알고 그런 것은 아니지만 이 시설이 없었다면 일본의 반도체 소재에 대한 규제 등을 어떻게 대처했을까라는 생각이 든다"고 말했다. monarch@fnnews.com 김만기 기자

나노종합기술원(원장 이재영)은 보유 특허의 사업화를 추진, ㈜코셈과의 협력을 통해 세계최초 대기 비개방형 시편제작 통합형 주사전자현미경을 개발해 상용화에 성공했다고 4일 밝혔다. 대기 비개방형 시편제작 통합형 주사전자현미경은 시편가공과 시편관찰을 일체화함으로써, 관찰을 위해 제작된 시편이 대기에 노출되었을 때 대기 물질과의 반응으로 시편이 변형되는 것을 원천적으로 차단할 수 있다. 이를 통해 시편의 관찰분석에 대한 신뢰성을 높여 최근 각광받고 있는 이차전지, 유기발광다이오드 연구개발 분석에 크게 기여할 것으로 기대된다. 이번에 개발된 주사전자현미경은 대기 노출 반응에 의한 변화를 막을 수 있을 뿐 아니라 가공시 발생하는 열에 의한 시편의 변화를 방지하기 위해 냉각모듈(펠티어 소자)을 장착, 가공중 발생할 수 있는 시편의 변화를 최소화하도록 했다. 이번 주사전자현미경의 개발은 나노종합기술원이 나노기술 개발지원 뿐 아니라 보유장비를 활용한 연구장비 국산화 기술지원을 추진한 결과로 중소기업의 육성을 목표로 추진하고 있는 테스트베드 지원사업과도 맥을 같이한다. 사업화를 주도한 나노종합기술원 양준모 본부장은 "시료의 대기 노출로 발생하는 산화 및 오염의 영향으로 인한 분석의 어려움이 많아 이를 해소하고자 하나의 시스템에서 시편의 제작과 관찰이 가능하도록 개발했다"면서 "이를 통해 중소기업의 제품 확대 및 경쟁력 확보에 기여할 것으로 기대된다"고 밝혔다. 주사전자현미경의 국내 최고 수준인 ㈜코셈 이준희 대표이사는 "이번 개발로 새로운 제품을 확보했였으며, 기존 주사전자현미경의 경쟁력을 높여 세계 시장에서의 경쟁력 확보에 도움이 되었다"면서 "전량 해외로부터 수입에 의존하던 단면시편가공기도 국산화함으로써 수입대체 효과도 발생해 매출 증가에 기여할 것으로 예상한다"고 말했다. 이재영 나노종합기술원장은 "이번 장비개발은 국가인프라시설의 활용한 연구지원에서 한발 더 나아가 중소기업의 경쟁력 확보를 위해 기술원이 쏟은 땀방울의 결과"라며 "앞으로도 연구기술의 사업화를 통한 중소 장비기업의 산업 경쟁력 제고를 위해 꾸준히 노력하겠다"고 밝혔다. 이 사업화 개발은 나노융합2020사업단의 '우수연구성과 사업화 지원사업'의 지원을 받아서 2015년부터 2018년까지 3년간 진행됐다. seokjang@fnnews.com 조석장 기자

【 【대전=조석장기자】 대전시 유성구 카이스트 내 나노종합기술원에 들어선 ‘나노바이오센서·칩 기술상용화 지원센터’가 7일 개소식을 갖고 본격적인 운영에 들어갔다. ‘나노바이오센서·칩 기술상용화 지원센터’는 유전자 진단을 위한 나노바이오센서·칩 혁신기술 개발 및 기술상용화를 위한 핵심인프라를 구축하고, 대전시에 소재한 분자진단기반 바이오센서기업의 시제품제작, 분석·성능평가, 시험·인증, 기술고도화 등 기업성장 지원 역할을 수행한다. ‘나노바이오센서·칩 기술상용화 지원센터’는 대전시 유전자의약산업 특화육성 계획의 일환으로 추진되는 ‘모듈형 나노바이오칩 플랫폼 구축사업’의 실행을 위해 건립됐다. 여기에는 2022년까지 과학기술정보통신부 나노·소재기술개발지원사업 공모선정으로 확보한 75억 원(국비 50억 원, 시비 20억 원, 민간 5억 원)의 사업비가 투입된다. 이재영 나노종합기술원장은 “센터 개소는 향후 급성장이 예측되는 유전자진단기반 바이오 기업 육성지원을 위한 첫발을 내딛는 중요한 의미”라며 “그 동안 축적된 나노종합기술원의 기술역량과 기업지원 노하우(Know-How)를 바탕으로 대전시의 나노바이오센서 기업이 글로벌 챔피언이 될 수 있도록 기업육성에 최선을 다하겠다”고 말했다. 대전시 정재용 4차산업혁명운영과장은 “이번 지원센터 설립으로 4차산업혁명의 핵심 분야인 첨단 유전자 진단관련 산업의 추진동력을 마련하게 됐다”며 “본 사업을 통해 4차산업혁명특별시 대전시의 위상을 공고히 하고 미래 고부가가치 산업인 유전자 진단 분야의 혁신적인 신성장을 이끄는 생태계가 구축되길 기대한다”고 말했다. seokjang@fnnews.com 조석장 기자