[파이낸셜뉴스] 세계에서 유일하게 극자외선(EUV) 반도체 노광장비를 공급하며 '슈퍼 을'로 불리는 ASML이 경기 용인에 신규 EUV 트레이닝 센터를 열었다. ASML 코리아는 지난 16일 경기 용인시에 위치한 서플러스글로벌 반도체 장비 클러스터에 EUV 라이브 모듈을 갖춘 글로벌 트레이닝 센터를 열었다고 18일 밝혔다. 이곳에서 CS(Customer Support·고객지원) 엔지니어 대상으로 한 EUV 장비 심화 트레이닝 과정인 Fab ready2 등 기술 교육 프로그램을 제공할 계획이다. ASML 글로벌 트레이닝 센터 중 하나인 이번 신규 트레이닝 센터는 EUV 장비 교육에 특화된 곳이다. ASML의 EUV 장비 설치, 업그레이드 및 유지보수를 담당하는 CS 엔지니어를 위한 심화 교육과 역량 강화를 목적으로 설립됐다. 약 1445㎡ 규모에 클린룸, 클래스룸, 오피스 및 기타 편의 시설을 갖추고 있다. hoya0222@fnnews.com 김동호 기자

[파이낸셜뉴스] 영창케미칼이 초미세 반도체 공정의 극자외선(EUV) 광원용 소재 2종의 양산을 추진, 하반기부터 국내 공급을 시작하는 것으로 확인됐다. 7일 금융투자업계에 따르면 최근 서울 삼성동 코엑스에서 열린 '세미콘 코리아'에서 영창케미칼은 차세대 EUV 핵심소재 2종을 선보였다. EUV MOR(Metal Oxide Resist) 포토레지스트 전용 신너(Thinner)와 디벨로퍼(Developer)다. 신너는 포토레지스트 스핀 코팅 후 실리콘 웨이버 가장자리에 불필요한 이물질을 제거하는데 사용되는 소재다. 디벨로퍼는 일종의 현상액으로 일정부위 포토레지스트를 제거해 패턴을 형성하는데 사용된다. 특히 영창케미칼이 양산을 추진해 국내에 공급하는 신너와 디벨로퍼는 EUV MOR 포토레지스트용이다. EUV MOR는 기존에 사용되는 유기 타입 EUV 포토레지스트를 대체할 무기 타입 포토레지스트로 차세대 공정용 소재다. 영창케미칼은 EUV MOR 소재 2종을 양산해 올해 하반기 국내 첫 공급을 준비 중이다. 회사 관계자는 "EUV MOR 소재는 이 부문 글로벌 1위 기업의 생산 라이선스를 확보해 국내 양산과 공급을 추진한다"라며 "EUV 린스 국산화 이후 MOR 신너와 디벨로퍼 등 다양한 EUV 관련 사업 포트폴리오를 확대하고 있다"고 말했다. 2011년 설립된 영창케미칼은 반도체 소재 공정용 포토레지스트와 린스, SOC(Spin On Carbon), 웻케미칼, CMP 공정용 슬러리 등 다양한 소재 분야에서 독보적 기술을 확보한 기업이다. 최첨단 반도체 소재 개발을 통해 2022년 코스닥 시장에 상장했으며, 최근 적극적인 투자로 성주일반산업단지에 4공장을 준공하는 등 생산 규모를 확대하고 있다. dschoi@fnnews.com 최두선 기자

[파이낸셜뉴스] 풍국주정이 장중 강세다. 삼성전자, TSMC 등 글로벌 주요 반도체 기업들이 극자외선(EUV) 노광장비를 도입하면서 핵심 소재인 탄산가스(CO2)가 주목받기 시작해 영향을 받은 것으로 풀이된다. 26일 오후 2시 15분 현재 풍국주정은 코스닥시장에서 전 거래일 대비 7.74% 오른 1만3510원에 거래되고 있다. 이날 관련 업계에 따르면 최근 반도체 업계에서 EUV 노광장비 사용량이 늘어나면서 광원으로 활용되는 탄산가스의 수요가 커지고 있는 것으로 알려졌다. 극자외선을 만들기 위해 EUV 광원을 확보해야 하는 것으로 알려지면서 그 필수 소재인 탄산가스를 두고 투자자들의 옥석가리기 움직임이 본격화된 것으로 풀이된다. 실제 ASML은 독일 산업용 레이저 전문기업인 트럼프가 만든 탄산가스 레이저 설비를 활용하고 있다. 이 같은 소식에 풍국주정을 비롯해 덕양산업(2.64%), 태경케미컬(0.76%) 등도 동반 우상향 추세를 기록하고 있다. 풍국주정은 종속사 선도산업를 통해 탄산가스 생산에 나선다. 이 경우 3개 지역의 산업용가스 사업소와 1개의 고순도 및 특수가스 생산 플랜트를 보유하고, 생산 및 판매를 영위하고 있다. 특히 국내에서 유일하게 나프타 정제공정(Naphtha Cracking Center)을 거친 원료가스를 공급 받아 최신 공법으로 고품질의 아세틸렌을 생산해 반도체 기업에 공급하고 있어 기대감이 몰린다. dschoi@fnnews.com 최두선 기자

[파이낸셜뉴스]  리서치알음은 28일 지오엘리먼트에 대해 글로벌 반도체기업들이 EUV(극자외선)를 채택하면서 ALD(원자층 증착)의 활용도도 높아 향후 수혜가 기대된다고 봤다. 지오엘리먼트는 ALD 증착 공정에 필수인 캐니스터와 레벨 센서를 생산하고 있다. 이에 주가 전망은 '긍정적', 적정주가는 현 주가 대비 23.6%의 상승여력을 더한 2만 3500원을 제시했다. 이승환 연구원은 "동사의 제품과 서비스는 크게 ALD(원자층 증착) 전구체 기화 이송사업 부문과 PVD 스퍼터링 타겟 사업부로 구성됐는데, 특히 ALD 사업부의 캐니스터와 초음파 레벨센서가 주력 제품이며 국내 시장 점유율 95% 기록하고 있다“며 ”스퍼터링 타겟 사업부는 향후 중장기 기업을 이끌 기술로 선행 연구 개발을 진행하고 있다“고 밝혔다. 이어 “근래 글로벌 반도체 기업들이 EUV를 채택하면서 대중화가 진행되고 있으며, 관련 시장은 지속적 성장중이기 때문에 ALD의 활용도도 증대할 것으로 전망한다”며 “동사는 독자적인 기술력을 바탕으로 ALD 관련 제품의 모듈화(PEB 모듈)와 PVD 공정 관련(스퍼터링 타겟 국산화) 신제품, 사업 영역을 확장 중”이라고 부연했다. 최근 CVD(화학기상증착법) 대비 증착 속도는 느리지만, 반도체 공정이 급격히 미세화 되면서 ALD에 대한 중요도가 더 높아지는 추세다. Mordor Intelligence에 따르면 21년 기준 ALD 시장은 55억달러에서 25년 120억달러로 약 2배 이상 증가할 것으로 예상되고 있다. 여기에 2017년 삼성전자가 7 나노급 파운드리 공정에 EUV장비를 처음 적용한 이후 EUV에 대한 관심은 급속도로 높아졌다. 특히 지난해 극미세 공정개발에 대한 니즈가 커지면서 EUV 대중화 시점도 성큼 앞당겨지는 추세이다. 이 연구원은 “네덜란드 ASML이 유일하게 만드는 EUV 장비는 '없어서 못 팔' 정도이며, EUV 적용 범위도 파운드리에 이어 D램으로 점점 확대되는 모습”이라며 “하지만 EUV 기술은 지금은 개화 단계이기 때문에 EUV 대중화 시점에 맞춰, 관련 기술은 하루가 멀다 하고 진화하고 있고 관련 시장은 계속 성장 중”이라고 언급했다. 이에 따라, EUV 공정에서 ALD의 활용도도 높아질 전망이라고 봤다. 리서치알음은 IFRS 기준 지오엘리먼트의 2022년 매출액과 영업이익을 전년동기 대비 각각 +47.3%, +75.6% 상승한 320억원, 107억원으로 전망했다. 독자적인 기술력을 바탕으로 신제품, 사업 영역을 확장하고 있어 중장기 매출 확장에도 매우 긍정적이라고 판단해서다. 이 연구원은 “반도체 박막 증착 기술을 디스플레이, 태양광, 배터리 등의 다양한 사업으로 영역을 확대하고 있다”며 “또한 향후 주력시장인 ALD, PVD를 넘어 사업 영역 확장 계획을 가지고 있어 반도체 산업 내에서도 외형 성장이 충분히 가능하다”고 덧붙였다. kakim@fnnews.com 김경아 기자

[파이낸셜뉴스] 글로벌 반도체 패권 경쟁이 심화되고 있는 가운데 이재용 삼성전자 부회장이 세계 반도체 업체들이 쟁탈전을 벌이고 있는 극자외선(EUV) 노광장비 확보를 위해 전면에 나섰다. 유럽을 방문 중인 이 부회장은 네덜란드 ASML 본사를 찾아 최고경영진들에게 EUV 장비의 원활한 공급을 요청했다. 또 차기 유럽연합(EU) 정상회의 의장으로 거론되는 마르크 뤼터 네덜란드 총리를 만나 파운드리 역량 강화와 반도체 공급망 문제 해소를 위한 협력 방안을 논의했다. ■ASML 경영진과 직접 만나 담판 이 부회장은 14일(현지 시각) 네덜란드 에인트호번에 있는 ASML 본사를 방문해 피터 베닝크 최고경영자(CEO), 마틴 반 덴 브링크 최고기술책임자(CTO) 등 경영진을 만나 양사간 협력 강화 방안을 논의했다. 이 부회장과 ASML 경영진은 차세대 반도체 생산을 위한 미세공정 구현에 필수적인 EUV 노광장비의 원활한 수급 방안과 중장기 사업을 폭넓게 협의했다. 이 부회장이 네덜란드 ASML 본사를 찾은 것은 지난 2020년 10월 이후 20개월 만이며, 이번 만남에는 경계현 삼성전자 DS 부문장이 배석했다. 반도체 업계에 따르면 7나노미터 이하 초미세 공정에는 EUV 노광장비가 필수인데, 전 세계에서 유일하게 ASML이 독점 생산하고 있다. 한대당 가격이 2000억원 안팎에 달하고 1년에 40대 정도만 생산할 수 있는데, 이를 먼저 공급받기 위해 굴지의 반도체 기업들이 줄을 선 상태다. 이 부회장의 이번 방문은 EUV 장비의 원활한 공급을 ASML 경영진들에게 직접 확답받기 위한 것으로 보인다. 지금까지는 TSMC와 삼성전자가 비슷한 물량을 나눠 가졌지만, 미국의 인텔이 파운드리 진출을 선언하면서 확보 경쟁이 더 심해질 수밖에 없기 때문이다.  삼성전자가 추격하고 있는 글로벌 파운드리 1위 기업인 TSMC는 현재 약 80대 정도의 EUV 노광장비를 보유한 것으로 알려졌는데, 올해 시설 투자에 52조원을 투입키로 해 추가 장비 도입을 예고했다. 올 초 ASML의 피터 베닝크 CEO는 외신과의 인터뷰에서 수요 보다 생산능력이 부족해 앞으로 2년간 EUV 공급이 어려울 수 있다고 밝힌 바 있다. 삼성전자는 20대 미만의 EUV 장비를 보유한 것으로 추정된다. 업계 관계자는 "EUV 노광장비를 사용하는 분야가 점점 늘어나고 장비 도입을 원하는 기업들도 많아지는 상황"이라며 "장비를 얼마나 빨리 많이 확보하느냐가 미세공정 경쟁의 승패를 가르는 기본이다"고 말했다. ■EU 최고위급과 반도체 동맹 논의 이 부회장은 이날 네덜란드 헤이그에 위치한 총리 집무실에서 마르크 뤼터(Mark Rutte) 총리와도 만났다. 두 사람의 만남은 2016년 9월 이후 6년 만이다. 뤼터 총리는 '차기 EU 정상회의 의장'으로 거론되는 인물로, 유럽 최고위급 인사다. 2016년 9월 방한한 뤼터 총리는 이 부회장의 안내를 받아 삼성전자 전시관 '딜라이트'와 △사업현황 △주요제품 △핵심기술 등을 소개 받은바 있다. 이 부회장과 뤼터 총리는 △최첨단 파운드리 역량 강화를 위한 협력 확대 △글로벌 반도체 공급망 문제 해소 등 포괄적이고 전략적인 협력 방안을 논의했다. 또 ASML 장비의 안정적인 공급이 가능하도록 뤼터 총리에게 협조를 요청한 것으로 알려졌다. 뤼터 총리는 평소 정보통신기술 ICT·전기차에 관심을 보여왔으며, 삼성전자와 이 분야에서 협력을 확대하자는데 의견을 같이한 것으로 보인다. 윤석열 대통령도 3월 당선인 신분으로 마르크 뤼터 총리와 전화 통화로 양국 간 반도체 분야에서 협력 확대를 요청했다. 윤 대통령은 당시 뤼터 총리에게 "'미래산업의 쌀'이라고 불리는 반도체 산업에서 양국 간 협력을 더욱 확대해 나가자"고 제안한 것으로 전해졌다. 뤼터 총리는 "한국과 네덜란드가 반도체 선도 국가인 만큼 양국 간 협력 시너지는 매우 클 것"이라고 답했다.  한편 이 부회장은 15일(현지 시각)에는 벨기에 루벤에 위치한 유럽 최대 규모의 종합반도체 연구소 IMEC를 방문, 루크 반 덴 호브 CEO와 만나 반도체 분야 최신기술과 개발 방향 등에 대해 의견을 나눴다.    ahnman@fnnews.com 안승현 기자

이재용 삼성전자 부회장(사진)이 다음 주 2주간 일정으로 네덜란드 출장길에 오른다. 초미세공정 핵심 장비인 극자외선(EUV) 노광장비를 생산하는 ASML을 찾아 장비 추가 공급 등을 요청할 것으로 관측된다. 2일 재계 및 법조계에 따르면 이 부회장은 오는 7일부터 18일까지 네덜란드 출장에 나선다. 이 부회장이 해외 출장을 떠나는 건 지난해 12월 중동 출장 이후 6개월 만이다. 삼성 측 변호인은 이날 서울중앙지법에서 열린 삼성물산과 제일모직 회계부정·부당합병 관련 공판에서 출장으로 인한 재판 불출석 의견서를 냈다. 검찰도 이에 동의하면서 법원은 '경영상 필요'에 의하다고 판단해 출장 기간인 10일과 16일 예정된 재판을 이 부회장 불출석 상태로 진행하기로 했다. 이 부회장은 지난 5월20일 조 바이든 미국 대통령의 삼성전자 평택 반도체 공장 방문 당시에도 미리 의견서를 내고 재판에 불출석한 바 있다. 이 부회장은 이번 출장에서 네덜란드 반도체 장비 기업 ASML을 최우선 방문할 것으로 전망된다. 글로벌 반도체 공급난 장기화 속에 장비 수급에 비상이 걸리자 직접 ASML을 찾아 장비 공급 협력을 요청할 것이란 관측이다. ASML은 반도체 미세공정에 필요한 EUV 노광장비를 사실상 독점 생산해 '슈퍼 을'로 불린다. ASML이 만드는 EUV 노광장비는 1대당 2000억원을 호가하지만, 연간 생산량이 불과 45대 안팎에 불과해 반도체 기업들간 치열한 장비 쟁탈전이 벌어지고 있다. 이 부회장은 지난 2020년 10월에도 네덜란드를 방문해 ASML 경영진과 차세대 반도체 기술 개발을 위한 협력 방안을 논의했다. mkchang@fnnews.com 장민권 기자

【베이징=정지우 특파원】SK하이닉스 최첨단 반도체 장비의 중국 공장 배치에 미국이 반대하면서 중국 반도체 자립 계획이 새로운 역풍을 만나게 됐다는 평가가 나왔다. 현재 중국은 최첨단 장비 개발 능력과 인재가 부족하기 때문에 미국 압박은 결국 중국의 자체적인 반도체 공급망 형성에 커다란 장애물이 될 수 있다는 취지다. 24일 홍콩 사우스차이나모닝포스트(SCMP)는 “SK하이닉스가 중국 장쑤성 우시 공장에서 첨단 반도체 생산 확대 계획을 철회한다면 미국의 기술 제재 속에서 반도체 등 전략적 기술의 자립을 밀어붙이는 중국에 쓰라린 고통이 될 것”이라고 보도했다. SK하이닉스는 중국 우시 D램 반도체 공장에 초미세공정 핵심인 극자외선(EUV) 노광기를 배치하려고 했지만, 미국의 반대로 당분간 사실상 중단된 것으로 알려졌다. 미국은 중국의 군사력 증대에 EUV 노광기가 악용될 가능성을 우려하기 때문으로 전해졌다. 미국은 자국 기술이 들어간 반도체나 반도체 장비를 중국에 수출할 때는 반드시 승인을 받도록 해 반입을 막아왔다. EUV 노광장비는 네덜란드 반도체 기업 ASML이 독점 생산한다. 그러나 이 제품 역시 미국산 기술을 사용한다고 SCMP는 네덜란드에 본사를 둔 한 엔지니어를 인용해 설명했다. 최근 한국을 방문한 캐서린 타이 미국 무역대표부(USTR) 대표는 지난 22일 인터뷰에서 “첨단기술로서 민감하고 국가안보에 리스크가 될 수 있다는 정당한 이유가 있었던 것으로 안다”고 전했다. 이에 따라 우시 당국이 지난달 초 개최한 한중 반도체 공원 조성 축하 대규모 행사도 의미가 퇴색하게 됐다. 이 행사는 SK하이닉스 공장이 핵심이다. 대만 경제연구소의 애리사 류 연구원은 “외국 반도체 기업이 중국에 공장을 짓거나 시설 증대를 계획할 경우 (최첨단 미세공정이 아니라)오직 성숙 공정 기술만 허용될 것임이 더 분명해졌다”고 진단했다. 미국이 EUV 노광기의 대중국 수출을 막은 것은 처음이 아니다. 앞서 미국은 EUV 노광기를 중국 반도체 회사 SMIC(중신궈지)에 판매하려는 계획에도 제동을 걸었다. 반면 중국은 수년간 EUV 노광기 개발에 매진했으나 여전히 성공하지 못했다. SCMP는 다른 기사에서 SMIC 설립자 말을 빌려 “만성적인 인재 부족이 중국 반도체 자립 야망에 가장 큰 걸림돌”이라고 지적했다. 중국은 성숙공정에 해당하는 28nm(나노미터) 노광기 개발도 차질을 빚고 있다. 봉황과기 등 다수의 중국 매체는 지난 16일부터 “상하이마이크로전자(SMEE)의 해당 장비가 국가 검수 시험을 통과하지 못해 올해 안에 승인받을 수 없다”는 기사를 내보냈다. 다만 현재는 관련 기사들이 사라진 상태다. 중국 정부가 반도체 굴기의 ‘찬물’ 파장을 우려해 검열에 들어갔을 가능성이 제기된다. 노광기는 반도체 웨이퍼나 인쇄회로기판(PCB), 박막 트랜지스터(TFT) 유리 기판에 빛을 쪼여 회로를 그려주는 장비를 말한다. 숫자가 작을수록 최첨단 기술이 필요한 것으로 전해졌다. 반도체 제작의 필수 장비다. 자산운용사 게이브칼의 틸리 장 분석가는 지난 23일 발간한 보고서에서 “사실상 모든 최첨단 반도체가 미국 기술 기반으로 제조되고 있어 미국은 최첨단 기술의 중국 수출을 막을 능력이 있다”면서 “현재로서는 중국 기업들이 첨단 반도체를 생산하는 시설 건립에 필요한 장비를 사는 게 불가능할 것”이라고 내다봤다. jjw@fnnews.com 정지우 기자

메모리반도체 업계가 극자외선(EUV) 공정으로 새로운 전환점을 맞은 가운데 핵심 키라 할 수 있는 EUV 장비를 확보하기 위한 쟁탈전이 치열하다. 전 세계에서 EUV 장비를 유일하게 생산하는 네덜란드의 ASML은 '슈퍼 을'의 위치에서 칩 제조사의 미래를 좌우할 정도다. ASML은 올해 상반기 EUV 16대를 고객사에 인도한데 이어 내년에는 규모가 55대에 달할 것으로 알려졌다. 22일 반도체 업계에 따르면 삼성전자, SK하이닉스 외에 최근에는 미국 마이크론과 대만의 난야 또한 D램 공정 내 EUV 도입을 전격적으로 결정했다. 현재 ASML의 EUV 생산능력이 한정된 상황에서 메모리 업체들의 EUV 장비 확보 여부에 따라 미래의 존망이 결정될 전망이다. EUV 장비는 1대당 2000억원에 이르는 반도체 초미세 공정의 핵심 장비다. EUV 장비는 반도체 생산공정 중 하나인 노광공정(사진을 찍듯 반도체 원판인 웨이퍼에 회로를 새기는 작업)에 필요하다. 빛의 파장이 짧으면 웨이퍼에 미세하게 반도체 회로를 그릴 수 있다. 최첨단인 7나노미터(1㎚=10억분의 1m) 이하의 미세 회로를 새길 수 있는 유일한 장비가 EUV다. 이재용 삼성전자 부회장은 지난해 11월 직접 네덜란드 출장길에 올라 ASML을 방문했다. 당시 삼성전자는 파운드리(위탁생산) 뿐만 아니라 D램에도 EUV 장비 도입을 진행 중이었는데 대만 TSMC가 장비를 싹쓸이하면서 계획에 차질이 예상됐기 때문이다. ASML과 담판을 지은 이 부회장은 결국 추가 장비 계약을 따냈고, 올해 삼성전자의 EUV 장비 도입도 무리없이 진행되고 있다. 다만 내년부터는 상황이 달라질 것으로 예상된다. 이전까지는 파운드리 분야에서 삼성전자와 TSMC 두 업체가 EUV 확보 경쟁을 했다면, 앞으로는 SK하이닉스, 마이크론, 난야 등 메모리 업계로 점점 판이 커지고 있기 때문이다. ASML이 매년 생산을 늘리고 있지만, 여전히 독점이어서 수요 급증과 공급 부족으로 인한 EUV 장비 수급 차질은 불가피하다. ASML은 EUV 생산능력을 기존 40대 수준에서 오는 2023년 60대까지 늘릴 계획인데 이미 내년 생산분까지 선주문을 끝낸 상태다. 반도체 업계 관계자는 "EUV를 원하는 기업들이 계속 늘면서 ASML은 꽃놀이패를 쥔 슈퍼 을이 됐다"며 "2·4분기 처음 공개한 EUV 장비 신모델 'NXE:3600D'은 기존보다 몇 백억이나 더 비싸지만 칩 제조사들은 일단 계약하자는 분위기"라고 전했다. km@fnnews.com 김경민 기자

[파이낸셜뉴스] 반도체 업황이 슈퍼사이클에 본격 진입한 가운데 SK하이닉스가 시장 예상치를 웃도는 1·4분기 어닝 서프라이즈(깜짝실적)를 기록했다. SK하이닉스는 최첨단 극자외선(EUV) 장비를 도입하고, 내년 시설투자도 앞당겨 반도체 쇼티지(공급부족) 사태에 대응키로 했다. ■ASML과 협력 "EUV 문제없다" SK하이닉스는 올해 1·4분기 매출액 8조4942억원, 영업이익 1조3244억원을 기록해 전분기 대비 각각 7%, 37% 증가했다고 28일 발표했다. 통상 1·4분기는 계절적 비수기지만, PC와 모바일에 적용되는 메모리 제품에 대한 수요가 늘어난 덕분이다. 주요 제품의 수율이 빠르게 개선되면서 원가 경쟁력도 높아졌다. D램은 모바일, PC, 그래픽 제품을 중심으로 판매량이 늘면서 전분기 대비 제품 출하량이 4% 증가했다. 같은기간 낸드플래시도 모바일 고용량 제품 판매량이 늘어 출하량이 21% 증가했다. D램은 2·4분기부터 12GB 기반의 고용량 멀티 칩 패키지(MCP·여러 종류의 칩을 묶어 단일 제품으로 만든 반도체)를 공급할 계획이다. D램 주력인 10나노급 3세대(1z) 제품의 생산량을 늘리고 EUV를 활용해 연내 4세대(1a) 제품 양산을 시작할 예정이다. SK하이닉스는 이날 실적 컨퍼런스콜에서 "올해 D램의 수요 성장률은 20% 수준으로 전망된다"며 "1z 나노미터 수율이 계획보다 빠르게 향상돼 2·4분기부터 본격적인 램프업이 진행된다. 하반기부터 EUV를 활용한 1a 나노미터 공정을 통해 D램 기술 경쟁력을 유지할 것"이라고 말했다. SK하이닉스는 현재로선 1개의 라인에 EUV 장비를 투입하고 추후 확대할 계획이다. 회사는 "올 초 본격적으로 양산용 EUV를 도입해 성공적 실행을 마쳤다"면서 "EUV 전담팀이 각고의 노력을 기울이고 있다. ASML과 협력을 맺으며 향후 수년간 안정적 장비 도입이 가능하다"고 강조했다. 낸드는 128단 제품의 판매 비중을 높이고, 연내 176단 제품 양산을 시작할 방침이다. 회사는 "올해 낸드 수요 성장 전망률은 30% 중반으로 예상된다"며 "올해 말 128단 낸드 제품 비중을 80% 가까이 증가시키고, 128단 노하우를 바탕으로 연내 176단 제품 양산을 시작하겠다"고 밝혔다. ■내년 장비 못구할라...투자 앞당긴다 특히 반도체 수요가 예상을 훨씬 웃돌면서 투자 시계도 빨라졌다. 회사는 시설투자 관련 "업계 전반의 공급부족으로 내년 투자분의 일부를 올해 하반기에 당겨 집행할 것"이라며 "연초 계획보다 시설투자 규모가 다소 증가하지만, 이에 따른 생산량 증가는 내년에 발생할 것"이라고 설명했다. 이어 "배송 시간이 긴 장비를 대상으로 지난달 말 이미 발주 준비를 마쳤고, 상대적으로 납기가 급하지 않은 장비는 시장 상황을 지켜보면서 2·4분기 말에 추가 의사결정을 하겠다"면서 "연말쯤 장비 셋업을 마무리 할 예정"이라고 부연했다. 반도체 몸값이 워낙 비싸지자 미리 '입도선매'하려는 움직임도 포착된다. 일부 고객사들이 1년 이상 장기 공급 문의를 하거나 전략적 관계 확대 요청을 하는 경우가 잦아졌다는 것이다. 아울러 키옥시아(옛 도시바메모리) 지분 3분의 2는 하반기 기업공개(IPO) 후 처분될 것으로 보인다. SK하이닉스는 "키옥시아에 투자한 지분 가운데 3분의 2는 사모펀드 베인캐피탈의 전략적투자자(LP) 지분으로, IPO 후 시장에 매각할 계획"이라며 "나머지는 별도 용도로 전략적 협업을 위해 중장기적으로 보유하고 있다"고 전했다. 이어 "올해 키옥시아가 하반기 다시 IPO를 추진한다고 전해 들었다. LP 투자 지분의 이익 실현 시점은 자의적으로 선택할 수 없다. 우리는 키옥시아의 경쟁사로, 간접적으로 지분을 보유해도 키옥시아의 의사결정에 관여할 수 있는 부분이 없다"고 덧붙였다.  km@fnnews.com 김경민 김서원 기자

"과감한 결단이 더 큰 미래를 꿈꾸게 했다."(최태원 SK그룹 회장) 1일 준공한 SK하이닉스 이천캠퍼스 M16은 SK하이닉스가 지난 2015년 이천 M14 준공식에서 밝힌 미래비전의 조기 달성이라는 점에서 의미가 크다는 분석이다. 당시 SK하이닉스는 지속적인 반도체산업 리더십 확보를 위해 2014년부터 10년 내 M14를 포함, 국내에 3개의 신규 팹을 구축하겠다는 계획을 발표했다. 이후 2018년 청주 M15에 이어 이번에 M16을 준공해 미래비전을 3년 앞당겨 완성시킨 것이다. M14, M15, M16 3개 공장을 짓는 데 6년 전 회사는 총 46조원을 투자키로 했다. ■6년 전 선제적·과감한 투자 주문 당시 최태원 회장은 SK그룹 확대 경영회의를 통해 "경영위기 극복과 경제활성화 관점에서 현 경영환경의 제약조건에서 과감히 탈피해 선제적으로 투자시기를 앞당기고 규모를 확대하는 혁신적이고 창조적인 투자계획을 수립해야 한다"고 강조했다. 결과적으로 최 회장의 승부수는 통했다. M16이 완공되면서 이천 M10(D램), M14(D램·낸드플래시)와 충북 청주 M11, M12, M15(낸드), 중국 우시 C2(D램) 등과 함께 메모리 생산능력은 대폭 늘어날 전망이다. 최 회장이 시장을 잘못 읽고 판단했다면 수십조원의 투자실패는 SK하이닉스는 물론 그룹 전반으로 확산될 수도 있었다. 하지만 반도체 시장은 또 한번 퀀텀점프 시기를 맞고 있다. 시장조사업체인 D램익스체인지에 따르면 올해 1월 PC용 D램 DDR4 8Gb 고정거래가격은 3달러로, 지난해 12월(2.85달러) 대비 5.26% 상승했다. D램 가격이 오른 것은 약 8개월 만으로 반도체 슈퍼호황이 시동을 걸었다는 관측이 나온다. 스마트카와 서버 D램 등 본격화된 4차 산업혁명 시대의 반도체 수요는 3년 전 슈퍼사이클을 훨씬 뛰어넘는 역대 최대가 될 것이란 분석이 이어지는 상황이다. 또 다른 시장조사업체 옴디아에 따르면 지난해 1·4~3·4분기 누적 기준 세계 D램 시장점유율은 삼성전자가 41.9%로 1위, SK하이닉스가 29.4%로 2위, 마이크론이 23.1%로 3위다. 연내 3강 업체 모두 4세대 10나노급 D램 상용화에 성공하면 향후 가격경쟁력이나 점유율 등에서 치열한 경쟁이 예고된다. 증권가에서는 올해 SK하이닉스의 영업이익이 지난해 두배 수준인 10조원까지 치솟을 것으로 보고 있다. ■슈퍼호황 타고 2위 도약기반 마련 특히 M16은 시스템반도체 1위인 대만의 TSMC와 메모리 1위인 삼성전자에 이어 SK하이닉스도 최첨단 차세대 공정인 극자외선(EUV)을 도입했다는 기념비적 평가를 받는다. EUV는 반도체 원자재인 웨이퍼에 회로를 그리는 노광공정에 사용되는 기술이다. 대당 2000억원에 달하는 EUV 장비를 이용하면 반도체 미세공정의 한계를 극복, 2~5나노에 이르는 초미세공정도 가능하다. 이석희 SK하이닉스 사장은 "M16은 EUV 전용공간, 첨단 공해저감시설 등 최첨단 인프라가 집결된 복합제조시설"이라며 "향후 경제적 가치 창출은 물론 환경·사회·지배구조(ESG) 경영에도 기여하는 한 단계 높은 차원의 생산기지가 될 것"이라고 말했다. 아울러 회사는 M16이 '파이낸셜 스토리'를 실행해 나갈 첨병 역할을 해줄 것으로 기대하고 있다. 회사 관계자는 "D램과 낸드를 양 날개로 메모리산업 전반의 경쟁력을 키우고, 동시에 사회적가치(SV) 창출과 ESG 경영에 주력할 것"이라며 "파이낸셜 스토리 비전의 실행을 올해부터 본격화하기로 했고, M16 준공은 그 출발점이 될 것"이라고 설명했다. SK하이닉스는 올해 말 인텔의 낸드사업부문 1차 인수를 마무리한다. 지난해 양사는 10조3100억원 규모 양수계약을 했다. 계약이 마무리되면 5위권 수준인 SK하이닉스의 낸드부문도 삼성전자에 이어 단숨에 2위로 도약할 것으로 예상된다. D램에 쏠린 SK하이닉스의 사업 포트폴리오가 다변화되는 것이다. km@fnnews.com 김경민 기자