【파이낸셜뉴스 용인=장충식 기자】경기도 용인시는 반도체 습도제어 전문 솔루션 기업 '저스템'이 처인구 제2 용인테크노밸리 일반산업단지에 입주하기로 했다고 19일 밝혔다. 저스템은 최근 처인구 이동읍 덕성리에 위치한 제2 용인테크노밸리에 본사와 공장을 통합한 시설을 설립하기로 결정했다. 저스템은 반도체, 디스플레이, 2차전지, 태양광 등 첨단 산업 분야에서 수율 향상 솔루션을 제공하는 전문장비회사로, 미세화된 반도체 공정에서 'FOUP(웨이퍼 운반용기)' 내 습도를 기존 45%에서 1%미만으로 제어함으로써 불량률을 줄이는 선도적 기술을 보유하고 있다. 주요 제품인 'N2LPM'은 현재 글로벌 시장에서 80% 이상을 점유하고 있다. 저스템은 2023년 과학기술정보통신부로부터 최우수 연구기관으로 선정됐고, 지난해에는 연구개발부문 최고의 권위인 장영실상을 수상하는 등 높은 기술력을 보유한 회사다. 시는 지난 2월 '세미콘코리아'에 참가한 기업들을 재차 방문해 기업의 신규 투자와 정주문제에 대한 컨설팅을 진행하는 과정에서 신규 확장을 위한 부지 확보에 어려움을 겪던 저스템의 대규모 투자 의사를 파악하고, 기업투자 원스톱 서비스를 통해 입지 분석 행정 지원을 제공하며 적극적으로 유치에 나섰다. 이에 따라 저스템은 용인에 신규 투자를 확정하고, 이달 제2용인테크노밸리 일반산업단지에 5250평 규모의 산업시설용지를 매입했다. 저스템은 오는 2027년까지 총 920억원을 투자해 연면적 1만5000평(지상 4층) 규모로 생산 인프라 및 연구소, 각종 복지시설 등이 포함된 사옥을 건립할 계획이다. 이상일 시장은 "글로벌 반도체 중심도시로 도약하고 있는 용인특례시는 반도체, AI(인공지능) 등 첨단산업 분야 기업들을 유치하기 위해 필요하고도 신속한 행정서비스를 제공하고 있고, 그 결과 램리서치코리아, 도쿄일렉트론코리아, ASML, 고영테크놀로지 등 훌륭한 기업들이 용인에 투자하고 입주하는 결정을 했다"며 "앞으로도 좋은 기업들이 용인에 많이 들어와서 훌륭한 성과를 낼 수 있도록 투자 상담부터 결정까지 모든 과정에서 행정적인 편의를 제공하는 등 열심히 지원하겠다"고 말했다. jjang@fnnews.com 장충식 기자

[파이낸셜뉴스]  지난 주말 전국에서 발생한 산불로 치솟은 연기와 산불 피해 현황이 인공위성에 포착됐다. 위성 스타트업 텔레픽스는 천리안 해양관측위성(GOCI-II)과 유럽우주국(ESA) 센티넬2 위성, 천리안 환경위성(GEMS) 등을 통해 지난 21일부터 23일 전국적으로 발생한 산불 관련 위성 데이터 분석결과를 25일 공개했다. 텔레픽스 산하 '지속 가능한 지구를 위한 연구소'는 지난 22일 오후 5시 15분께 천리안 해양관측위성(GOCI-II) 영상을 분석한 결과 3개 지역에서 뿌연 연기가 피어오르는 장면을 발견했다. 산림청이 발표한 산불 발생 정보에 따르면 21~23일 국내에선 산불 48건이 발생했다. 이중 대응 단계가 3단계로 격상된 지역은 경남 산청, 경북 의성, 울산 울주다. 텔레픽스가 유럽우주국(ESA) 센티넬-2 위성을 통해 산불 피해규모를 확인해 보니 산청군은 22일 오전 11시 15분 기준 5.48㎢였고 24일 오후 6시 기준 의성군은 약 108.47㎢, 울주군은 4.56㎢ 규모의 피해를 본 것으로 조사됐다. 기상 관측 위성 데이터를 통해 분석한 기후 조건에선 지난해 3월과 비교했을 때 올해 영남 지역은 습도가 낮은 것으로 나타났다. 특히 의성군은 23% 수준으로 매우 건조했다. 세 지역의 풍속 역시 22일 오전 기점으로 강해지는 상황을 보였고 풍향 또한 산불 확산 방향과 일치한 것으로 알려졌다. 이번 분석을 담당한 김지희 텔레픽스 영상과학연구팀장은 “관계기관에서도 동시다발적으로 발생한 이번 산불에 대해 건조한 기후, 평년보다 적은 적설량, 강한 돌풍 등을 원인으로 꼽고 있다"며 "텔레픽스 역시 기후 변화의 영향으로 추정해 과거 기후와의 연관성을 내부적으로 추적 중”이라고 설명했다. 이어 “위성 데이터는 대기질, 기상 조건, 피해 규모 등을 종합적으로 확인할 수 있어 각 지역의 산불 원인을 규명하는 데 큰 도움이 되며, 향후 보상 및 보험 등의 판단 근거로도 활용될 수 있다”고 덧붙였다. y27k@fnnews.com 서윤경 기자

"인공지능(AI) 시장 확대에 힘입어 앞으로 3년 정도 폭발적 실적 성장이 예상됩니다." 저스템 임영진 대표 (사진)는 18일 "전 세계 반도체 산업에 있어 AI는 희망의 메시지"라며 "미국에 이어 중국 등으로 AI 시장이 확대하면서 여기에 들어가는 '고대역폭메모리(HBM)' 수요가 증가할 것이다. 이에 따라 자사 반도체 습도제어 솔루션 판매량 역시 늘어날 것"이라며 이같이 밝혔다. 임 대표가 이끄는 저스템은 반도체 공정에서 습도를 제어하는 솔루션에 주력한다. 그는 "반도체 회로선폭이 20나노미터(㎚, 10억분의 1m) 이하로 미세해지면서 반도체를 만드는 공간인 클린룸 안에 존재하는 습도가 반도체 수율(불량률 반대)을 떨어뜨리는 원인으로 지목됐다"며 "이를 해결할 수 있는 습도제어 솔루션 아이템을 앞세워 지난 2016년 회사를 창업했다"고 말했다. 임 대표의 예상은 적중했다. 저스템이 출시한 1세대 습도제어 솔루션 '엔투퍼지'는 국내외 유수 메모리반도체 업체들에 공급됐다. 세상에 없던 솔루션을 선보인 결과, 저스템은 현재 반도체 습도제어 솔루션 시장 80% 이상을 점유한다. 2022년 기준 매출액은 460억원에 달했다. 임 대표는 "엔투퍼지가 반도체 클린룸 내 습도를 종전 45%에서 5%로 낮추면서 반도체 수율을 높일 수 있었다"며 "엔투퍼지에 이어 습도를 1%까지 낮출 수 있는 'JFS(Justem Flow Straightener)'를 지난해 초 선보였다"고 말했다. 저스템은 엔투퍼지에 이어 JFS 판매에 열을 올렸다. 그 결과 JFS는 북미 지역에 본사를 둔 메모리반도체 업체에 공급이 활발히 이뤄진다. 저스템은 올해 상반기 중 국내 유수 메모리반도체 업체들로 JFS 거래처를 확대할 계획이다. 그는 "추가로 JFS를 보완할 수 있는 3세대 반도체 습도제어 솔루션을 오는 19일 개막하는 '세미콘코리아' 전시장에서 처음 공개할 예정"이라고 강조했다. 임 대표는 올해 반도체 습도제어 솔루션뿐 아니라 유기발광다이오드(OLED), 이차전지 장비에서도 성과를 기대하고 있다. 특히 OLED 공정에서 수율을 떨어뜨리는 원인인 정전기를 없애는 '고진공 이오나이저 시스템'에 기대를 걸고 있다. 그는 "고진공 이오나이저 시스템은 출시와 함께 국내 유수 OLED 업체에 공급할 수 있었다"며 "이어 중국 등 해외 OLED 업체들로부터 '러브콜'이 이어지면서 올해 JFS와 함께 실적을 견인할 수 있는 동력이 될 것"이라고 밝혔다. 임 대표는 이차전지 산업 역시 올해 '캐즘(일시적 수요정체)'에서 어느 정도 벗어날 수 있을 것으로 예상했다. 저스템은 알루미늄박, 동박을 회전하는 롤에 감아 필요한 물질을 입히는 기능을 하는 '롤투롤' 장비를 만든다. 그는 "지난해 국내외 유수 이차전지 업체들이 회사로 방문한 뒤 롤투롤 장비를 평가하는 과정을 진행했다"며 "특히 롤투롤 장비는 리튬을 원료로 하지 않는 차세대 이차전지 생산에 더욱 활발히 쓰일 것"이라고 말했다. 이어 "반도체 습도제어 솔루션에 OLED, 이차전지 장비 실적이 더해지면서 올해 지난 2022년 기록한 실적을 뛰어넘는 성과가 예상된다"고 덧붙였다. butter@fnnews.com 강경래 기자

겨울철을 맞아 호흡기 질환에 대한 관심이 높아지면서 가습기를 찾는 수요가 늘어나고 있다. 이에 중견가전 업체들이 △공기청정 복합식 △가열식 △초음파식 등 다양한 방식을 앞세워 관련 시장을 공략 중이다. 12일 관련 업계에 따르면 코웨이는 '듀얼클린 가습공기청정기'를 앞세워 올 겨울 가습기 수요를 잡는다는 전략이다. 듀얼클린 가습공기청정기는 실내 습도 조절과 함께 미세먼지 제거까지 가능한 복합 제품이다. 필요에 따라 언제든 가습과 공기청정 기능을 선택해 활용할 수 있다. 코웨이 듀얼클린 가습공기청정기는 물통과 수조부를 손쉽게 분리하고 세척할 수 있도록 설계해 위생 관리 편의성을 높였다. 가습 물통은 제품 상단 손잡이를 들어 올리면 손쉽게 분리된다. 수조부는 제품 커버를 열고 앞으로 잡아당기면 분리가 되어 가습 필터와 내부를 손쉽게 세척할 수 있다. 아울러 △극세사망 프리필터 △에어매칭 필터 △탈취필터 △초미세먼지 집진필터 등 4단계 필터 시스템을 탑재했다. 여기에 △일반청정 △청정가습 △멀티청정 등 3가지 방식으로 실내 공기를 제어할 수 있다. 토출구는 전면과 측면, 상부에 각각 배치했다. 코웨이 관계자는 "듀얼클린 가습공기청정기는 가습과 공기청정 기능을 동시에 활용할 수 있어 겨울철 환기가 어려운 실내 환경에서 공기질을 관리하는데 효과적일 것"이라고 말했다. 쿠쿠전자는 가열식 '스팀 100 가습기'를 선보였다. 스팀 100 가습기는 위생적으로 사용할 수 있도록 기능과 재질 등을 구성한 것이 특징이다. 세균 번식 걱정이 없도록 100도까지 가열해 고온 살균한 수증기를 분사한다. 이를 통해 실내 습도를 안전하고 깨끗하게 유지하고 호흡기 건강을 지키는 데 도움을 준다. 열과 부식에 강한 스테인리스 304 소재로 만든 3.8L 스테인리스 수조를 장착해 청결하게 사용할 수 있다. 간편하게 세척할 수 있도록 한 번 터치만으로 내부를 깨끗하게 세척할 수 있는 자동 세척 모드를 적용했다. 내부에 불필요한 구조물이 없어 통으로 닦아낼 수 있다. 쿠쿠전자 관계자는 "가습 성능에 안전과 위생까지 더한 스팀 100 가습기를 출시했다"며 "앞으로도 소비자 요구를 반영한 제품을 지속 선보일 것"이라고 말했다. 신일전자는 초음파 방식을 승부수로 띄웠다. 신일전자는 '초음파 가습기'를 출시한 뒤 판매에 착수했다. 신일 초음파 가습기는 초음파 진동으로 물을 미세한 입자로 분해해 빠르게 공기 중으로 방출한다. 이를 통해 즉각적인 가습 효과를 제공해 밤에도 소음 걱정 없이 사용할 수 있다. 또한 4L 대용량 물통은 최대 14시간 연속 사용이 가능하다. 내열 강화유리로 만들어 물 잔량 확인이 쉬워 위생 관리에 용이하다. 상부 급수 방식을 채택해 물을 쉽게 채울 수 있고, 360도 회전 분무구와 터치식 컨트롤 등 다양한 편의 기능을 갖췄다. 신일전자 관계자는 "겨울철 건조한 실내 환경은 건강과 피부에 영향을 미칠 수 있어 가습기 사용이 필수적"이라며 "성능과 편리성을 겸비한 신일 초음파 가습기는 쿠팡 프로모션 등을 통해 구매할 수 있다"고 말했다. 업계 관계자는 "코로나 팬데믹 이후 호흡기 질환에 대한 관심이 높아지면서 가습기가 겨울철 필수가전으로 일상생활에 자리 잡았다"며 "이에 발맞춰 복합식과 가열식, 초음파식 등 다양한 소비자 요구에 대응하려는 움직임이 활발하다"고 말했다. butter@fnnews.com 강경래 기자

[파이낸셜뉴스] 저스템이 올해 선보인 2세대 습도제어 장치가 글로벌 반도체 업계에서 긍정적인 반응을 얻고 있다. 저스템이 반도체 2세대 습도제어 장치 'JFS(Justem Flow Straightener)' 출하량을 집계한 결과 500대를 넘어섰다고 26일 밝혔다. 저스템은 현재까지 해외에 본사를 둔 종합반도체기업 M사와 JFS를 활발히 거래하고 있으며, 지속적인 수주 확대를 예상한다. 저스템 측은 "올해 1월 열린 세미콘코리아에서 JFS 제품을 공식 발표한 뒤 10개월 만에 500대 이상 출하량을 달성했다"며 "이는 이미 전 세계 반도체 습도제어 장치 시장 80% 이상을 점유한 기존 1세대 'N2 PURGE' 공급 속도보다 빠르다"라고 설명했다. 저스템은 M사에 JFS 제품을 추가로 공급할 예정이며, 이와 별도로 글로벌 반도체 기업 A사와도 현재 제품 적용 여부를 협의 중이다. 이럴 경우 반도체 습도제어 장치 글로벌 시장에서 입지를 더욱 강화할 것으로 전망된다. JFS는 저스템이 3년 이상 연구·개발 끝에 원천 특허를 확보한 업계 첫 기류제어 제품이다. 이는 반도체 웨이퍼(원판)를 담는 '풉(FOUP)' 내부 습도를 1% 이하까지 제어해 수율 향상에 기여한다. 모든 반도체 장비에 공통으로 적용하는 'EFEM(Equipment Front End Module)'에 추가 유틸리티 없이 설치할 수 있어 시간과 비용을 줄일 수 있다. 김용진 저스템 사장(COO)은 "반도체 시장이 긍정적이지 않은 상황임에도 불구하고 올해 3·4분기에 직전 기간보다 매출액이 늘어났다"며 "자사 습도제어 시스템이 2016년 이후 반도체 공정에서 하나의 표준으로 자리 잡은 것처럼 2세대 JFS 제품 역시 주요 표준 솔루션이 될 것으로 기대한다"고 말했다. butter@fnnews.com 강경래 기자

장마기간에 돌입하면서 중견가전업체들 사이에서 제습기를 출시하거나 관련 마케팅을 강화하는 사례가 이어지고 있다. 2일 관련 업계에 따르면 신일전자는 에너지소비효율 1등급을 받은 '대용량 제습기'를 선보였다. 신일전자는 지난해 '상부식 제습기'를 선보인 데 이어 이번에 대용량 제습기를 추가로 공개하면서 제습기 라인업을 한층 강화했다. 신일전자 대용량 제습기는 하루 최대 18L 제습량을 통해 장마기간이나 고온다습한 환경에서도 신속하고 효과적으로 습도를 조절할 수 있다. 또한 6.5L 용량 대형 물통을 적용해 잦은 비움 없이 장시간 연속 사용이 가능하다. 여기에 내부 건조 기능을 통해 제습을 마친 뒤 제습기 안에 있는 습기를 자동으로 건조한다. 신일전자 관계자는 "이번 대용량 제습기는 에너지소비효율 1등급을 통해 전기 요금 부담을 줄이면서도 제습 성능은 한층 강화했다"며 "장마기간 동안 이어지는 높은 습도로 인한 불쾌감을 없애고 곰팡이 번식을 막는데 도움을 줄 것"이라고 말했다. 파세코는 크기는 줄인 대신 제습력 등 기능은 강화한 '12L 제습기'를 공개했다. 이 제품은 가로 25.5㎝와 세로 47㎝ 크기로 동급 용량 제습기와 비교해 부피를 20% 정도 줄인 반면, 제습력 등 기능은 한층 업그레이드했다. 그동안 제습기 단점으로 지적된 소음 문제도 해결했다. 파세코 '12L 제습기'소음은 도서관 수준인 36dB에 불과하다. 공간 효율을 높이고 여기에 소음으로 인한 수면 방해 등 부담이 없어 집안 어느 곳에나 활용이 가능하다. 파세코 관계자는 "30L 대용량 하이브리드 제습에어컨에 이어 12L 소용량 제품까지 선보이며 올 여름을 겨냥한 제습기 라인업을 완성했다"며 "공간 효율성을 높이면서도 성능과 디자인 모두 만족할 수 있는 제품을 만들기 위해 노력했다"고 말했다. 제습기에 다양한 기능을 더한 복합 제품도 눈에 띈다. 코웨이는 제습에 공기청정 기능을 더한 '듀얼클린 제습공기청정기'를 승부수로 띄웠다. 듀얼클린 제습공기청정기는 제습과 공기 청정 면적 30㎡, 일일 제습량 12.5L로 공기 청정과 제습 기능을 동시에 갖춘 것이 특징이다. 여기에 에너지 효율과 위생 관리, 사용 편의성까지 강화했다. 듀얼클린 제습공기청정기는 상황에 따라 제습과 공기청정을 맞춤으로 설정해 사용할 수 있다. 또 사용자가 설정한 희망 습도에 맞춰 제습 기능을 작동할 수 있어 쾌적한 실내 공기 관리가 가능하다. 제습 효율을 높이는 스마트 인버터 컴프레서, 저소음 저전력 절전 기능을 통해 에너지 효율도 높일 수 있다. 올 여름 장기간 장마와 함께 폭염으로 인한 고온다습한 기후가 이어질 것으로 예상되면서 예년보다 제습기 판매가 늘어날 전망이다. 실제로 신일전자가 올해 상반기 제습기 판매량을 집계한 결과 전년 동기보다 135% 늘어났다. 업계 관계자는 "장마기간이 갈수록 길어지면서 제습기가 여름철 필수가전으로 자리를 잡아가는 추세"라며 "이에 따라 가전업체들이 장마기간에 맞춰 제습기 라인업을 강화하는 데 주력하는 분위기"라고 말했다. butter@fnnews.com 강경래 기자

[파이낸셜뉴스]  리서치알음은 11일 저스템에 대해 AI반도체 업황 개선과 OLED, 2차전지 등 신사업분야 성과로 주가 재평가가 기대된다고 진단했다. 이에 주가전망은 '긍정적', 적정 주가는 현 주가 대비 상승여력 40.2%을 더한 2만3000원을 제시했다. 이승환 연구원은 “글로벌 반도체 제조사는 지금 ‘수율’과 전쟁 중인데, 이는 현재 제조사간 생산 기술력의 척도로 여겨진다”라며 “AI 등장으로 인한 초미세공정 도입으로 수율 관리 중요성이 그 어느 때보다 커지고 있다”라고 밝혔다.이어 “나노미터 단위의 미세 패턴을 정밀하게 새겨야 하는 만큼 기술 난이도가 높아 수율이 곧 경쟁력이고 수익과 직결되는 요소”라며 “동사는 글로벌 Top3 제조사(삼성, SK하이닉스, 마이크론)를 모두 고객사로 확보한 수율 개선 장비 생산기업으로 주목을 당부한다”라고 부연했다. 저스템은 반도체 생산 공정에 적용되는 습도 제어 솔루션 개발·제조 전문 기업이다. 대표적인 제품 ‘N₂(질소) Purge System’은 반도체 웨이퍼 이송 장치에 노즐을 장착하는 솔루션으로 반도체 수율 개선 및 미세화 대응에 필수적인 기술이라는 것이 리서치알음의 설명이다. 특히 AI 반도체 생산을 위한 초미세공정 도입으로 수율 관리 중요성이 그 어느 때보다 커지고 있는 상황인데 저스템이 2세대 습도제어장치 JFS(Justem Flow Straightener) 시스템을 개발한 점을 호재로 봤다. JFS 시스템은 기류 제어를 통해 반도체 웨이퍼 주변의 습도를 제어하고, 웨이퍼 이송 및 공급 장치에 내부 방향으로 발생하는 불필요한 역류 현상을 방지하는 역할을 한다는 것이다. 이 연구원은 “결국 초미세화 공정에서 수율 관리를 위해 필수적인 제품으로 JFS 시스템의 수요 확대가 예상된다”라며 “현재 동사는 글로벌 Top3 제조사(삼성, SK하이닉스, 마이크론)를 모두 고객사로 확보한 수율 개선 장비 생산기업으로 주목해야 한다”라고 강조했다. 또한 기존 반도체 사업 중심에서 디스플레이, 2차전지, 태양광, 바이오 등으로 사업영역을 확대하고 있는 점도 긍정적으로 분석했다. 리서치알음에 따르면 저스템의 디스플레이와 태양광 사업에서는 올해부터 매출이 가시화될 전망이며, 내년 기준 신규사업 비중을 30%까지 확대할 계획이다. 한편 리서치알음은 올해 저스템의 예상 실적과 관련 매출액 481억원(+34.0%, YoY), 영업이익 69억원(+2,191.3%, YoY)으로 추정했다. 이 연구원은 “ 1분기부터 재고 수주 정상화와 모바일, PC, 서버 쪽의 수요 개선에 따른 반도체 업체들의 양산 본격화로 턴어라운드가 예상된다”라며 “반도체 기술을 바탕으로 한 제품 포트폴리오 확장성과 고객사 다변화 등을 고려할 때 현재 시가총액은 현저히 저평가되어 있다고 판단한다”라고 말했다. 그러면서 “여기에 AI를 필두로 한 반도체 산업 업황 개선과 OLED, 2차전지 등 신규 사업분야에서 성과가 이어지며 재평가가 가능할 전망”이라며 “올 1분기부터 턴어라운드가 예상되어 동사의 긍정적인 주가흐름이 기대된다”라고 덧붙였다. kakim@fnnews.com 김경아 기자

[파이낸셜뉴스] 저스템이 2세대 습도제어장치 'JFS(Justem Flow Straightener)'를 추가로 수주하며 반도체 습도제어 분야에서 입지를 공고히 했다. 8일 저스템에 따르면 반도체 대기업 M사로부터 JFS를 추가로 수주했다. 이는 지난 2월 첫 수주를 받은 이후 한 달 만에 받은 두 번째 수주다. 저스템 측은 "이번 수주를 계기로 반도체 양산라인에서 습도제어와 수율향상을 위해 JFS가 본격적으로 장착되는 횡전개 상황이 지속될 것"이라며 "그에 따른 매출 증대도 기대한다"고 설명했다. JFS는 반도체 웨이퍼를 보관하는 장치(FOUP) 안 습도를 1% 이하까지 낮춰 수율 향상을 높이는 2세대 습도제어 시스템이다. 저스템 종전 1세대 습도제어장치 'N2 PURGE'는 전 세계 관련 시장 80% 이상을 점유한다. 저스템은 이번 수주 전까지 2년 동안 양산 평가 과정을 거치며 JFS 효용성과 완성도 등을 검증받았다. 양산평가 이전에도 3년여 기술 개발 과정을 거쳤다. 독자적으로 개발한 '수직층류(Laminar Flow)' 제어 기술을 적용해 습도제어 효과를 높였다. 임영진 저스템 대표는 "2세대 제품인 JFS는 종전 1세대 N2 PURGE 점유율과 수익을 상회하는 대표적인 상품으로 될 것"이라며 "앞으로 JFS 추가 수주와 시장 확대를 위해 노력할 것"이라고 말했다. butter@fnnews.com 강경래 기자

"반도체에 이어 디스플레이, 2차전지로 장비 영역을 확장하고 있습니다." 임영진 저스템 대표(사진)는 12일 "반도체 공정에서 습도를 낮추는 장비로 전 세계 시장 80% 이상을 점유했고, 여기에 디스플레이 정전기 제어 장비, 2차전지 '롤투롤(Roll to Roll)' 장비에서도 성과가 이어지고 있다"며 이같이 밝혔다. 인하대에서 금속공학 박사 학위를 받은 임 대표는 삼성전자 R&D센터 팀장으로 반도체 연구·개발과 함께 제조공정을 개선하는 등 활동을 이어갔다. 이후 주성엔지니어링으로 이동한 뒤 수석부사장으로 일했다. 이렇듯 임 대표는 지난 2016년 저스템을 창업하기 전까지 40년 가까이 반도체 분야 전문가로 활동했다. 임 대표가 창업을 결심하게 된 계기는 '습도'였다. 10년 전만 해도 반도체 공정에서 습도는 문제가 되지 않았다. 하지만 반도체 회로선폭이 10나노미터(㎚, 10억분의 1m) 이하로 미세해지면서 클린룸 안에 존재하는 습도가 반도체 수율을 떨어뜨리는 원인이 됐다. 임 대표는 "대기 중에 존재하는 45% 정도 습도가 반도체 수율에 치명적인 영향을 미친다는 사실을 확인하고 이에 대한 학습과 함께 해결을 위한 솔루션을 확보하는 데 힘을 쏟았다"며 "앞으로도 반도체 회로선폭 미세화에 따른 수율 문제는 계속 제기될 것으로 예상하고 창업에 도전했다"고 밝혔다. 오랜 기간 반도체 분야에 종사해온 덕에 임 대표는 저스템을 창업한지 얼마지 않아 임직원들과 함께 1세대 습도제어 솔루션 '엔투퍼지(N2PURGE)'를 만들 수 있었다. 이는 반도체 웨이퍼를 보관하는 장치(FOUP) 내부에 질소를 주입한 뒤 순환시켜 웨이퍼 표면에 있는 수분과 함께 이물질을 제거하는 방식이었다. 저스템이 선보인 엔투퍼지는 입소문을 타고 국내 유수 반도체 업체뿐 아니라 일본, 대만, 싱가포르 등 해외 시장까지 빠르게 수출됐다. 저스템은 현재 반도체 습도제어 솔루션 분야에서 전 세계 시장 80% 이상을 점유한다. 임 대표는 "반도체 공정에서 수분이 문제가 될 것이라는 점을 몇몇 회사들이 관심을 갖고 있었지만 아직 본격적인 시장이 형성되지 않았던 시기"라며 "우리가 이 문제를 해결할 수 있다는 자신감을 갖고 과감하게 도전한 결과 오늘에 이를 수 있었다"고 돌이켰다. 임 대표는 반도체에 이어 디스플레이 분야로 눈을 돌렸다. 디스플레이 공정에서는 습도가 아닌 정전기가 문제였다. 일례로 유기발광다이오드(OLED) 공정에서 정전기가 발생하는데 이로 인해 기판 절연이 파괴되거나 증착 성능이 저하된다. 이는 결국 OLED 수율을 떨어뜨리는 원인이 된다. 임 대표는 "이온소스를 활용해 디스플레이 공정에서 발생하는 정전기를 없애는 '고진공 이오나이저 시스템(VIS, Vacuum Ionizer System)'을 만들어 LG디스플레이에 공급하는 성과를 거뒀다"며 "고진공 이오나이저 시스템 역시 세계 최초로 만든 제품으로 원천기술을 보유했다"고 강조했다. 여기에 저스템은 2차전지 장비를 더했다. 특히 2차전지 공정 전체에서 30%가량을 차지하는 핵심인 롤투롤 장비 분야에 진출했다. 이는 알루미늄박, 동박을 회전하는 롤에 감으면서 물질을 입히는 기능을 한다. 저스템 롤투롤 장비는 전극을 연속적으로 가열해 수분과 불순물을 제거해 성능을 제고할 수 있다. 태양광 장비는 인수·합병(M&A)을 통해 진출했다. 저스템은 지난해 3월 플라즈마 전문기업 플람을 인수했다. 플람은 상압에서 60도 이하 저온을 형성해 수율을 높일 수 있는 기술을 보유했다. 플람은 이 기술을 적용한 태양광 표면처리장비를 이미 미국 업체에 수출한 이력이 있다. 임 대표는 "올해는 최근 글로벌 업체로부터 처음 수주한 2세대 반도체 습도제어 솔루션 'JFS(Justem Flow Straightener)'에 큰 기대를 걸고 있다"며 "엔투퍼지가 습도를 5% 수준으로 제어한다면 JFS는 이를 1% 이하로 낮출 수 있다"고 말했다. 이어 "반도체뿐 아니라 디스플레이, 2차전지, 태양광 장비에서도 한 단계 진보를 이뤄 글로벌 장비회사로 성장할 것"이라며 "이 과정에서 직원도 성장하고 가족 역시 행복을 누릴 수 있는 '직원과 그 가족이 행복한 회사'라는 비전도 실현할 것"이라고 덧붙였다. butter@fnnews.com 강경래 기자

[파이낸셜뉴스] 저스템이 2세대 습도제어 솔루션 'JFS(Justem Flow Straightener)' 첫 공급 계약을 체결했다. 2일 저스템에 따르면 해외 반도체 업체 M사로부터 JFS 수주를 받고 양산에 착수한다. 2년 동안 양산 평가 과정을 거친 뒤 나온 첫 수주다. JFS는 반도체 웨이퍼를 저장하는 장치(FOUP) 안에 습도를 상시적으로 제어하는 솔루션으로 독자적으로 개발한 수직층류(Laminar flow) 기술을 적용했다. 기존 'EFEM(Equipment Front End Module)' 장비에 장착만 하면 습도 문제를 해결할 수 있다. 저스템은 현재까지 3세대 습도제어 제품까지 개발했다. 1세대 제품인 '엔투퍼지(N2PURGE)'는 세계 시장 80% 이상을 점유하며 2000억원에 달하는 누적 매출액을 달성했다. 이번에 엔투퍼지에 이어 2세대 JFS까지 시장에 진입, 저스템 실적에 긍정적인 영향을 미칠 전망이다. 임영진 저스템 대표는 "JFS 솔루션은 최상의 습도제어를 위한 전략적 선택"이라며 "JFS 활용을 통해 반도체 습도 문제 해결과 함께 외산 수입 대체 효과까지 기대할 수 있다"고 말했다. butter@fnnews.com 강경래 기자