[파이낸셜뉴스] 저스템이 2세대 습도제어장치 'JFS(Justem Flow Straightener)'를 추가로 수주하며 반도체 습도제어 분야에서 입지를 공고히 했다. 8일 저스템에 따르면 반도체 대기업 M사로부터 JFS를 추가로 수주했다. 이는 지난 2월 첫 수주를 받은 이후 한 달 만에 받은 두 번째 수주다. 저스템 측은 "이번 수주를 계기로 반도체 양산라인에서 습도제어와 수율향상을 위해 JFS가 본격적으로 장착되는 횡전개 상황이 지속될 것"이라며 "그에 따른 매출 증대도 기대한다"고 설명했다. JFS는 반도체 웨이퍼를 보관하는 장치(FOUP) 안 습도를 1% 이하까지 낮춰 수율 향상을 높이는 2세대 습도제어 시스템이다. 저스템 종전 1세대 습도제어장치 'N2 PURGE'는 전 세계 관련 시장 80% 이상을 점유한다. 저스템은 이번 수주 전까지 2년 동안 양산 평가 과정을 거치며 JFS 효용성과 완성도 등을 검증받았다. 양산평가 이전에도 3년여 기술 개발 과정을 거쳤다. 독자적으로 개발한 '수직층류(Laminar Flow)' 제어 기술을 적용해 습도제어 효과를 높였다. 임영진 저스템 대표는 "2세대 제품인 JFS는 종전 1세대 N2 PURGE 점유율과 수익을 상회하는 대표적인 상품으로 될 것"이라며 "앞으로 JFS 추가 수주와 시장 확대를 위해 노력할 것"이라고 말했다. butter@fnnews.com 강경래 기자

[파이낸셜뉴스] 저스템이 올해 선보인 2세대 습도제어 장치가 글로벌 반도체 업계에서 긍정적인 반응을 얻고 있다. 저스템이 반도체 2세대 습도제어 장치 'JFS(Justem Flow Straightener)' 출하량을 집계한 결과 500대를 넘어섰다고 26일 밝혔다. 저스템은 현재까지 해외에 본사를 둔 종합반도체기업 M사와 JFS를 활발히 거래하고 있으며, 지속적인 수주 확대를 예상한다. 저스템 측은 "올해 1월 열린 세미콘코리아에서 JFS 제품을 공식 발표한 뒤 10개월 만에 500대 이상 출하량을 달성했다"며 "이는 이미 전 세계 반도체 습도제어 장치 시장 80% 이상을 점유한 기존 1세대 'N2 PURGE' 공급 속도보다 빠르다"라고 설명했다. 저스템은 M사에 JFS 제품을 추가로 공급할 예정이며, 이와 별도로 글로벌 반도체 기업 A사와도 현재 제품 적용 여부를 협의 중이다. 이럴 경우 반도체 습도제어 장치 글로벌 시장에서 입지를 더욱 강화할 것으로 전망된다. JFS는 저스템이 3년 이상 연구·개발 끝에 원천 특허를 확보한 업계 첫 기류제어 제품이다. 이는 반도체 웨이퍼(원판)를 담는 '풉(FOUP)' 내부 습도를 1% 이하까지 제어해 수율 향상에 기여한다. 모든 반도체 장비에 공통으로 적용하는 'EFEM(Equipment Front End Module)'에 추가 유틸리티 없이 설치할 수 있어 시간과 비용을 줄일 수 있다. 김용진 저스템 사장(COO)은 "반도체 시장이 긍정적이지 않은 상황임에도 불구하고 올해 3·4분기에 직전 기간보다 매출액이 늘어났다"며 "자사 습도제어 시스템이 2016년 이후 반도체 공정에서 하나의 표준으로 자리 잡은 것처럼 2세대 JFS 제품 역시 주요 표준 솔루션이 될 것으로 기대한다"고 말했다. butter@fnnews.com 강경래 기자

【파이낸셜뉴스 전주=강인 기자】 농촌진흥청이 해충 피해를 예방하기 위한 AI 해충 포획장치를 개발했다. 8일 농진청에 따르면 노지 밭작물 해충을 유인해 발생 현황을 파악하는 인공지능(AI) 기반 '무인예찰 포획 장치'를 개발했다. 군산대, BNS코퍼레이션과 공동연구를 통해 개발한 해당 장치는 성 유인물질(페로몬)로 해충을 유인해 포획한 뒤 확보한 이미지를 AI가 인식해 해충 종류와 마릿수를 분석한다. 포획장치 안에 부착된 환경감지기는 온도와 습도, 풍향, 풍속, 조도를 확인할 수 있다. 해충 유입 방향도 추적할 수 있고, 수집한 데이터는 별도 포획장치 관제시스템에서 제어가 가능하다. 또 영상을 수집한 후에는 자동으로 해충을 분쇄·배출해 추가적인 관리가 필요 없다. 정확한 영상을 얻기 위해 해충을 움직이지 못하게 하는 약제와 전기충격 장치도 내장됐다. 정병우 농진청 국립식량과학원 남부작물부장은 "앞으로 이 기술이 각 지역 현장에서 활용될 수 있도록 노력하고, 노지 스마트농업의 개별요소 기술로 활용해 자동방제와 연결되도록 최선을 다하겠다"고 전했다. kang1231@fnnews.com 강인 기자

[파이낸셜뉴스] LG전자가 4일부터 6일까지 부산 벡스코에서 열리는 '기후산업국제박람회'에 참가해 탄소중립을 실천하는 고효율 냉난방공조(HVAC) 솔루션을 대거 선보인다. 기후산업국제박람회는 기후위기 대응 및 탄소중립 목표 달성을 위한 국제적인 논의의 장을 마련하고자 지난해 처음 개최됐다. 이번 박람회 주제는 '기후 기술로 열어가는 무탄소 에너지 시대'다. LG전자는 270㎡ 규모의 부스에 주거·공공·상업 시설 등 다양한 공간 맞춤형 HVAC 솔루션을 체험하는 공간을 구성했다. 주거 솔루션에는 바람의 방향을 정밀하게 조절하는 에어가드를 추가해 맞춤형 바람을 제공하는 '1방향 천장형 시스템 에어컨', 문을 열지 않고 깨끗한 외부 공기를 집 안으로 공급하는 '프리미엄 환기 시스템'을 선보였다. 가정용 시스템 에어컨과 환기 시스템의 차별화된 바람의 움직임을 관람객들이 직접 눈으로 확인하도록 AR 기류 가시화 솔루션도 선보였다. 관람객들은 증강현실을 통해 에어컨 바람이 뿜어져 나가는 방향, 오염된 공기 배출과 깨끗한 공기 유입 등 '기류 기술'을 눈으로 직접 확인할 수 있다. 공공 솔루션은 △고성능 인공지능(AI) 엔진을 활용해 냉방 세기와 전기요금을 아껴주는 휘센 시스템 에어컨 '멀티브이 아이' △빌딩이나 시설물 내부 공기의 온도와 습도를 제어하는 환기시스템 '실외공기전담공조시스템) △배출가스 저감장치를 부착해 대기오염물질 배출을 줄인 상업용 가스식 시스템에어컨 등을 전시했다. 상업 솔루션은 △편의점 중형 저온창고 등에서 식음료를 신선하게 유지하는 '콜드체인' △40평형 국내 제품 중 유일하게 에너지효율 1등급인 '상업용 스탠드 에어컨' 등 다양한 공조 제품을 전시했다. 이재성 LG전자 H&A사업본부 에어솔루션사업부장(부사장)은 "LG전자의 고효율 에너지 기술력을 바탕으로 탈탄소에 대응하는 토털 냉난방공조 솔루션을 지속적으로 발전시켜 나갈 것"이라고 말했다. hoya0222@fnnews.com 김동호 기자

【파이낸셜뉴스 안성=장충식 기자】 경기도 안성시가 전국 지자체 최초로 냄새가 덜 나는 축사를 조성했다.  28일 안성시에 따르면 시는 서울대학교 산학협력단과 합동으로 개발한 '안성시 안성맞춤형 냄새저감 스마트 무창축사 표준모델'을 적용한 돼지농장이 2~3호를 준공했다.  시는 지난 4월 19일 1호 농가 준공식 이후 4개월 만에 올해 안으로 스마트 무창축사는 6곳을 조성한다. 이를 위해 시는 오는 2027까지 '축산냄새 5개년 단계별 저감대책'을 집중 추진중에 있으며, 안성시 양돈농가의 10% 이상 안성맞춤형 냄새저감 스마트 무창축사 표준모델을 적용한다. 스마트 무창축사는 무창형 중앙집중배기, 워싱타워(에어워셔, 바이오필터), 액비순환시스템(미생물 활성화 처리), CCTV, 자동 급이·급수시스템, ICT 냄새측정장치, 8대 방역시설 등을 갖추어 최첨단 시스템이다. 기존 낡은 개방형 축사 대비 축산냄새가 80~100% 감소될 것으로 예상하고 있다. 특히 스마트 무창축사 2호 농장은 온도에 민감한 사육 환경을 위해 돈사 적정 온·습도를 ICT로 자동제어 할 수 있으며, 스마트 무창축사 3호 농장은 자부담 10억을 추가 부담해 액비저장탱크를 3400t 규모로 증설하고 효과적인 액비순환 및 분뇨처리 문제를 해결했다. 무엇보다 축사 외부 위험요인 차단과 수준 높은 방역관리로 아프리카돼지열병(ASF) 및 돼지유행성설사병(PED) 등 악성 가축질병으로부터 해방될 것으로 보고 있다. 김보라 시장은 "안성시에서 역점적으로 추진하고 있는 축산냄새 5개년 단계별 저감대책 사업을 순조롭게 추진해 안성시 ESG 상생축산의 비전을 달성하고, 축산냄새 해결은 물론 생산성을 높이는 농가 경쟁력까지 갖춰 안성시, 더 나아가 대한민국 축산의 이미지를 개선하는데 앞장서는 계기가 됐다"고 말했다. jjang@fnnews.com 장충식 기자

해마다 6월, 네덜란드 암스테르담에서는 '그린테크'가 열린다. 스마트농업 기술 국제 전시회이다. 재배자, 기술기업 등 세계 스마트농업 관계자가 함께한다. 이곳저곳에 유사한 전시회가 많지만, 그린테크는 수준과 규모에서 으뜸이다. 그린테크의 꽃은 '혁신상'과 '개념상' 발표이다. 혁신상은 이미 생산에 사용하는 최신 기술에, 개념상은 곧 실용화가 가능한 첨단 아이디어에 상을 준다. 상을 받은 기술과 아이디어를 보면 스마트농업 기술 수준과 동향을 볼 수 있다. 올해는 인공지능(AI)과 데이터 과학을 기반으로 한 '자율농업' 지향 기술과 아이디어가 상을 받았다. 지금까지 스마트농업 기술은 '복합환경 제어장치'에 집중했다. 온도·습도·광도 등 농업환경변수를 목표치에 도달하게 해서 이를 유지하는 장치이다. 이때 목표치는 재배자가 자기 경험으로 설정한다. 그런데 이번 혁신상 기술은 바깥 기상변화를 감지하고 그에 따라 물 공급 목표치를 스스로 설정하며 자율 조정한다. 결과로 물뿐만 아니라 비료·에너지 사용을 줄이고 수확량을 유의미한 수준으로 향상했다. 가장 큰 성과는 기상조건과 물 공급 연계에 투입하던 노동량을 80% 정도 줄인 것이다. 그러면 남은 20% 인간 노동영역은 무엇일까. 전략 수립 부문이라 한다. AI와 데이터 기반 기술은 아직 과거 경험 데이터에서 최적의 목표치를 찾는다. 그런데 큰 산업 발전은 미지의 미래에 대한 도전에서 온다. 도전에는 전략이 필요하다. 같은 데이터로도 고위험·고수익 미래 전략을 좇을 수 있고, 그 반대일 수도 있다. 이런 도전은 인간이 직접 전략적으로 판단·수행해야 한다는 의미다. 아무리 자율농업으로 나간다 해도 스마트농업 발전을 위해서는 결국 경험·지식·비전을 갖춘 정예인력이 여전히 필요하다. 한국은 어떤 나라보다도 스마트농업에 대한 정부 의지가 강하다. 2020년 12월부터 정부는 분산되어 진행되어오던 스마트농업 관련 연구개발 지원을 집중하기 위해 '재단법인 스마트팜 연구개발사업단'을 설립, 운영 중이다. 그리고 7월 26일부터는 '스마트농업 육성 및 지원에 관한 법률'도 본격 시행된다. 그런데 첨단 기술농업을 이끌기 위해서는 앞의 모든 정부 조치가 정예인력 양성을 유도하는 생태계 기능을 해야 한다. 연구개발 인력은 물론이고 고도의 전략적 경영 의사결정을 할 수 있는 인력 양성이 절대적으로 필요하다. 보통 정부 산업정책은 다수의 평균적 인력 양성에 머문다. 그런데 고도의 과학기술 기반 산업은 소수 정예인재 양성을 통한 파급효과 창출이 중요하다. 특히 경험 데이터를 넘어 미래 스마트농업 경영전략을 이끌 마지막 20%의 최고 수준의 정예인재가 필요하다. 특정 분야 인재는 정부가 직접 양성하기보다 농가 혹은 기술기업에 고용을 지원함으로써 민간이 인재를 키우는 방법도 생각할 수 있다. 고용과 인재양성을 동시에 이루어 정부의 과도한 주도에 따른 민간기능 위축을 줄일 수 있다. 아무쪼록 법 시행 등에서 보이는 강한 정부 의지가 첨단 기술농업을 이끌 우수인력의 유인·교육·양성으로 이어지길 바란다. 김한호 서울대학교 농경제사회학부 교수

[파이낸셜뉴스] 저스템이 미국 아이다호주 보이시 마이크론 기술혁신센터에서 지난 6월 말 'N2 LPM(Lord Port Module)' 장비 평가를 성공적으로 마쳤다. 8일 저스템에 따르면 이번에 평가받은 N2 LPM은 반도체 공정 중 원판(웨이퍼)을 보관하고 이동하는 장치(FOUP) 내부 습도를 제어하고 불순물을 제거해 수율을 향상시키는 장비다. 현재 저스템이 세계 시장 80% 이상을 점유한다. 마이크론은 오는 2025년 가동을 목표로 보이시 본사 인근에 축구장 10개 규모로 생산라인을 건설 중에 있다. 완공 후에는 D램과 고대역폭메모리(HBM) 등을 생산할 것으로 예상된다. 현재 공정에 적용할 각종 장비를 테스트 중인 것으로 알려졌다. 저스템은 이미 2019년부터 마이크론이 운영 중인 일본, 대만, 싱가포르 공장 등에 N2 LPM을 공급 중이다. 현재 일본과 대만 HBM 공장에도 관련 장비를 적용한다. 이번 평가는 향후 보이시 새로운 공장에 적용하기 위한 최종 검토에 해당한다. 김용진 저스템 사장(CTO)은 "보이시 현지에서 테스트를 성공적으로 마친 만큼 향후 지속적으로 물량을 공급할 수 있을 것"이라며 "HBM 제조 경쟁이 치열한 상황에서 후공정 못지않게 수율 제고를 위한 필수장비로서 N2 LPM 역할이 더해질 것"이라고 말했다. butter@fnnews.com 강경래 기자

[파이낸셜뉴스]  경인전자의 주가가 장중 25% 넘게 강세다. LG전자가 선제적으로 구글과 손잡고 홈IoT(사물인터넷) 경쟁력을 강화한다는 소식에 경인전자에 관심이 몰린 것으로 보인다. LG전자가 홈IoT(사물인터넷) 스타트업 고퀄의 지분의 지분을 보유중인데, 경인전자가 고퀄의 지분을 20%이상 보유해 관련 테마주로 꼽혀왔다. 23일 오후 2시 42분 현재 경인전자는 전일 대비 5950원(+25.87%) 상승한 2만 8950원에 거래되고 있다. 구글이 자체 스마트홈 플랫폼 '구글홈'의 'API(Application Programming Interface·응용 프로그램 개발환경)'를 개방해 생태계를 확장한다. 이에 LG전자는 선제적으로 구글과 손잡고 홈IoT(사물인터넷) 경쟁력을 강화한다. 22일 구글에 따르면 구글은 지난 14일(현지시간) 개막한 미국 캘리포니아주 마운틴뷰에서 열린 연례 개발자 컨퍼런스 '구글 I/O 2024'에서 구글홈 API를 전면 공개한다고 발표했다. 모든 개발자들은 구글홈 API를 사용해 다양한 제조사의 스마트홈 기기를 이용할 수 있는 앱을 만들 수 있다. 특히 LG전자는 초기 핵심 파트너사 자리를 선점했다. LG전자의 독자 플랫폼 웹OS(webOS)가 탑재된 스마트 TV는 구글홈의 '허브' 역할을 수행하게 된다. 고객은 LG전자 스마트 TV와 LG 씽큐(ThinQ) 애플리케이션(앱)을 활용, 구글홈 API를 기반으로 구축된 조명, 온습도 센서, 스피커, 가전제품 등 다양한 스마트홈 장치를 제어할 수 있다. 예를 들어, TV 혹은 씽큐앱으로 구글홈과 연결된 스마트 전구를 쉽게 껐다 키거나 밝기 등을 조정한다. 이 기능은 올 가을부터 이용 가능하다. 이같은 소식에 LG전자가 향후 사물인터넷 강화를 할 것이라는 기대감에 고퀄 지분을 보유한 경인전자에도 관심이 몰렸다는 평가가 나온다. 실제 LG전자 사업보고서에 따르면 LG전자는 지난해 12월 고퀄에 50억원을 투자해 고퀄 지분 7.2%를 보유한 주요 주주다. 2014년 설립된 고퀄은 공간 IoT 전문 스타트업으로 대표 브랜드로는 '헤이홈'이 있다. 헤이홈은 제품별 맞춤 스케줄 기능을 설정하는 등 개인화 IoT환경을 구현 할 수 있다. 이 회사는 지난해 11월 기준 76만명의 가입자와 연기될 IoT 기기 수도 114만개에 달한다. LG전자가 이처럼 홈 IoT 강화로 고퀄에 대한 역할이 기대되면서 고퀄 지분 21.53%을 보유한 경인전자도 관련 수혜주로 거론되는 분위기라는 관측이 나온다.  kakim@fnnews.com 김경아 기자

반도체 장비기업들이 최근 잇달아 반도체 업체들과 장비 공급계약을 체결하고 있다. 지난해 반도체 불황으로 인해 상당수 실적 역성장을 경험했던 반도체 장비기업들 사이에서 올해 업황 반등과 함께 장비 수주 물량 증가로 실적 개선 기대감이 높아지는 분위기다. 25일 관련 업계에 따르면 한미반도체는 최근 SK하이닉스와 215억원 규모로 반도체 장비를 공급하기로 계약을 체결했다. 한미반도체는 지난달에도 SK하이닉스로부터 860억원 상당에 장비를 수주했다. 한미반도체는 이번 계약을 통해 SK하이닉스에 'TC본더'를 공급할 예정이다. TC본더는 수직으로 쌓은 D램을 열 압착을 통해 반도체 웨이퍼(원판) 위에 붙이는 기능을 한다. 이 장비는 인공지능(AI) 반도체에 필수로 적용되는 '고대역폭메모리(HBM)' 공정에 쓰인다. 한미반도체 관계자는 "HBM 시장이 빠르게 커지면서 관련 공정에 쓰이는 TC본더와 관련해 하이퍼 모델 '듀얼 TC본더 그리핀', 프리미엄 모델 '듀얼 TC 본더 1.0 드래곤' 등 풀라인업을 갖췄다"며 "올해 목표한 매출액 4500억원 달성은 무난할 것"이라고 말했다. 저스템은 해외 반도체 업체로부터 최근 2세대 습도제어 솔루션 'JFS(Justem Flow Straightener)'를 두 차례 걸쳐 수주했다. JFS는 반도체 웨이퍼를 보관하는 장치(FOUP) 안 습도를 1% 이하까지 낮춰 반도체 수율을 향상시키는 기능을 한다. 저스템은 종전 1세대 습도제어 솔루션 '엔투퍼지(N2 PURGE)'에서 전 세계 시장 80% 이상을 점유했다. 이어 독자적인 '수직층류(Laminar Flow)' 기술 등을 더한 2세대 습도제어 솔루션을 앞세워 실적 반등을 노린다는 전략이다. 저스템 관계자는 "이번 2세대 JFS는 종전 1세대 습도제어 솔루션 점유율과 수익성을 넘어서는 제품이 될 것으로 예상한다"며 "앞으로 JFS 추가 수주와 함께 시장 확대를 위해 노력할 것"이라고 말했다. 예스티 역시 해외 반도체 업체로부터 'EDS(Electrical Die Sorting) 퍼니스' 장비 초도 물량을 수주했다. 이 장비는 HBM 적층 전 반도체 웨이퍼 품질을 검사하는 EDS 공정에 사용되는 장비다. EDS 공정은 급속 열처리를 통해 HBM에 사용할 웨이퍼의 정상 여부를 판별한다. 예스티 관계자는 "지난해 4·4분기에 수주한 가압설비, EDS 칠러 등 HBM 주요 장비들을 순조롭게 납품하는 중"이라며 "주요 거래처가 HBM 투자를 확대하면서 올해 HBM 장비 수주가 이어질 것"이라고 말했다. 이처럼 반도체 장비기업들 사이에서 최근 장비 수주가 이어지는 이유는 올해 반도체 업황이 반등할 가능성이 높기 때문이다. 실제로 국제반도체장비재료협회(SEMI)는 올해 전 세계 반도체 장비 시장이 지난해 1009억달러보다 4.4% 늘어난 1053억달러가 될 것으로 예상했다. 특히 내년에는 관련 시장이 사상 최대인 1241억달러에 달할 것으로 전망했다. 임영진 저스템 대표는 "인공지능(AI)과 고성능컴퓨터(HPC), 5세대 이동통신(5G) 등 영향으로 대용량 데이터 처리가 필수가 되고 이에 따라 HBM 등 반도체 수요 역시 늘어난다"며 "반도체 업체들이 올 하반기 본격적인 생산 체제로 전환하고 이에 따라 장비기업들은 실적 개선 기대감이 높아지는 분위기"라고 말했다. butter@fnnews.com 강경래 기자

[파이낸셜뉴스] 반도체 장비기업들이 최근 잇달아 반도체 업체들과 장비 공급계약을 체결하고 있다. 지난해 반도체 불황으로 인해 상당수 실적 역성장을 경험했던 반도체 장비기업들 사이에서 올해 업황 반등과 함께 장비 수주 물량 증가로 실적 개선 기대감이 높아지는 분위기다. 25일 관련 업계에 따르면 한미반도체는 최근 SK하이닉스와 215억원 규모로 반도체 장비를 공급하기로 계약을 체결했다. 한미반도체는 지난달에도 SK하이닉스로부터 860억원 상당에 장비를 수주했다. 한미반도체는 이번 계약을 통해 SK하이닉스에 'TC본더'를 공급할 예정이다. TC본더는 수직으로 쌓은 D램을 열 압착을 통해 반도체 웨이퍼(원판) 위에 붙이는 기능을 한다. 이 장비는 인공지능(AI) 반도체에 필수로 적용되는 '고대역폭메모리(HBM)' 공정에 쓰인다. 한미반도체 관계자는 "HBM 시장이 빠르게 커지면서 관련 공정에 쓰이는 TC본더와 관련해 하이퍼 모델 '듀얼 TC본더 그리핀', 프리미엄 모델 '듀얼 TC 본더 1.0 드래곤' 등 풀라인업을 갖췄다"며 "올해 목표한 매출액 4500억원 달성은 무난할 것"이라고 말했다. 저스템은 해외 반도체 업체로부터 최근 2세대 습도제어 솔루션 'JFS(Justem Flow Straightener)'를 두 차례 걸쳐 수주했다. JFS는 반도체 웨이퍼를 보관하는 장치(FOUP) 안 습도를 1% 이하까지 낮춰 반도체 수율을 향상시키는 기능을 한다. 저스템은 종전 1세대 습도제어 솔루션 '엔투퍼지(N2 PURGE)'에서 전 세계 시장 80% 이상을 점유했다. 이어 독자적인 '수직층류(Laminar Flow)' 기술 등을 더한 2세대 습도제어 솔루션을 앞세워 실적 반등을 노린다는 전략이다. 저스템 관계자는 "이번 2세대 JFS는 종전 1세대 습도제어 솔루션 점유율과 수익성을 넘어서는 제품이 될 것으로 예상한다"며 "앞으로 JFS 추가 수주와 함께 시장 확대를 위해 노력할 것"이라고 말했다. 예스티 역시 해외 반도체 업체로부터 'EDS(Electrical Die Sorting) 퍼니스' 장비 초도 물량을 수주했다. 이 장비는 HBM 적층 전 반도체 웨이퍼 품질을 검사하는 EDS 공정에 사용되는 장비다. EDS 공정은 급속 열처리를 통해 HBM에 사용할 웨이퍼의 정상 여부를 판별한다. 예스티 관계자는 "지난해 4·4분기에 수주한 가압설비, EDS 칠러 등 HBM 주요 장비들을 순조롭게 납품하는 중"이라며 "주요 거래처가 HBM 투자를 확대하면서 올해 HBM 장비 수주가 이어질 것"이라고 말했다. 이처럼 반도체 장비기업들 사이에서 최근 장비 수주가 이어지는 이유는 올해 반도체 업황이 반등할 가능성이 높기 때문이다. 실제로 국제반도체장비재료협회(SEMI)는 올해 전 세계 반도체 장비 시장이 지난해 1009억달러보다 4.4% 늘어난 1053억달러가 될 것으로 예상했다. 특히 내년에는 관련 시장이 사상 최대인 1241억달러에 달할 것으로 전망했다. 임영진 저스템 대표는 "인공지능(AI)과 고성능컴퓨터(HPC), 5세대 이동통신(5G) 등 영향으로 대용량 데이터 처리가 필수가 되고 이에 따라 HBM 등 반도체 수요 역시 늘어난다"며 "반도체 업체들이 올 하반기 이후 본격적인 생산 체제로 전환하고 이에 따라 장비기업들 사이에서 실적 개선 기대감이 높아지는 분위기"라고 말했다. butter@fnnews.com 강경래 기자