[파이낸셜뉴스]  라온테크의 주가가 장 초반 강세다. 삼성전자가 AI가 탑재 된 인간형태의 휴머노이드 로봇을 투입해 반도체를 만든다는 소식에 기대 매수세가 몰린 것으로 보인다. 라온테크는 삼성전자를 고객사로 둔 반도체 로봇 자동화 기업으로 국내에선 유일하게 대기와 진공 등 각 상태에 맞춘 웨이퍼 이송 로봇 업체다. 5일 오전 10시 4분 현재 라온테크는 전일 대비 370원(+4.49%) 상승한 8610원에 거래되고 있다. 이날 한 언론은 삼성전자가 100% 무인공정을 위해 인간의 형태를 한 로봇을 테스트 중이라고 보도했다. 2030년에는 AI가 탑재된 인간 형태의 휴머노이드 로봇을 투입해 반도체를 만들며, 무인공정은 기존 공장이 아닌 신규 반도체 공장부터 적용될 예정이라고 전했다. 업계 관계자는 "반도체 공정 자체가 유독화학물질을 많이 쓴다"며 "이런 부분에 로봇이 활용될 것으로 보인다"라고 언급했다. 이같은 소식에 국내에서 유일하게 대기와 진공 등 각 상태에 맞춘 ‘웨이퍼 이송 로봇업체’인 라온테크에 기대 매수세가 몰린 것으로 보인다. 라온테크는 삼성전자는 물론 현재 SK하이닉스, 인텔 등 국내외 굴지의 기업들을 고객사로 두고 있다. 이 회사의 주요 제품은 ‘반도체 로봇 및 자동화 플랫폼’, ‘디스플레이 플랫폼’, ‘제약·바이오’, ‘유상CS’ 등으로 구분된다. ‘반도체 로봇 및 자동화 플랫폼’은 반도체 제조라인에서 웨이퍼(Wafer)를 이송하는 EFEM(Equipment FrontEnd Module)과 진공 환경에서 웨이퍼를 이송하는 백본(Backbone)전체를 포함한다. 실제 네 개의 개별 제어식 팔이 달린(Individual Controlled 4 Arm) 진공로봇은 동사를 포함해 전 세계적으로 3개 기업만 생산할 수 있다. kakim@fnnews.com 김경아 기자

[파이낸셜뉴스] 라온테크의 주가가 강세다. 삼성전자가 반도체 패키징과 테스트를 하는 후공정 공장(팹)을 완전 무인화 한다는 소식에 관심이 몰린 것으로 보인다. 라온테크는 삼성전자를 협력사로 둔 반도체 로봇 자동화 기업으로 국내에서 유일하게 대기와 진공 등 각 상태에 맞춘 웨이퍼 이송 로봇업체다. 7일 오전 9시 7분 현재 라온테크는 전일 대비 310원(+3.16%) 상승한 1만 130원에 거래되고 있다. 관련 업계에 따르면 삼성전자가 반도체 패키징과 테스트를 하는 후공정 공장(팹)을 완전 무인화하는 것으로 알려졌다. 후공정 팹에 새로 도입되는 장비에는 '자동화' 기능을 의무 탑재토록 했다. 사람 손이 필요한 작업을 배제하겠다는 의지로, 2030년 목표로 내세운 100% 무인 공장 전환을 위한 행보다. 반도체 업계에선 “삼성전자로부터 웨이퍼 이송 등에 무인·자동화 기능을 추가해야한다는 요청을 받고 있다”며 “시제품을 개발해도 자동화가 완료돼야 최종 납품 승인을 받을 수 있다”고 했다. 특히 삼성전자는 웨이퍼 이송 자동화를 강하게 요구하고 있는 것으로 알려졌다. 반도체 웨이퍼는 팹 천장에 구축된 웨이퍼이송장치(OHT)를 통해 각 공정 장비로 옮겨진다. 이같은 소식에 국내에서 유일하게 대기와 진공 등 각 상태에 맞춘 ‘웨이퍼 이송 로봇업체’인 라온테크에 기대 매수세가 몰린 것으로 보인다. 라온테크는 삼성전자는 물론 현재 SK하이닉스, 인텔 등 국내외 굴지의 기업들을 고객사로 두고 있다. 라온테크는 2000년 3월 설립되었으며, 반도체 제조용 로봇과 자동화 시스템(FA, Factory Automation)을 생산·판매중이다. 2015년 12월 코넥스에 상장되었으며 2021년 6월 코스닥으로 이전 상장했다. 설립 이후 국내 최고 수준의 반도체용 진공 로봇 기술을 보유하고 있으며, 국내에선 유일한 웨이퍼 이송용 진공로봇 메이커다. 이 회사의 주요 제품은 ‘반도체 로봇 및 자동화 플랫폼’, ‘디스플레이 플랫폼’, ‘제약·바이오’, ‘유상CS’ 등으로 구분된다. ‘반도체 로봇 및 자동화 플랫폼’은 반도체 제조라인에서 웨이퍼(Wafer)를 이송하는 EFEM(Equipment FrontEnd Module)과 진공 환경에서 웨이퍼를 이송하는 백본(Backbone)전체를 포함한다. 2022년 주요 제품별 매출비중은 반도체 플랫폼 92.8%, 디스플레이 플랫폼 0.3%, 제약 및 바이오 2.1%, 유상CS 4.8%로 추정되며 플랫폼 매출 중 반도체 플랫폼 비중이 절대적이다. 김재무 리서치알음 연구원은 “동사는 삼성전자와 SK하이닉스를 최종 고객사로 두고 있으며 삼성향인 테스, 원익IPS, SK하이닉스향인 주성엔지니어링과 같은 장비업체들과 모두 우호적인 관계를 유지하고 있다“라며 “네 개의 개별 제어식 팔이 달린(Individual Controlled 4 Arm) 진공로봇은 동사를 포함해 전 세계적으로 3개 기업만 생산할 수 있다”라고 말했다. 그러면서 “국내 반도체 장비 기업들도 동사의 진공 로봇으로 대체하며 비중이 확대될 것으로 판단되며, 해외 장비 업체로의 고객사 다변화시 외형 성장을 보일 것으로 예상된다”라고 전망했다. kakim@fnnews.com 김경아 기자

[파이낸셜뉴스] 제닉스가 지난 19일부터 이날까지 양일간 일반 청약을 진행한 결과 895.75대 1의 경쟁률을 기록했다고 20일 밝혔다. 이번 공모 청약은 전체 공모 물량의 25%인 16만5000주를 대상으로 진행됐으며 총 1억4779만8120주의 물량이 신청됐다. 총 청약 증거금으로는 2조9560억원이 모였다. 앞서 제닉스는 지난 5일부터 11일까지 진행된 기관투자자 대상 수요예측에서 공모 밴드(2만8000원~3만4000원) 상단을 18% 초과한 4만원에 공모가를 최종 확정한 바 있다. 지난 2010년 설립된 제닉스는 스마트팩토리 물류 로봇 솔루션 전문 기업이다. 제닉스는 무인 이송 전기차량(AGV)및 자율 주행∙이동 로봇(AMR), 반도체 웨이퍼용 스토커 등의 기술경쟁력으로 국내를 넘어 글로벌 시장 공략에 나서겠다는 계획이다. 제닉스의 코스닥 상장 예정일은 오는 30일이다. 예상 시가총액은 1749억원으로 상장 주관사는 신영증권이다. hippo@fnnews.com 김찬미 기자

[파이낸셜뉴스] "코스닥 상장을 통해 조달한 자금을 설비 증설과 연구개발에 투자해 경쟁력을 극대화할 계획이다" 배성관 제닉스 대표(사진)는 5일 기업공개(IPO) 간담회를 열고 상장 후 계획에 대해 이같이 밝혔다. 2010년 설립된 제닉스는 반도체·디스플레이·2차전지 등 다양한 산업에 적용되는 자동화 물류 시스템(AMHS)을 전문적으로 개발·공급하고 있다. 공장 자동화(FA)에 필요한 솔루션도 제공한다. 주요 제품으로는 △무인 이송 전기차량(AGV) △자율주행·이동 로봇(AMR) △산업용 소재·부품을 적재·관리하는 '스토커'(스마트 자동창고) 등이다. 제닉스는 AMHS 시장에서 기술 경쟁력을 통해 경쟁 우위를 확보하겠다는 계획이다. 아울러 제닉스는 스마트 항만 AGV 시스템 개발 및 양산화, 200㎜ 반도체 웨이퍼 이송 장치(OHT) 장비 개발 등 신규 사업을 추진하고 있다. 제닉스는 지난해 매출액 613억원, 영업이익 31억원을 기록했다. 이는 전년 대비 각각 18%, 72% 증가한 수치다. 올해 상반기 매출액은 307억원 영업이익은 28억원이다. 제닉스는 기술특례상장제도가 아닌 일반 상장제도를 통해 코스닥 시장에 입성한다. 그럼에도 지난 5월 기술평가에서 A등급을 받았다. 이와 관련 배성완 제닉스 CFO는 "실적 기반 상장이지만 이와 별개로 우리가 가진 기술을 제대로 평가 받고 싶다는 의지가 강했다"며 설명했다. 제닉스의 총 공모 주식 수는 66만주다. 주당 공모 희망가 범위는 2만8000~3만4000원으로, 공모 예정액은 희망가 범위 상단 기준 약 224억원, 상장 후 예상 시가총액은 약 1486억원이다. 제닉스는 공모를 통해 유입된 자금을 시설 투자 및 연구 개발에 사용할 예정이다. 현재 평택 산업단지 토지 매입 및 평택 신규 공장 증설을 추진 중이다. 한편 수요 예측은 5~11일, 일반 청약은 19~20일 진행한다. 코스닥 상장은 이달 말 목표로 하고 있다. 상장 주관사는 신영증권이다. nodelay@fnnews.com 박지연 기자

[파이낸셜뉴스] 휴림로봇은 계열사들이 유상증자 공모에 적극 참여하고 있다고 25일 밝혔다. 휴림로봇은 2차전지 장비 기업 이큐셀 인수를 추진하고 있어 귀추가 주목된다. 휴림로봇의 계열사인 휴림네트웍스, 파라텍 등이 약 75억원 규모로 이번 유상증자에 참여하고 있다. 휴림로봇 계열사의 유상증자 참여는 계열사 간 시너지 극대화와 장기적 성장 도모가 목적이다. 휴림로봇이 조달하는 유상증자 모집 자금 중 500억원이 이큐셀 지분 인수에 사용되는 만큼 휴림로봇과 이큐셀의 시너지에 대한 기대감도 반영된 것이라고 회사 측은 설명했다. 휴림로봇은 이큐셀 인수 이전부터 이큐셀과 거래를 이어왔다. 태양광 패널 제조 장비인 ‘NPS’ 장비에 사용될 TR 로봇 및 초장축 직교 로봇을 납품했다. 양사는 휴림로봇이 인수절차를 본격화한 이후 협업 확대를 위한 논의를 지속해 태양광 패널 제조장비 외에도 협업 분야를 넓혀 나갈 계획을 수립 중이다. 휴림로봇은 반도체 웨이퍼, 디스플레이 패널 이송 로봇, 2차전지용 자동화 로봇 등 다양한 산업용 로봇 공급 레퍼런스를 신규 장비 사업 확대에 적극 활용할 계획이다. 휴림로봇 관계자는 “계열사가 유상증자에 참여하는 것은 자금 조달의 안정성을 높이고, 기업에 대한 신뢰를 강화할 수 있다”라며 “이큐셀 인수를 통한 경영권 확보에 따라 사업 다각화와 신성장 동력을 확보해 지속 가능한 성장을 도모할 것으로 기대된다”고 말했다. 휴림로봇은 이달 24~25일 596억7500만원 규모의 유상증자 일반공모 청약을 진행하고 있다. 주당 1705원으로 공모주식 수는 3500만주다. 주관사는 SK증권, 주금 납입일은 오는 29일, 신주 상장일은 다음달 8일이다. dschoi@fnnews.com 최두선 기자

[파이낸셜뉴스] 코스닥 산업용 로봇 제조업체 휴림로봇이 오는 24일부터 25일까지 청약이 진행되는 유상증자 일반공모가를 1705원으로 확정했다고 23일 밝혔다. 총 모집금액은 596억7500만원으로 공모주식수는 3500만주이다. 지난 22일 종가는 2335원을 기록했다. 상장주관사는 SK증권, 주금 납입일은 29일, 신주 상장일은 8월 8일이다. 회사는 이번 유상증자로 모집하는 자금 중 500억원을 이큐셀 지분인수 자금목적으로 설정하고, 나머지는 운영자금으로 사용할 계획이다. 이번 증자에 앞서 회사는 이큐셀의 인수를 위해 80억원의 제3자배정 유상증자와 150억원의 전환사채(CB) 발행을 통해 총 230억원의 인수자금을 확보했다. 각각의 발행가액은 2092원, 2336원이다. 휴림로봇은 지난 6월 11일 2차전지 장비 업체 이큐셀 인수 및 운영자금 목적으로 일반공모 방식 유상증자를 결정한 바 있다. 이큐셀의 시너지를 통해 2차전지 장비 산업을 확대해 나갈 방침이다. 특히 휴림로봇은 반도체 웨이퍼 및 디스플레이 패널 이송로봇, 2차전지용 자동화 로봇 등 다양한 산업용 로봇 공급 레퍼런스를 신규 장비 사업 확대에 적극 활용할 계획이다. 휴림로봇은 지난 6월 이큐셀의 주식 2988만448주, 전체 발행주식의 86.65%를 인수하는 계약을 체결한 데 이어 이큐셀의 230억원 규모의 유상증자에 참여해 1828만2989주를 추가로 취득할 예정이다. 휴림로봇 김봉관 대표는 “휴림로봇은 이번 이큐셀 인수로 2차전지 장비 산업 시너지를 극대화해 사업 다각화 등을 추진, 매출에 기여해나갈 계획”이라며 “이큐셀 장비제조 외주 수주로 인한 매출 증대 및 이큐셀 제품(공정장비)의 원자재인 로봇 납품 증대로 수익을 창출해 나갈 수 있을 것으로 기대하고 있다”고 말했다. dschoi@fnnews.com 최두선 기자

[파이낸셜뉴스] 휴림로봇이 장비사업 진출에 속도를 내고 있다. 휴림로봇은 2차전지 물류라인의 주요 공정장비인 '셀렉터’에 자사의 직교로봇을 도입하기 위한 자체 테스트를 진행하고 있다고 19일 밝혔다. 휴림로봇은 2차전지, 태양광 장비 전문업체 이큐셀 인수를 추진하고 있다. 이를 기반으로 회사는 향후 셀렉터를 직접 제조 및 납품한다는 계획이다. 휴림로봇은 자사의 웨이퍼 이송로봇(WTR) 관련 기술을 고도화해 반도체 웨이퍼 이송장치 'EFEM'을 개발하는 한편 2차전지 주요 부품인 터미널 플레이트를 검사하는 장비의 공급도 추진해왔다. 휴림로봇 김봉관 대표는 “셀렉터 도입을 위한 테스트 통과시 연간 약 30억원의 매출을 기대하고 있다”라며 “향후 직접 제조 및 납품을 진행하게 될 경우 약 200억~300억의 매출을 예상한다”고 말했다. 이어 “공장자동화, 스마트팩토리에 이어 인공지능(AI) 자율제조로 제조의 패러다임이 변화하면서 로봇을 활용한 장비의 중요성은 더욱 증가하고 있는 만큼 장비사업으로의 사업 확대를 위해 노력해 나갈 것”이라고 강조했다. 한편, 휴림로봇은 지난 5월 이큐셀이 개발한 태양광 패널제조 장비인 'NPS'에 사용될 TR로봇 및 초장축 직교로봇을 납품하기도 했다. dschoi@fnnews.com 최두선 기자

"인공지능(AI) 툴을 활용할 수 있는 사람과 그렇지 못한 사람은 앞으로 큰 차이가 날 것이다." 26일 서울 강남구 코엑스에서 열린 '반도체대전(SEDEX) 2023'에서 'AI시대, 인간을 이롭게 하는 반도체'를 주제로 키노트 강연에 나선 박용인 삼성전자 시스템LSI사업부장(사장)은 "반도체 설계, 팹(공장) 재고 관리 등도 AI 학습을 통해 최적화 과정을 거친다"며 "기존에 들어가던 많은 비용을 AI를 통해 세이브(절약)할 수 있다는 결론을 도출했다"고 밝혔다. 사내에서 AI가 더 잘할 수 있는 업무를 발굴하는, 이른바 '아바타 부대'를 만들어 운영하고 있다고 박 사장은 덧붙였다. 박 사장은 삼성전자의 AI 시대 전략으로 '온디바이스 AI 상용화'를 꼽았다. 기존 클라우드 방식은 보안에 취약한 반면 온디바이스 AI는 AI를 칩 형태로 만든 후 제품에 탑재해 연결성과 보안을 강화했다. 박 사장은 "데이터센터급의 많은 컴퓨팅 파워와 네트워크가 필요하지만, (온디바이스 AI를 구현해) 생성형 AI를 언제든 쓸 수 있도록 제공하는 게 목표"라고 말했다. 박 사장은 삼성전자의 플래그십(최상위) 스마트폰 '갤럭시S24' 시리즈에 시스템LSI사업부가 설계한 차세대 모바일 애플리케이션프로세서(AP) '엑시노스 2400'이 탑재될 것이라고 설명했다. 박 사장은 레이트레이싱(광선 추적) 기능이 적용된 엑시노스 2400을 소개하며 "내년에 사는 어떤 전화기에는 이 기능이 들어간다"고 언급했다. 박 사장은 강연 후 취재진과 만나 "엑시노스 2400은 경쟁사보다 뛰어난 그래픽처리장치(GPU) 성능을 가졌기 때문에 잘 될 것"이라고 말했다. 역대 최대 규모인 320개 기업, 830개 부스가 마련된 이번 행사장에서 관람객이 가장 많이 찾은 부스는 삼성전자, SK하이닉스였다. 삼성전자와 SK하이닉스는 전장, AI 등 응용처별 적용되는 자사 최첨단 고성능 반도체칩을 대거 전시했다. 용인특례시, 강원특별자치도 등 지자체들도 부스를 꾸려 기업 유치 경쟁에 나섰다. 각 지자체는 수도권과의 접근성, 다양한 기업지원제도 등을 강점으로 내세웠다. 강원도청 관계자는 "지역에 관심이 있는 기업 관계자들에게 거점 이전을 적극 설득하고 있다"고 말했다. 교복을 입은 학생들도 대거 행사장을 찾았다. 대부분은 졸업 후 반도체 취업을 앞둔 특성화고 학생과 특성화고 진학을 희망하는 중학생들이었다. 국내 최초로 나노융합분야 전문인력 양성을 위해 2019년 설립된 한국나노마이스터고 학생들은 직접 만든 웨이퍼 이송로봇, N채널 모스펫 실습용 마스크 등을 전시해 눈길을 끌었다. 한국나노마이스터고에 재학 중인 이철명 학생은 "산학협력 업무협약(MOU)을 맺기 위해 교장 선생님이 직접 행사장에서 기업들과 만나고 있다"며 "중학생들에게도 진학 홍보를 하고 있다"고 전했다. mkchang@fnnews.com 장민권 기자

[파이낸셜뉴스] "인공지능(AI) 툴을 활용할 수 있는 사람과 그렇지 못한 사람은 앞으로 큰 차이가 날 것이다." 26일 서울 삼성동 코엑스에서 열린 '반도체대전(SEDEX) 2023'에서 'AI시대, 인간을 이롭게 하는 반도체’를 주제로 키노트 강연에 나선 박용인 삼성전자 시스템LSI사업부장(사장)은 "반도체 설계, 팹(공장) 재고 관리 등도 AI 학습을 통해 최적화 과정을 거친다"며 "기존에 들어가던 많은 비용을 AI를 통해 세이브(절약)할 수 있다는 결론을 도출했다"고 밝혔다. 사내에서 AI가 더 잘할 수 있는 업무를 발굴하는 이른바 '아바타 부대'를 만들어 운영하고 있다고 박 사장은 덧붙였다.  박 사장은 삼성전자의 AI 시대 전략으로 '온디바이스 AI 상용화'를 꼽았다. 기존 클라우드 방식은 보안에 취약한 반면 온디바이스 AI는 AI를 칩 형태로 만든 후 제품에 탑재해 연결성과 보안을 강화했다. 박 사장은 "데이터센터급의 많은 컴퓨팅 파워와 네트워크가 필요하지만, (온디바이스 AI를 구현해) 생성형 AI를 언제든 쓸 수 있도록 제공하는 게 목표"라고 말했다.  박 사장은 삼성전자의 플래그십(최상위) 스마트폰 '갤럭시S24' 시리즈에 시스템LSI사업부가 설계한 차세대 모바일 애플리케이션프로세서(AP) '엑시노스 2400'이 탑재될 것이라고 설명했다. 박 사장은 레이트레이싱(광선 추적) 기능이 적용된 엑시노스 2400을 소개하며 "내년에 사는 어떤 전화기에는 이 기능이 들어간다"고 언급했다. 박 사장은 강연 후 취재진과 만나 "엑시노스 2400은 경쟁사보다 뛰어난 그래픽처리장치(GPU) 성능을 가졌기 때문에 잘 될 것"이라고 했다. 역대 최대 규모인 320개 기업, 830개 부스가 마련된 이번 행사장에서 관람객들이 가장 많이 찾은 부스는 삼성전자, SK하이닉스였다. 삼성전자와 SK하이닉스는 전장, AI 등 응용처별 적용되는 자사 최첨단 고성능 반도체 칩을 대거 전시했다. 용인특례시, 강원특별자치도 등 지자체들도 부스를 꾸려 기업 유치 경쟁에 나섰다. 각 지자체는 수도권과의 접근성, 다양한 기업지원제도 등을 강점으로 내세웠다. 강원도청 관계자는 "지역에 관심이 있는 기업 관계자들에게 거점 이전을 적극 설득하고 있다"고 말했다. 교복을 입은 학생들도 대거 행사장을 찾았다. 대부분은 졸업 후 반도체 취업을 앞둔 특성화고 학생과 특성화고 진학을 희망하는 중학생들이었다. 국내 최초로 나노융합분야 전문인력 양성을 위해 2019년 설립된 한국나노마이스터고 학생들은 직접 만든 웨이퍼 이송로봇, N채널 모스펫 실습용 마스크 등을 전시해 눈길을 끌었다. 한국나노마이스터고에 재학 중인 이철명씨는 "산학협력 업무협약(MOU)을 맺기 위해 교장선생님이 직접 행사장에서 기업들과 만나고 있다"며 "중학생들에게도 진학 홍보를 하고 있다"고 전했다. mkchang@fnnews.com 장민권 기자

반도체가 고집적화되면서 웨이퍼 검사의 중요성도 점점 커지고 있는 가운데 불량 반도체 칩을 16배 빠르게 잡아낼 수 있는 기술이 국내 연구진에 의해 개발됐다는 소식에 티로보틱스(117730) 주가가 상승세다. 한 매체에 따르면 한국생산기술연구원은 디지털전환연구부문 남경태 박사 연구팀이 산학연 융합연구를 통해 동시에 16장의 웨이퍼 검사가 가능한 ‘고속 멀티 프로빙 웨이퍼 검사 시스템’을 개발했다고 22일 밝혔다. 연구팀은 한 번에 한 장의 웨이퍼만 검사할 수 있었던 기존 싱글 프로빙 장비의 한계를 뛰어넘어 동시에 16장의 웨이퍼를 검사할 수 있는 시스템을 개발해 단위 시간당 16배 많은 처리량을 구현할 수 있게 됐다. 한국은 반도체 웨이퍼 검사 장비의 75% 이상을 해외 제품에 의존하고 있어 장비 국산화에도 청신호를 켠 성과로 평가받고 있다. 웨이퍼 검사는 프로버(Prober) 장비의 척(Chuck) 위에 웨이퍼를 위치시키고 프로브 카드(Probe Card)와 접촉시켜 불량품을 선별해 내는 방식으로 진행된다. 프로브 카드에 장착된 미세한 핀들이 웨이퍼와 접촉해 전기신호를 보내면 되돌아오는 신호를 분석해 양품과 불량품을 판별하는 구조이다. 아주 작은 반도체 칩 위에 마이크로미터 크기의 핀 수만 개를 접촉시키기 위해서는 고도의 기술력이 요구되고 시간은 곧 제조비용 상승으로 이어지기 때문에 테스트 검사 시간과 항목을 줄이는 것이 기술력의 핵심으로 꼽힌다. 새로운 검사 시스템의 핵심은 일체형 카트리지, 이송로봇, 멀티 챔버 설계·제작과 이를 구동할 수 있는 통합 제어시스템 개발이다. 연구팀은 웨이퍼 테스트의 주요 부품인 프로브 척, 웨이퍼, 프로브 카드를 하나의 프레임 안에 패키지화한 일체형 카트리지를 개발했다. 이어 일체형 카트리지를 16개 장착할 수 있는 멀티 챔버방(Chamber Channel)을 제작하고 얼라인먼트 알고리즘을 통해 카트리지를 검사용 챔버까지 정확하게 연결할 수 있는 시스템을 설계했다. 수백 킬로그램에 달하는 고 중량의 카트리지를 정해진 챔버방까지 빠르고 안정적으로 전달할 수 있도록 이송로봇도 함께 개발했다. 한편 생기원 남경태 박사 연구팀은 국가과학기술연구회의 창의형융합연구사업으로 진행된 이번 과제의 총괄 주관을 맡아 성균관대, 티로보틱스, 에이엠에스티와 함께 일체형 카트리지 얼라이너 및 이송로봇, 시스템 통합·제어기술을 개발했다. 이번 소식에 따른 수혜 기대감에 매수세가 몰리는 것으로 풀이된다.