"반도체 소재·부품 기업의 기술을 실제 실용화하려면 적어도 프로토타입에서 완벽하게 작동되는 부품이 필요하다. 나노종합기술원이 고부가가치화해서 실제 국산화하는 브리지 역할을 확실히 해주겠다."나노종합기술원의 산파였던 이조원 신임 원장(사진)이 10월 31일 서울 광화문 인근 식당에서 간담회를 갖고 반도체 테스트베드 구축계획을 밝혔다. 나노종합기술원이 올해부터 2022년까지 총 450억원을 투입해 12인치(30.48㎝) 반도체 테스트베드를 구축한다. 삼성전자와 하이닉스 등 대기업이 필요로 하는 소재·장비 기준에 맞추기 위한 ArF이머전 스캐너 등 385억원어치의 장비 10대를 마련한다. 완료는 2022년이지만 중소·중견기업에 서비스를 시작하는 시기는 늦어도 2021년 상반기다. 산학연 서비스 지원현황을 살펴보면 2005년 1720건에서 지난해에는 1만4288건에 달했다. 서비스 이용기관이 산업계 437곳, 학계 113곳, 연구계 42곳을 포함해 총 592곳이다. 대부분 반도체나 소재기업이 나노소자와 나노소재 분야에 압도적으로 많이 활용하고 있다.이조원 원장은 "단위공정 지원수요가 폭증해 우리가 지금까지 전 공정을 커버할 수 없었지만 이제는 전 주기 공정지원 체제로 가야 한다고 본다"고 말했다. 국산화 지원을 위해서는 최종 수요자인 기업들이 요구하는 수준을 충족하는 테스트베드가 가장 필요한데 이것이 없다. 중소·중견기업들이 검증을 테스트할 수 있는 곳이 없어 해외로 나가서 서비스를 받고 있다. 시간과 비용에 대한 부담이 커 시설 접근성이 매우 제한돼 있다. 환경이 이렇다 보니 최근 몇 년 새 팹리스기업이 많이 줄었다. 이 원장은 "사물인터넷 센서나 스마트폰, 스마트카 등 앞으로 비메모리 수요는 폭증할 것"이라며 "우리가 테스트베드를 구축해서 지원한다면 국내 여러 팹리스기업들이 다시 살아날 것"이라고 전망했다. monarch@fnnews.com 김만기 기자

"반도체 소재·부품 기업의 기술을 실제 실용화 하려면 적어도 프로토타입에서 완벽하게 작동되는 부품이 필요하다. 나노종합기술원이 고부가가치화해서 실제 국산화하는 브릿지 역할을 확실히 해주겠다."  나노종합기술원의 산파였던 이조원 신임 원장이 10월 31일 서울 광화문 인근 식당에서 간담회를 갖고 반도체 테스트베드 구축 계획을 밝혔다.  나노종합기술원이 올해부터 2022년까지 총 450억원을 투입해 12인치 반도체 테스트베드를 구축한다. 삼성전자와 하이닉스 등 대기업이 필요로 하는 소재·장비 기준에 맞추기 위한 ArF이머전 스캐너 등 385억원어치의 장비 10대를 마련한다. 완료는 2022년이지만 중소·중견기업에 서비스를 시작하는 시기는 늦어도 2021년 상반기다.  산학연 서비스 지원현황을 살펴보면 2005년에 1720건에서 지난해 1만4288건에 달했다. 서비스 이용 기관이 산업계가 437곳, 학계 113곳, 연구계 42곳을 포함 총 592곳이다. 대부분 반도체나 소재기업들이 나노소자와 나노소재 분야에 압도적으로 많이 활용하고 있다.  이조원 원장은 "단위 공정 지원수요가 폭증해 우리가 지금까지 전공정을 커버할 수 없었지만 이제는 전주기 공정 지원 체제로 가야한다고 본다"고 말했다.  국산화 지원을 위해서는 최종 수요자인 기업들이 요구하는 수준을 충족해 줄 수 있는 테스트베드가 가장 필요한데 이것이 없는 실정이다. 중소중견기업들이 검증을 테스트 할 수 있는 곳이 없어 해외로 나가서 서비스를 받고 있다. 시간과 비용에 대한 부담이 커 시설 접근성이 매우 제한돼 있다. 환경이 이렇다 보니 최근 몇년새 팹리스 기업들이 많이 줄었다.  이 원장은 "사물인터넷 센서나 스마트폰, 스마트카 등 앞으로 비메모리 수요는 폭증할 것"이라며 "우리가 테스트베드를 구축해서 지원한다면 국내 여러 팹리스 기업들이 다시 살아날 것"이라고 전망했다. 그는 사실 나노종합기술원이 세상에 나오게 만든 장본인이다. 이조원 원장은 "그때 당시 기획을 하면서 이런 팹지원 시설이 필요하다고 느꼈고 강력히 건의해 종합발전계획이 만들어졌다"고 회상했다. 그 일환으로 2002년 KAIST에 나노종합팹센터가 건립됐고 2014년 나노종합기술원으로 개편됐다.  이 원장은 이와 관련해 "어떻게 보면 미리 알고 그런 것은 아니지만 이 시설이 없었다면 일본의 반도체 소재에 대한 규제 등을 어떻게 대처했을까라는 생각이 든다"고 말했다. monarch@fnnews.com 김만기 기자

한양대 이조원 석좌교수(사진)가 16일 제6대 나노종합기술원장에 취임한다. KAIST는 지난 8월 30일 임시이사회를 열고 이 교수를 선임했다고 15일 밝혔다.이 신임 원장은 16일부터 임기를 시작해 2022년 9월 15일까지 3년 동안 나노종합기술원을 이끌게 된다. 이 신임 원장은 펜실베이니아주립대에서 금속과학 박사학위를 받았으며 과학기술부 21세기프런티어사업단 테라급나노소자개발사업단장과 한양대 나노융합과학과 교수를 지냈다. 또한 국가나노기술종합발전계획 수립에도 참여했다. KAIST는 공모 과정에서 그의 이러한 경험이 나노종합기술원에 적임자로 평가받았다고 설명했다.이 신임 원장은 "현재의 많은 대내외 현안들을 슬기롭게 대응해 국가의 나노기술 발전에 이바지하는 기술원이 되도록 모든 역량을 다하겠다"고 말했다. monarch@fnnews.com 김만기 기자

이조원 한양대 석좌교수가 16일 제6대 나노종합기술원장에 취임한다. KAIST는 지난 8월 30일 임시이사회를 열고 이 교수를 선임했다고 15일 밝혔다.  이 신임 원장은 16일부터 임기를 시작해 2022년 9월 15일까지 3년 동안 나노종합기술원을 이끌게 된다.  이 신임 원장은 펜실베니아주립대에서 금속과학 박사학위를 받았으며 과학기술부 21세기프런티어사업단 테라급나노소자개발사업단장과 한양대학교 나노융합과학과 교수를 지냈다. 또한 국가나노기술종합발전계획 수립에도 참여했다. KAIST는 공모 과정에서 그의 이러한 경험이 나노분야의 연구개발을 지원하는 나노종합기술원에 적임자로 평가받았다고 설명했다.  이 신임 원장은 "그동안 기술원은 나노기술 발전에 크게 이바지해 왔고 이를 바탕으로 △국내 반도체 소재 기업의 국산화 지원을 위한 12인치 테스트베드 구축 △시스템 반도체 육성을 위한 지원 체계 구축 △미래 나노기술을 이끌 인재 양성 등 현재의 많은 대내외 현안들을 슬기롭게 대응해 국가의 나노기술 발전에 이바지하는 기술원이 되도록 모든 역량을 다하겠다"고 말했다. monarch@fnnews.com 김만기 기자

'세계 최초 40나노 32기가 낸드플래시 핵심기술로 103억원의 기술료 확보.'  지난 2000년 10년 장기사업으로 출범한 교육과학기술부 21세기 프론티어 연구개발사업의 일환인 '테라급나노소자 개발사업단'의 성과다.  21세기 프론티어 연구개발사업은 우리만의 강점 기술을 전략적·선택적으로 집중 개발함으로써 국가경쟁력을 향상시키고자 정부가 나서 추진해온 국가 장기 대형 연구개발사업이다.  테라급나노소자 개발사업단은 테라 단위의 정보를 저장하고 처리할 수 있는 테라급 반도체 시대의 도래를 예언하고 '테라급 나노소자 TEG(Test Element Group) 개발'이라는 최종 목표를 달성하기 위해 장기적 안목을 갖고 단계별 목표 및 전략을 수립했다.  사업단은 총 3단계로 나눠 연구를 진행했다.  1단계에는 테라급 단위소자 기술 개발을 목표로 원천기술 확보에 주력했다. 2단계에는 테라급 집적 요소기술 개발을 목표로 응용 및 장비, 공정기술을 확보하는 데 힘썼다. 3단계에는 테라급 TEG 개발을 목표로 TEG 및 실용화 기술을 확보하고자 했다.  특히 연구기획 및 과제선정 단계부터 최종적인 수요자인 기업을 끌어들여 단순히 연구를 위한 연구가 아닌 산업 경쟁력 강화에 곧바로 도움이 될 수 있는 연구를 추진했다.  또한 2020년 이후 나노분야의 연구개발 방향에 대한 아이디어 도출을 위해 GE를 벤치마킹해 도입한 Imagination Breakthrough, SWOT 분석, 기술 가치 확산을 위한 PMD(Project Model Development) 과제 수행, 국내외 전략 워크숍 등 다양한 전략을 도입했다.   사업단은 이와 같이 장기 사업을 위한 단계별 전략을 적용하면서 단기적인 성과에 연연하지 않고 마치 대양을 항해하는 큰 선박처럼 최종 목표를 향해 묵묵히 최선의 노력을 집중했다. 이로 인해 1, 2단계 평가에서는 단기적인 기술 이전 실적 건수가 빈약하다는 이유로 많은 불이익이 있었다. 하지만 그나마 논문과 특허 등의 성과가 뛰어나 끝까지 사업을 이어올 수 있었다. 만약 거기에서 중단됐으면 어떻게 됐을까를 생각하면 지금도 아찔하기만 하다.  결과적으로 국가 장기연구 개발사업에 대한 소신과 믿음, 그리고 우직스러운 열정과 고민이 있었기에 프론티어 종료사업의 대표 성과를 비롯한 대형 성과들을 거둘 수 있었다. 사업 중반 화합물 반도체 연구에 대한 일부 부정적인 의견이 있었음에도 불구하고 실리콘 반도체의 물리적·기술적 한계를 돌파하기 위한 필수 대안임을 확신하고 현재까지 이끌어온 결과 '실리콘 위 화합물 반도체 성장 원천기술'을 개발해 지난 20년간 반도체 산업계의 꿈을 현실로 만들었다.  앞으로도 이러한 장기연구사업은 사업목표와 전략이 단·중기 과제 수행과는 달리 차별화돼야 한다. 당장 오늘 내일의 결과를 기대하고 추진해서는 안되며 목표가 정해지면 특별한 문제가 없는 한 본래의 취지와 철학대로 일관되게 지속되어야 한다. 또한 지난 10년 간 국가 주도로 경쟁력을 갖게 된 나노기술은 향후 나노시스템 기술로 한 단계 더 발전시켜 새롭게 도래할 슈퍼 인공지능 녹색사회(Super-intelligent Green Society)에 대비할 수 있도록 또 한 번의 국가적 R&D리더십이 필요하다고 본다. 이번 테라급나노소자 개발사업단의 성공이 향후 국가 주도의 장기 과제 수행에 좋은 사례가 되길 바란다.

[파이낸셜뉴스 고양=노진균 기자] 중부대학교와 3D프린팅연구조합이 공동 발전 및 기술의 질적 향상을 도모하기 위해 메이커스페이스 전문랩을 기반으로 업무 협력을 체결했다고 6일 밝혔다. 6일 중부대학교에 따르면 이달 5일 열린 협약식은 중부대학교 이정열 총장, 중부학원 신인식 이사장과 3D프린팅연구조합 이조원 이사장을 비롯한 양 기관 관계들이 참석한 가운데 진행됐다. 주요 협약 내용은 △메이커 스페이스전문랩 기업 기술서비스 연계 지원 △공동연구과제 선정 및 연구개발에 관한 사항 △시설 및 기자재의 공유 및 활용 △취·창업 연계등기타 상호기관 발전을 위한 협력사업 추진 및 교류 등이다. 이정열 중부대 총장은 "양 기관의 협약을 통해 3D프린팅산업 분야의 수평적 협력파트너로서 상호발전의 계기를 마련하고, 관련 산업의 교류 협력으로 미래 인재 공동양성에도 힘쓰겠다"고 말했다. 이조원 이사장은 "3D프린팅산업 분야에 인력이 많이 부족한 상황이라 미래인재를 교육하는 대학과 협업이 중요하다고 생각한다. 또한 전문랩을 갖춘 중부대와 연구 및 사업을 진행해 3D프린팅 산업활성화되길 바란다"고 전했다. 한편, 중부대학교는 2022년 12월 중소벤처기업부와 고양특례시의 지원으로 메이커스페이스 SM스마트모빌리티전문랩(단장 하성용 교수)을 경기북부권 최초로 개소했으며, 산업용 3D프린터, 소프트웨어 wep개발,UV프린터, 레이저커터, 커팅플로터 등의 다양한 첨단장비를 보유하고 있다. njk6246@fnnews.com 노진균 기자

[파이낸셜뉴스] 나노종합기술원이 센서 전문기업 엠엔텍과 수소 누설 감지 센서를 공동 개발해 상용화에 성공했다. 이 수소센서는 대기 중 산소와 결합할 때 자연 발화해 폭발하는 수소의 저장과 운송, 활용 과정에서 발생할 수 있는 수소 누설을 신속히 검출하는 센서다. 11일 나노종합기술원에 따르면 엠앤텍은 나노종합기술원과의 공동기술 개발결과를 토대로 지난해 투자유치에 성공, 올해 6월 495㎡ 규모의 자체 생산시설 구축했다. 엠엔텍 강석환 대표는 "전 세계적으로 수소 연료전지 자동차와 수소 충전소 등의 수요가 증가함에 따라 신규 응용제품 적용이 본격화되고 있어, 올해 매출액 10억원, 2025년 이후 100억원 이상의 매출을 기대하고 있다"고 말했다. 엠엔텍은 수소연료전지를 위한 접촉연소식 수소누출 감지센서 개발과 양산기술 개발을 나노종합기술원에 의뢰, 기술원은 나노인프라와 공정기술을 활용해 중소기업 애로기술 해결에 착수했다. 기술원은 과학기술정보통신부 지원사업을 활용해 기술원의 8인치 반도체 장비와 미세전자기계시스템(MEMS)을 통한 고신뢰성, 고감도, 초소형과 저전력의 특성을 지닌 수소센서 대량 생산기술을 개발했다. 이를 기반으로 기술원과 ㈜엠엔텍은 3차원 나노구조 기술을 접목해 저농도와 고농도의 수소 누설 검출이 가능한 수소센서를 개발하고 있으며, 수소산업 전반의 안전관리와 에너지 안전성 확보를 위한 제품개발을 협력하고 있다. 나노종합기술원 이조원 원장은 "이번 수소 누설 감지센서 상용화는 기술원의 제품개발 지원 성공에 따른 중소기업의 자체 생산시설 구축과 고용창출을 달성한 대표적인 사례"라며 "앞으로도 기술원은 센서 상용화에 어려움을 겪는 국내 중소기업의 애로기술 해결과 상용화를 적극 지원하겠다"고 말했다.  monarch@fnnews.com 김만기 기자

[파이낸셜뉴스] 나노종합기술원은 반도체 소부장 국산화 지원에 필요한 12인치 반도체 20나노 미세패턴 공정기술 개발에 성공했다고 30일 밝혔다. 나노종합기술원 측은 "이번에 개발된 공정기술은 추가적인 장비투자 없이 기술원이 보유한 12인치 반도체 장비만을 통해 구현된 기술"이라며 "이는 200억원 이상의 예산절감, 개발기간 단축과 집적도를 4배 높일 수 있는 공정기술을 확보했다는 데 큰 의의가 있다"고 설명했다. 나노종합기술원은 반도체 소부장 기업들의 요청으로 공정별 전문가로 구성된 TF을 구성해 공정기술 개발을 추진한 결과, 6개월만에 추가적 장비투자 없이 20나노 미세패턴 공정기술을 개발하는 데 성공했다. 나노종합기술원이 개발한 공정기술은 기구축 장비를 활용한 공정기술(노광, 식각, 박막 등) 개발과 집적화를 통한 기술개발 성과다. 12인치 핵심장비의 40나노 노광공정과 식각공정 등을 기반으로, SADP 기술을 개발해 20나노 미세패턴을 구현하는 데 성공했다. 나노종합기술원은 "향후 개발된 공정기술을 20나노 미세패턴을 활용할 국내 반도체 소재(감광제, 반사방지막 등) 기업과 장비기업의 서비스 수요에 활용할 계획이며, 이를 통해 서비스 영역 확장을 추진할 계획"이라고 설명했다. 이조원 원장은 "이번 공정기술 개발은 기술원의 12인치 반도체 테스트베드 활용도를 획기적으로 높일 수 있는 성과로, 향후 국내 반도체 대기업 및 소부장 기업과의 연계와 협력을 기반으로 반도체 강국 구현을 위한 공공 테스트베드의 역할과 책임을 더욱 강화해 나가겠다"고 밝혔다. 한편, 나노종합기술원은 국내 최초로 12인치 반도체 테스트베드를 구축 운영하고 있는 나노인프라 기관이다. 핵심장비와 클린룸 구축을 완료하고 지난해 3월부터 국내외 반도체 소부장 기업을 위한 서비스를 제공하고 있다. 그러나 소부장 기업은 대기업 반도체 양산기술 수준에 부합하는 반도체 소재와 장비 개발을 위한 20나노급 미세패턴과 증착 서비스 제공을 요청했다. monarch@fnnews.com 김만기 기자

[파이낸셜뉴스]자동차, 폴더블 스마트폰에 적용 가능한 핵심 광학부품이 국내기술로 상용화에 성공했다는 소식에 파버나인이 강세다. 21일 오전 9시 55분 현재 파버나인은 전 거래일 대비 185원(4.07%) 오른 4750원에 거래 중이다. 이날 나노종합기술원은 편광부품 전문기업인 파버나인코리아와 선격자 편광판(WGP)을 공동개발했다고 밝혔다. 이번에 개발된 제품은 기존 제품(PVA, 폴리비닐알코올 편광판) 대비 고내열성, 고투과율 및 얇은 두께 특성을 지니고 있다. 그동안 내열성과 투과율 등의 문제로 적용이 어려웠던 자동차용 이미지센서, 폴더블 스마트폰 및 메타버스용 디스플레이 등에 적용이 가능할 전망이다. 파버나인코리아는 편광부품 상용화에 필수적인 대면적 마스터 개발을 추진하던 중 나노종기원의 ArF 이머전 스캐너를 활용한 제품개발 가능성을 확인하고 제품개발을 추진했다. WGP는 금속 나노선을 일정한 간격으로 배열하여 편광 효과를 얻는 광학 소자로, 절반의 빛은 투과 편광이 되고 절반의 빛은 반사 편광이 되는 특수 편광판을 말한다. 나노종기원은 300mm(12인치) 반도체 장비와 공정기술을 활용해 마스터 제작에 필요한 이음매 결함 등의 문제해결에 착수하여 기술개발에 성공했다. 파버나인코리아는 기술원의 300mm 대면적 WGP용 마스터 제작지원으로 양산 생산단가 절감과 품질향상에 성공, 현재 국내외에서 새로운 응용제품과 시장개척을 추진 중이다. 이조원 나노종합기술원 원장은 “이번 상용화 성과는 기술원의 12인치 반도체 테스트 베드를 활용한 첨단 광학부품 상용화 성공사례로, 12인치 테스트베드가 국내 중소기업의 제품개발에 다양하게 활용될 수 있다는 점을 확인할 수 있었다”면서 “향후 제품상용화에 어려움을 겪는 국내 중소기업의 애로기술 해결 지원을 더욱 더 강화하겠다”고 밝혔다. 한편 파버나인코리아는 파버나인의 계열사다. 파버나인은 파버나인코리아의 지분 19.7%를 보유하고 있다. 최근 파버나인코리아는 나노패턴을 활용해 얇고 가벼운 차세대 편광판을 개발했다. 이 제품은 얇고 가벼워 박판화가 가능해 폴더블 디스플레이에서부터 카메라 모듈, 가상현실(VR) 및 증강현실(AR) 등 다양한 기기에서 적용이 가능하다.   kmk@fnnews.com 김민기 기자

[파이낸셜뉴스] 국내 최초로 코로나19를 비롯한 다양한 바이러스와 슈퍼박테리아를 99.99% 이상의 정확도로 진단할 수 있는 3세대 디지털 유전자증폭검사(PCR) 시스템이 개발됐다. 이 시스템은 국내 의료기기허가와 국가기술표준원의 신제품(NEP) 인증을 획득했으며, 내년에 미국 식품의약국(FDA)와 유럽의 CE 인허가를 확보해 해외시장 공략에 나설 예정이다. 나노종합기술원은 국내 바이오 벤처기업인 ㈜바이오티엔에스와 공동으로 개발한 '마이크로 디지털 PCR 시스템'이 지난 9월 29일 국가기술표준원의 신제품(NEP) 인증을 획득했다고 18일 밝혔다. 이조원 나노종기원 원장은 "이번 성과는 나노기술과 바이오기술을 융합한 성공적 의료진단기기 상용화 사례로, 향후 기술원은 반도체 공정기술을 활용한 나노메디컬 디바이스 개발과 상용화 지원을 강화할 계획"이라고 밝혔다. 마이크로 디지털 PCR은 기존 PCR와 다르게 절대정량 측정이 가능하고 정밀도가 매우 높은 차세대 PCR이다. ㈜바이오티엔에스는 나노종합기술원과의 협력을 통해 국내에서 유일하게 미세액적 기반의 디지털 PCR 시스템에 대한 제품인증을 마치고 시장공략을 본격적으로 추진한다. 코로나19 이후 고정밀·고신뢰성이 있는 3세대 디지털 분자진단 시스템에 대한 시장요구가 커지고 있다. 현재 미세액적 기반 디지털 PCR시스템이 글로벌 분자진단 시장에서 80% 이상을 점유하고 있다. ㈜바이오티엔에스는 나노종합기술원의 기술이전과 상용화 개발지원으로 미세액적 기반의 디지털 PCR 시스템의 국산화에 성공해 본격적인 제품 양산과 판매를 추진한다. 이번에 개발된 3세대 디지털 PCR 시스템은 국내 최초로 상용화된 미세액적 기반의 디지털 PCR로 99.99% 이상의 진단 정확도를 확보했다. 이 디지털 PCR 시스템은 정확한 코로나19 진단은 물론 암진단 분야 등에 폭넓게 활용될 수 있다. 또한, 글로벌 시장에서 우위를 점유한 미세액적 방식으로 개발돼 국내뿐만 아니라 해외시장 개척이 용이한 것이 특징이다. ㈜바이오티엔에스는 지난 5월 국내 의료기기허가와 9월 NEP 인증을 획득하고, 2022년에 FDA 인허가와 유럽의 CE 인허가를 확보할 계획으로 향후 본격적인 수출이 가능할 것으로 전망하고 있다. ㈜바이오티엔에스 이승일 대표는 "나노종합기술원과 함께 디지털 PCR용 진단키트와 현장진단(POCT)용 디지털 PCR 시스템 개발도 추진할 것"이라고 말했다. monarch@fnnews.com 김만기 기자