[파이낸셜뉴스] 주성엔지니어링이 'DTC(Deep Trench Capacitor)' 실리콘 캐패시터 원자층증착(ALD) 장비를 처음 상용화했다. 17일 주성엔지니어링에 따르면 DTC 실리콘 캐패시터 ALD 장비를 엘스페스에 공급하기 위해 출하했다. 엘스페스는 실리콘 캐패시터에 주력하는 팹리스 반도체 기업이다. 최근 반도체 트렌드는 고성능 반도체를 구현하기 위해 공정 미세화를 통해 한정된 면적 안에 수백억개 트랜지스터를 집적하는 방식으로 가고 있다. 하지만 인공지능(AI) 반도체 수요가 증가하는 동시에 반도체 집적도 역시 높아지면서 발열과 누설 전류, 노이즈 등 문제가 발생한다. 이를 해결하기 위해 차세대 반도체 부품으로 실리콘 캐패시터가 부상한다. 실리콘 캐패시터는 기존 ‘MLCC’와 달리 하이케이 화합물로 만든 캐패시터다. AI 시장 성장에 따라 다량의 데이터 연산과 처리가 가능한 고성능 저전력 AI 반도체 중요성이 확대되는 변화 속에서 DTC 실리콘 캐패시터는 기존 MLCC 대비 고온·고주파 환경에서도 안정적으로 노이즈 없이 전압과 전류를 공급할 수 있다. 또한 밴드 위스가 커질수록 MLCC는 더 많은 개수를 필요로 하지만, 실리콘 캐패시터는 단 1개로 대체할 수 있어 초소형 폼팩터 제품에 적용이 가능하다. 실리콘 캐패시터 성능을 향상시키기 위해서는 고유전율 레이어를 ‘High Aspect Ratio’ 구조물에 얇게 겹겹이 증착하는 것이 중요하다. 주성엔지니어링은 이번에 업계 최초로 ALD 기술을 새로운 애플리케이션인 DTC 실리콘 캐패시터에 접목했다. 주성엔지니어링 관계자는 "이번 DTC 실리콘 캐패시터 ALD 장비를 출하한 것은 그동안 혁신과 신뢰를 바탕으로 이뤄진 결과"라며 "앞으로도 차세대 반도체 초기 시장을 선점해 지속 성장 기반을 다질 것"이라고 말했다. butter@fnnews.com 강경래 기자

반도체 장비·소재 기업들이 국내 최대 반도체 장비·소재 전시회 '세미콘코리아 2023'에 참가해 신기술을 뽐냈다. 2일 국제반도체장비재료협회(SEMI)에 따르면 세미콘코리아가 오는 3일까지 서울 삼성동 코엑스에서 열린다. 특히 주성엔지니어링과 신성이엔지, 한미반도체, 시노펙스, 유니테스트, 케이씨텍 등 국내 유수 반도체 장비·소재 업체들이 부스를 마련했다. 우선 주성엔지니어링은 반도체 원판(웨이퍼) 위에 막을 입히는 기능을 하는 원자층증착장비(ALD) '가이던스 시리즈'를 선보였다. 가이던스 시리즈는 시공간 분할을 통해 단차 피복 비율과 박막 응력 등을 조절할 수 있다. 이를 통해 반도체 원판 위에 얇으면서도 균일하게 막을 입히는데 유리하다. 아울러 반도체 원판 위에 소스와 퍼지, 가스 등 노출 시간을 자유자재로 제어할 수 있어 △커패시터 △트랜지스터 △인터커넥터 등 다양한 반도체 공정으로 확대 적용할 수 있다. 김태영 주성엔지니어링 경영관리그룹장은 "반도체 회로선폭이 최근 10나노미터(㎚) 이하로 미세화 하는 등 빠르게 진화하는 추세"라며 "가이던스 시리즈는 반도체 업체들의 다양한 요구를 충족시킬 수 있을 것"이라고 말했다. 신성이엔지는 '파티클 가시화 시스템', '기류 연동 시스템' 등 반도체 클린룸 장비를 선보였다. 파티클 가시화 시스템은 눈에 보이지 않는 초미세먼지를 영상을 통해 감지하는 기능을 한다. 또 기류 연동 시스템은 클린룸 안에 신선한 공기를 공급한다. 아울러 조명 일체형 공기청정기인 '퓨어루미', 에어샤워 기능을 하는 '퓨어게이트' 등 일반 소비자를 대상으로 한 제품들도 선보였다. 박원세 신성이엔지 해외관리팀장은 "창립 후 46년 동안 공기 조화 분야에 주력해 온 기술력을 한 자리에서 경험할 수 있도록 부스를 꾸몄다"고 말했다. 한미반도체는 반도체 원판을 정밀하게 절단하는 '웨이퍼 마이크로 쏘' 장비를 공개했다. 한미반도체는 지난 2021년 '듀얼 척 마이크로 쏘'를 출시한 이후 '테이프 마이크로 쏘', '글라스 마이크로 쏘' 등을 잇달아 출시하며 마이크로 쏘 장비 라인업을 강화하는 중이다. 한미반도체는 반도체 후공정 장비 일종인 '비전플레이스먼트' 분야에서 전 세계 시장 선두자리를 이어간다. 비전플레이스먼트에 이어 마이크로 쏘 분야를 집중 육성한다는 방침이다. 한미반도체는 세미콘코리아 외에도 이달 중 열리는 '세미콘차이나'(중국), '세미콘타이완'(대만)에서도 마이크로 쏘 장비를 선보일 예정이다. 한편 국제반도체장비재료협회가 주최하는 세미콘코리아 전시회에는 올해 삼성전자와 SK하이닉스 등 반도체 제조사를 비롯해 ASML과 니콘, 캐논, 히타치 등 국내외 반도체 장비·소재 기업 450곳이 참가했다. butter@fnnews.com 강경래 기자

대한전선은 안양공장 부지 개발을 위해 설립한 'ALD제1차PFV㈜'에 대한 우발채무 금액을 리파이낸싱 약정을 통해 기존 1200억원에서 250억원으로 대폭 낮췄다고 11일 밝혔다. 대한전선은 최근 안양공장 부지에 대해 아파트 건설 사업승인을 받음에 따라 포스코건설과 공사도급계약을 체결, 기존 대출금 3600억원에 대한 1200억원의 자금보충 약정을 포스코건설에 대한 250억원의 지급보증으로 변경했다. 이를 통해 우발채무 규모를 5분의 1 수준으로 줄였다. 대한전선 관계자는 "안양공장 부지 개발 사업은 지난해 산업용지 매각을 성공적으로 완료한 데 이어서 올 연말 아파트 분양도 시작하는 등 마무리 단계에 접어들었다"며 "이로 인해 대한전선의 우발채무 리스크도 크게 줄어들게 됐다"고 말했다. aber@fnnews.com 박지영 기자

반도체 장비기업들이 반도체 경기가 호황에 진입하면서 3·4분기에 호실적을 낸 것으로 나타났다. 반도체 시장이 내년까지 상승 흐름을 이어갈 것으로 예상되면서 장비기업들이 올 4·4분기에도 긍정적인 실적을 내놓을 것으로 전망된다. 12일 관련 업계에 따르면 한미반도체가 주력 반도체 장비인 'TC본더'를 앞세워 올해 3·4분기에 분기 사상 최대 실적을 달성했다. 한미반도체는 이 기간 매출액 2085억원, 영업이익 993억원을 기록했다. 이익률은 무려 48%에 달했다. 올해 3·4분기 누적 실적 역시 매출액 4093억원, 영업이익 1834억원을 올리며 나란히 최대 실적을 갈아치웠다. 한미반도체 측은 올해 하반기 들어 국내외 시장에 TC본더 공급을 본격화하면서 기록적인 실적 달성이 가능했다고 설명했다. TC본더는 열을 이용해 반도체 칩을 위아래로 정밀하게 붙이는 기능을 하며, 최근 인공지능(AI) 반도체와 함께 수요가 크게 늘어나는 고대역폭메모리(HBM) 공정에 필수로 쓰인다. 한미반도체 관계자는 "SK하이닉스, 미국 마이크론 등에 TC본더를 납품하면서 현재 이 분야에서 전 세계 시장 점유율 1위 자리를 이어간다"며 "6세대 HBM4 제조를 위한 '마일드 하이브리드 본더'를 추가로 선보이는 등 앞선 기술력을 통해 실적 상승 흐름을 이어갈 것"이라고 말했다. 주성엔지니어링은 올해 3·4분기 실적을 집계한 결과 매출액이 전년 동기 861억원보다 71% 늘어난 1472억원이었다. 같은 기간 영업이익 역시 62억원에서 522억원으로 744% 증가했다. 이익률은 35%에 달했다. 올해 3·4분기 누적 매출액은 3011억원으로 이미 지난해 연간 실적 2847억원을 훌쩍 넘어섰다. 주성엔지니어링은 반도체 원판(웨이퍼) 위에 필요한 물질을 정밀하게 입히는 증착장비에 주력한다. 특히 원자층증착장비(ALD) 분야에서는 글로벌 경쟁력을 확보했다는 평가를 받았다. 주성엔지니어링은 원자층증착장비 등을 SK하이닉스에 활발히 납품한다. 반도체 증착장비에서 확보한 기술력을 유기발광다이오드(OLED), 태양광 등 다른 장비 분야로 확대하는 중이다. 주성엔지니어링 관계자는 "올해 2·4분기 이후 원자층증착장비 등 반도체 장비 수주와 함께 납품 물량이 꾸준히 늘어나면서 매 분기 실적 개선 흐름이 이어진다"며 "올해 4·4분기에도 긍정적인 실적 흐름이 예상된다"고 말했다. 파크시스템스 역시 호실적을 내놨다. 파크시스템스는 올해 3·4분기 매출액과 영업이익이 각각 전년 동기보다 28%, 60% 늘어난 414억원, 87억원이었다. 누적 매출액과 영업이익 역시 전년 동기보다 각각 12%, 24% 증가한 1117억원, 220억원이었다. 파크시스템스는 사물을 나노미터(㎚, 10억분의 1m) 단위로 정밀하게 측정할 수 있는 원자현미경 사업에 주력한다. 광학현미경과 전자현미경 배율은 각각 수천배와 수십만배인데 반해, 원자현미경은 수천만배에 달한다. 특히 원자현미경은 반도체 회로선폭이 ㎚ 단위로 미세화하면서 국내외 유수 반도체 기업들 사이에서 반도체 검사를 위해 도입이 활발히 이뤄지는 추세다. 이런 이유로 파크시스템스는 지난해 반도체 경기 침체에도 불구하고 매출액 1453억원을 기록, 사상 최대 실적을 갈아 치우기도 했다. 이렇듯 반도체 장비기업들이 올해 3·4분기 기록적인 실적을 낸 것은 최근 반도체 시장이 호황에 진입하고 이에 따라 전방산업 대기업들이 설비 투자를 늘리고 있기 때문으로 풀이된다. 실제로 시장조사기관 SEMI는 올해 세계 반도체 장비 시장이 전년 1063억달러(148조9369만원) 보다 2.5% 증가한 1090억달러(152조6981만원)로 예상했다. 특히 내년에는 올해보다 17.4% 늘어난 1280억달러(179조3152만원) 규모로 사상 최대를 기록할 전망이다. 업계 관계자는 "최근 AI 반도체 수요 증가와 함께 여기에 들어가는 HBM 생산량 역시 빠르게 늘어나면서 시스템반도체, 메모리반도체 시장 모두 호조를 보인다"며 "이에 따라 반도체 장비기업들이 전방산업 투자 증가에 따른 낙수효과를 보는 상황"이라고 말했다. butter@fnnews.com 강경래 기자

[파이낸셜뉴스] 반도체 장비기업들이 반도체 경기가 호황에 진입하면서 3·4분기에 호실적을 낸 것으로 나타났다. 반도체 시장이 내년까지 상승 흐름을 이어갈 것으로 예상되면서 장비기업들이 올 4·4분기에도 긍정적인 실적을 내놓을 것으로 전망된다. 12일 관련 업계에 따르면 한미반도체가 주력 반도체 장비인 'TC본더'를 앞세워 올해 3·4분기에 분기 사상 최대 실적을 달성했다. 한미반도체는 이 기간 매출액 2085억원, 영업이익 993억원을 기록했다. 이익률은 무려 48%에 달했다. 올해 3·4분기 누적 실적 역시 매출액 4093억원, 영업이익 1834억원을 올리며 나란히 최대 실적을 갈아치웠다. 한미반도체 측은 올해 하반기 들어 국내외 시장에 TC본더 공급을 본격화하면서 기록적인 실적 달성이 가능했다고 설명했다. TC본더는 열을 이용해 반도체 칩을 위아래로 정밀하게 붙이는 기능을 하며, 최근 인공지능(AI) 반도체와 함께 수요가 크게 늘어나는 고대역폭메모리(HBM) 공정에 필수로 쓰인다. 한미반도체 관계자는 "SK하이닉스, 미국 마이크론 등에 TC본더를 납품하면서 현재 이 분야에서 전 세계 시장 점유율 1위 자리를 이어간다"며 "6세대 HBM4 제조를 위한 '마일드 하이브리드 본더'를 추가로 선보이는 등 앞선 기술력을 통해 실적 상승 흐름을 이어갈 것"이라고 말했다. 주성엔지니어링은 올해 3·4분기 실적을 집계한 결과 매출액이 전년 동기 861억원보다 71% 늘어난 1472억원이었다. 같은 기간 영업이익 역시 62억원에서 522억원으로 744% 증가했다. 이익률은 35%에 달했다. 올해 3·4분기 누적 매출액은 3011억원으로 이미 지난해 연간 실적 2847억원을 훌쩍 넘어섰다. 주성엔지니어링은 반도체 원판(웨이퍼) 위에 필요한 물질을 정밀하게 입히는 증착장비에 주력한다. 특히 원자층증착장비(ALD) 분야에서는 글로벌 경쟁력을 확보했다는 평가를 받았다. 주성엔지니어링은 원자층증착장비 등을 SK하이닉스에 활발히 납품한다. 반도체 증착장비에서 확보한 기술력을 유기발광다이오드(OLED), 태양광 등 다른 장비 분야로 확대하는 중이다. 주성엔지니어링 관계자는 "올해 2·4분기 이후 원자층증착장비 등 반도체 장비 수주와 함께 납품 물량이 꾸준히 늘어나면서 매 분기 실적 개선 흐름이 이어진다"며 "올해 4·4분기에도 긍정적인 실적 흐름이 예상된다"고 말했다. 파크시스템스 역시 호실적을 내놨다. 파크시스템스는 올해 3·4분기 매출액과 영업이익이 각각 전년 동기보다 28%, 60% 늘어난 414억원, 87억원이었다. 누적 매출액과 영업이익 역시 전년 동기보다 각각 12%, 24% 증가한 1117억원, 220억원이었다. 파크시스템스는 사물을 나노미터(㎚, 10억분의 1m) 단위로 정밀하게 측정할 수 있는 원자현미경 사업에 주력한다. 광학현미경과 전자현미경 배율은 각각 수천배와 수십만배인데 반해, 원자현미경은 수천만배에 달한다. 특히 원자현미경은 반도체 회로선폭이 ㎚ 단위로 미세화하면서 국내외 유수 반도체 기업들 사이에서 반도체 검사를 위해 도입이 활발히 이뤄지는 추세다. 이런 이유로 파크시스템스는 지난해 반도체 경기 침체에도 불구하고 매출액 1453억원을 기록, 사상 최대 실적을 갈아 치우기도 했다. 이렇듯 반도체 장비기업들이 올해 3·4분기 기록적인 실적을 낸 것은 최근 반도체 시장이 호황에 진입하고 이에 따라 전방산업 대기업들이 설비 투자를 늘리고 있기 때문으로 풀이된다. 실제로 시장조사기관 SEMI는 올해 세계 반도체 장비 시장이 전년 1063억달러(148조9369만원) 보다 2.5% 증가한 1090억달러(152조6981만원)로 예상했다. 특히 내년에는 올해보다 17.4% 늘어난 1280억달러(179조3152만원) 규모로 사상 최대를 기록할 전망이다. 업계 관계자는 "최근 AI 반도체 수요 증가와 함께 여기에 들어가는 HBM 생산량 역시 빠르게 늘어나면서 시스템반도체, 메모리반도체 시장 모두 호조를 보인다"며 "이에 따라 반도체 장비기업들이 전방산업 투자 증가에 따른 낙수효과를 보는 상황"이라고 말했다. butter@fnnews.com 강경래 기자

"삼성전자가 반도체 소재·부품·장비(소부장) 도입에 있어 더욱 현실적이 돼야 할 때입니다." 반도체 업계 한 임원은 "삼성전자가 글로벌 반도체 산업에 있어 리더십을 회복하기 위해서는 자체적인 노력도 중요하지만 협력사들과의 관계도 다시 들여다봐야 할 것"이라며 이같이 말했다. 삼성전자 위기설이 나온다. 그동안 삼성전자는 메모리반도체에 있어 전 세계 시장에서 절대 강자로 군림했다. 하지만 인공지능(AI) 시대가 열리면서 전혀 다른 양상이 벌어진다. AI 반도체에 필수로 쓰이는 고대역폭메모리(HBM)에서는 SK하이닉스에 1위 자리를 내줬다. 이뿐 아니다. 삼성전자는 오랜 기간 반도체 파운드리(위탁생산) 업계 2위로 부동의 1위인 대만 TSMC의 유일한 대항마로 불렸다. 하지만 최근 3㎚ 이하 공정에서 TSMC에 밀리며 점유율 격차가 벌어진다. 현재 주력인 메모리반도체에서 리더십을 잃고, 차기 먹거리인 파운드리마저 경쟁력이 떨어지는 진퇴양난에 빠졌다. 이런 상황에서 필자는 주성엔지니어링과 한미반도체를 떠올려 본다. 이들 모두 반도체 장비기업으로 전자는 전공정, 후자는 후공정 장비에 주력한다. 공통적으로 과거 삼성전자와 거래했으나 현재는 협력 관계가 없다. 주성엔지니어링은 여러 설이 있지만, 석연치 않은 이유로 삼성전자와의 협력이 단절됐다. 한미반도체는 삼성전자 자회사 세메스와 특허소송을 치른 적이 있다. 이런 이유로 현재 삼성전자와 거래하지 않지만 반대로 SK하이닉스와는 활발히 협력한다. 공교롭게도 SK하이닉스는 HBM 시장에서 전 세계 1위 자리를 꿰찼다. 그리고 여기엔 한미반도체 'TC본더'가 어느 정도 역할을 했다는 게 업계 중론이다. HBM을 만들기 위해 D램을 여러 층 쌓아 올려야 하는데 이를 위해 적당한 열을 가해 정밀하게 붙이는 작업이 필요하다. 이 역할을 하는 장비가 바로 TC본더다. SK하이닉스는 현재까지 HBM 생산에 필요한 TC본더를 전량 한미반도체로부터 도입한다. 미국 마이크론 역시 최근 한미반도체와 거래하기 시작했다. 삼성전자가 일본 업체 등에서 TC본더를 들여오는 것과 상반된 모습이다. 주성엔지니어링은 업계 최초로 원자층증착장비(ALD)를 선보인 뒤 SK하이닉스를 비롯한 국내외 유수 업체에 공급 중이다. 이 장비는 반도체 원판(웨이퍼) 위에 필요한 물질을 균일하게 입히는 기능을 한다. '흑묘백묘'라는 말이 있다. 검은 고양이든 흰 고양이든 쥐만 잘 잡으면 된다는 말이다. 삼성전자가 지금과 같은 비상상황에서 혹여 과거에 집착해 현재와 미래를 포기하는 일은 없는지 세심하게 들여다봐야 할 때가 아닐까. butter@fnnews.com 강경래 기자

【파이낸셜뉴스 알메르=장충식 기자】 '반도체 외교'를 위해 네덜란드를 방문 중인 김동연 경기도지사가 세계적 반도체 기업인 ASM을 찾아 오는 2030년까지 3조원의 투자를 이끌어 냈다. 또 경기도내 대학 졸업생들을 우선 채용, 인턴십 프로그램 연계 등 경기도 청년들의 채용기회 확대 등도 함께 추진하기로 했다. 김 지사는 현지 시간으로 10월 31일 오전 11시 네덜란드 알메르 ASM 본사 회의실에서 정명근 화성시장과 함께 '상생협력 협약'(MOU)을 체결했다. ASM에서는 히쳄 엠사드(Hichem M'Saad) CEO, 폴 베르하겐(Paul Verhagen) CFO 등이 참석했다. 도가 경기도의회에 보고한 자료에 따르면 ASM은 오는 2027년까지 1조5000억원을 우선 투자해 경기도내 협력기업의 부품을 구매하는 등 지원할 예정이다.  이어 오는 2030년까지 1조5000억원을 추가 투자하는 등 모두 3조원을 한국법인에 지원할 예정이다. 주요 내용으로는 △반도체 전문인력 양성을 통한 경기도내 산업 경쟁력 강화 △경기도 내 공급업체와의 협력 강화(1.5조원 부품구매 협력) △경기도민·경기도 소재 대학교 졸업생 채용 기회 제공 △경기도 소재 대학과의 인턴십 프로그램 및 채용 등 도내 협력기업 제품구매를 위한 상생협력과 고용, 시설투자 확대 등이다. 이번 협약은 ASM의 반도체 증착장비 연구·제조시설 투자의 일환으로 경기도와 화성시, ASM 간 상생협약을 체결했다는 데 의미가 크다. 협약에 따라 ASM은 반도체 전문인력 양성 및 경기도민과 졸업생들에게 채용 기회를 제공하고, 협력업체들과 1조5000억원 상당의 부품을 우선 구매하는 등 투자를 진행할 예정이다. ASM은 1968년 설립된 반도체 공정 기술(웨이퍼) 장비 제조 업체로, 원자층 증착(ALD) 장비 세계 1위 기업이다. 지난 2023년 화성시 동탄첨단산업단지 내 착공에 들어간 'ASM 연구·제조시설'은 전 세계에 진출해 있는 ASM 글로벌 지사 중 유일하게 조성된 연구와 제조 기능이 결합된 시설이다. ASM은 1362억원(1억 달러)를 투자해 오는 2027년까지 372명을 고용할 수 있는 1만4603㎡ 규모의 반도체(플라즈마 원자층) 증착장비 연구 및 제조시설인 '제2연구제조 혁신센터'를 경기 화성시에 조성 중에 있다. 김동연 지사는 "ASM과 화성시와 함께 맺는 오늘의 MOU는 정말 구체적인 내용들이 담겨져 있어서 기쁘다"며 "앞으로도 ASM과 하는 일에 있어선 '풀 서포트'를 하겠다"고 약속했다. 이어 "우리 반도체 인력 양성과 젊은 청년들을 위한 여러 가지 교육 프로그램 등은 (제가)가장 역점 두고 있는 문제 중 하나인데, 이번 MOU에 담겨 기쁘게 생각한다"며 "경기도는 대한민국의 모든 경제와 산업의 중심지다. 앞으로 ASM이 우리 경기도에서 사업을 하는데 있어 지원을 아끼지 않겠다"고 말했다. 함께 자리를 한 정명근 화성시장은 "ASM이 화성시에 글로벌 공급망을 확대해 준 안목에 대해서 칭찬하지 않을 수 없다"며 "화성시는 반도체 관련 업체가 3100개 정도가 있고, 8만1000명이 반도체 관련 일을 하고 있다. 그래서 ASM과 반도체 관련 회사들이 서로 상생협력을 해서 공동 발전할 수 있기를 바라겠다"고 말했다.. 히쳄 엠사드 ASM CEO는 "오늘은 ASM의 아주 특별한 날이고 ASM이 한국 사업에서 중요한 이정표를 세우는 날"이라며 "ASM과 경기도, 화성시가 3자 협약을 체결함으로써 앞으로의 미래 파트너십을 이어나가는 데 중요한 역할을 할 것이라고 생각한다. ASM이 한국 반도체 업계에서 중요한 역할을 하고 있다는 점을 기쁘고 자랑스럽게 생각한다"고 밝혔다. jjang@fnnews.com 장충식 기자

[파이낸셜뉴스] 주성엔지니어링이 올해 3·4분기에 '어닝 서프라이즈'에 해당하는 실적을 거뒀다. 당초 추진하기로 했던 인적·물적 분할은 철회하기로 했다. 주성엔지니어링은 올해 3·4분기 실적을 집계한 결과 매출액이 전년 동기 861억원보다 71% 늘어난 1472억원이었다고 29일 밝혔다. 같은 기간 영업이익 역시 62억원에서 522억원으로 744% 증가했다. 이익률은 무려 35%에 달했다. 주성엔지니어링은 올해 3·4분기 누적 매출액이 3011억원으로 이미 지난해 연간 실적 2847억원을 훌쩍 넘어섰다. 같은 기간 영업이익은 953억원을 기록했으며 이익률은 31%였다. 주성엔지니어링 관계자는 "올해 2·4분기 이후 반도체 장비 수주와 함께 납품 물량이 꾸준히 늘어나면서 매 분기 실적 개선 흐름이 이진다"고 말했다. 실제로 주성엔지니어링은 지난 7월 SK하이닉스와 194억원 규모로 반도체 장비를 공급하기로 계약을 체결하는 등 수주가 이어진다. 이 장비는 지난 8월 SK하이닉스 중국 우시 D램 메모리반도체 제조사업장에 공급되면서 3·4분기 매출액에 반영됐다. 주성엔지니어링은 반도체 원판(웨이퍼) 위에 필요한 물질을 정밀하게 입히는 증착장비에 주력한다. 특히 원자층증착장비(ALD) 분야에서는 글로벌 경쟁력을 확보했다는 평가를 받았다. 주성엔지니어링은 반도체 증착장비에서 확보한 기술력을 유기발광다이오드(OLED), 태양광 등 다른 장비 분야로 확대하는 중이다. 증권가에서는 주성엔지니어링이 올해 반도체 경기 회복 흐름과 함께 지난해보다 개선된 실적을 내놓을 것으로 예상한다. 김민경 하나증권 연구원은 "올 하반기에 국내 반도체 제조사에 장비 납품이 집중적으로 이뤄질 것"이라며 "아울러 북미 지역으로 반도체 장비 공급도 진행하는 등 호재가 이어질 것"이라고 말했다. 한편 주성엔지니어링은 이날 이사회를 열어 인적·물적 분할 계획을 철회하기로 했다. 주식매수청구권 행사금액 합계액이 기존 분할계획서를 통해 공시한 500억원을 초과하면서 이같은 결정을 내렸다. 당초 주성엔지니어링은 △지주사인 주성홀딩스 △반도체 장비회사 주성엔지니어링 △디스플레이·태양광 장비회사 주성룩스 등 3개 회사로 인적·물적 분할하기로 했었다. 주성엔지니어링 관계자는 "기존 분할계획서를 통해 안내한 주식매수청구권 한도금액 500억원을 자기주식 취득으로 사용해 주주가치를 증대시키고 주가안정을 도모할 것"이라고 말했다. butter@fnnews.com 강경래 기자

ASM코리아가 최근 인력 조정, 부서 재배치 등 일부 구조조정을 단행했다. ASM은 네덜란드에 본사를 둔 반도체 장비 기업으로 원자층증착장비(ALD)를 비롯해 플라스마원자층증착(PEALD), 에피텍시 장비 등 반도체 전공정 장비를 주력으로 생산한다. ASM의 장비가 없으면 첨단 반도체 제조가 불가능해 '슈퍼을'로 통한다. 삼성전자, 인텔과 같은 반도체 위탁생산(파운드리) 기업들이 실적 부진 등으로 투자를 줄이면서 반도체 장비 협력사 역시 타격을 입고 있는 것으로 분석된다. 다만 현 상황을 두고 업계에서는 반도체 전체 위기로 보기보다는 인공지능(AI)을 중심으로 업체 간 명암이 엇갈리는 것으로 봐야 한다는 의견도 제기된다. ■ASM코리아 인력 조정, 글로벌사도 타격 27일 업계에 따르면 ASM코리아는 업무 효율화를 위해 부서 내 중복인원을 정리하는 과정에서 일부 인력 조정을 진행했다. 이와 관련해 ASM코리아 측은 해당 조치가 통상적인 구조조정과 다르고, 필요한 부문에서 인력을 충원 중이며 국내 투자도 이어갈 것이란 입장이다. 다만 본사 ASM이 반도체 업황의 영향을 받을 것으로 전망되며, 한국 지사에 영향을 미칠 수 있다는 예측도 나온다. ASM은 지난해 일회성 구조조정을 진행했으며 최근 미국 증권가는 ASM의 수익전망을 하향 조정하기도 했다. 뱅크오브아메리카증권은 ASM의 내년과 2026년 수익 전망치를 7~8% 가량 하향 조정하며, 주 고객인 인텔의 자본지출 감소 등을 근거로 들었다. 이미 주요 글로벌 반도체 장비 기업 위기는 현실로 드러난 상태다. 네덜란드 극자외선(EUV) 노광 장비기업 ASML의 올해 3·4분기 예약 매출은 26억유로(약 3조9028억원)로 시장 전망치 절반에도 못 미쳤다. 이 같은 실적 악화는 삼성전자와 인텔 등 주요 파운드리 업체의 부진과 무관하지 않다는 분석이다. ASML은 내년 실적 전망치도 하향 조정하면서 '반도체 공장 건설 지연'으로 장비 출시가 연기되고 있다는 점을 이유로 꼽았다. 실제 최근 대규모 구조조정에 돌입한 인텔은 계획했던 파운드리 공장 건설을 연기했다. 삼성전자 역시 미국 텍사스주 테일러시 파운드리 공장 완공 시점을 올 하반기에서 2026년으로 수정한 것으로 알려졌다. 국내 반도체 장비 기업 회사들도 영향을 받고 있는 것으로 풀이된다. 한 반도체 장비 기업 임원은 "삼성전자 파운드리 투자 축소로 인해 국내 반도체 시장 변화가 불가피할 것으로 예상된다"며 "구체적으로 삼성전자 북미 파운드리 공장 가동 연기와 경기 평택 파운드리 라인 설치 재검토 등으로 인해 장비 수요 불확실성이 커질 전망"이라고 말했다. ■TSMC·SK하닉과 쭉쭉 뻗는 장비사 반면 실적 양극화는 뚜렷해지고 있다. 글로벌 파운드리 시장 1위인 대만 TSMC는 올 3·4분기 순이익 3253억대만달러(약 14조원)로 전년 동기 대비 54.2% 증가한 실적을 거뒀다. SK하이닉스는 3·4분기에 분기 기준 최대 실적을 달성했다. 한 반도체 장비 기업 임원은 "AI 가속기 설계 및 개발을 주도하는 미국 엔비디아, 여기에 고대역폭메모리(HBM)를 공급하는 SK하이닉스, 엔비디아 제품을 위탁생산하는 TSMC의 AI 반도체 생태계에 속한 기업들은 호황을 이어갈 것"이라며 "반대로 해당 생태계에 포함되지 못한 업체들은 혹독한 시기를 겪을 것"이라고 말했다. 이에 국내 반도체 장비 기업들도 AI 흐름을 탄 기업들로부터 수주를 받기 위해 총력을 기울일 것으로 예상된다. 실제로 SK하이닉스, TSMC 등과 거래하는 반도체 장비사들은 호실적을 이어가고 있다. 한미반도체는 지난 17일 올해 3·4분기 매출액 2085억원, 영업이익 993억원을 기록했다고 발표했다. 이는 각각 분기 기준 창사 이래 최대 실적이다. 영업이익률은 48%에 달했다. 한미반도체는 HBM 생산에 필수로 쓰이는 TC본더 분야에서 전 세계 시장 1위 자리를 이어가고 있다. 회사는 SK하이닉스와 함께 TSMC 후공정을 담당하는 대만 패키징 업체들과 활발히 거래 중이다. 주성엔지니어링도 호실적이 예상된다. 주성엔지니어링은 SK하이닉스에 ALD 등을 납품한다. 하나증권은 주성엔지니어링이 올해 전년보다 45% 늘어난 4127억원 매출액을 올릴 것으로 내다봤다. 같은 기간 영업이익은 269% 증가한 1067억원으로 전망했다. 또 다른 반도체 장비사 대표는 "전 세계 반도체 시장의 양극화가 심화되고 있다"며 "AI 활황 수혜를 받지 못하는 기업들이 있고, 이로 인해 이들과 거래하는 장비 기업들 실적은 내년까지 암울한 상황"이라고 평가했다. soup@fnnews.com 임수빈 김준석 강경래 기자

【파이낸셜뉴스 수원=장충식 기자】 김동연 경기도지사가 미국에 이어 오스트리아와 네덜란드 등 유럽을 방문해 반도체 산업 글로벌 협력 강화, 첨단산업 투자유치 세일즈에 나선다. 25일 경기도에 따르면 도는 오는 27일부터 11월 2일까지 김동연 경기도지사를 단장으로 한 경기도대표단이 중부 유럽에 위치한 오스트리아와 네덜란드를 방문해 경기도 기업들의 유럽 진출을 위한 가교를 놓을 예정이라고 25일 밝혔다. 김 지사는 지난 15일부터 21일까지 5박 7일간 미국 뉴욕 등 동부지역을 방문해 캐시 호컬 뉴욕 주지사, 글렌 영킨 버지니아 주지사와 협력관계를 구축하는 한편 총 2조1000억원의 투자 유치를 한 바 있다. 우선 네덜란드에서 세계적 반도체 장비 기업인 에이에스엠(ASM)과 에이에스엠엘(ASML)의 본사를 각각 방문해 투자협력 방안 등을 논의할 예정이다. 지난 1968년 설립된 ASM은 반도체 생산에 필수적인 원자층 증착기술(ALD)기술 시장의 리더로 연매출 3조8000억원 규모의 세계적 반도체 장비 기업이다. ASML은 1984년 설립해 연매출 276억 유로(2023년 기준, 약 40조원)를 기록한 반도체 제조 핵심공정의 하나인 '노광(Lithography)' 분야 반도체 장비 전세계 1위 기업이다. 유일하게 첨단 반도체 제조에 필수적인 극자외선(EUV) 리소그래피(실리콘 웨이퍼에 회로 패턴을 형성하는 공정) 장비가 생산 가능하다. 이와 더불어 첨단산업 등 글로벌 협력도 강화하며, '중소기업 강국' 오스트리아의 노동경제부 장관을 만난 경제·산업 등 분야별 협력 확대를 모색하고, 네덜란드의 첨단산업 중심지 노르트브라반트주와 신규 우호협력을 체결한다. 이밖에 전세계 경제인 약 3000명이 참가하는 '제28차 세계한인경제인대회' 개회식에 기조강연자로 나설 예정이며, 행사장에 마련된 경기도관을 중심으로 도내 기업의 유럽 진출의 마중물 역할을 수행할 것으로 기대된다. 경기도 관계자는 "유럽 중심에 위치한 오스트리아에서는 현지 정·재계 인사를 만나 경기도 기업의 유럽진출 해결사 역할을 맡을 것이며, 네덜란드에서는 국제교류 강화뿐만 아니라 첨단 반도체 장비 기업을 찾아 투자협력을 적극 논의하겠다"며 "지난 미국 출장에 이어 의미 있는 성과를 이어갈 수 있도록 하겠다"고 말했다. jjang@fnnews.com 장충식 기자