반도체 박막 증착 실시간 관찰.. 생산기술연구원 세계 첫 개발

고온에너지시스템그룹 허훈 박사 연구팀이 개발한 '화학증착소재 실시간 증착막 측정 시스템'을 점검하고 있다. 한국생산기술연구원 제공

한국생산기술연구원이 반도체 생산 장비 내부에서 웨이퍼 위에 박막이 형성되는 전 과정을 실시간으로 관찰하고 측정·분석할 수 있는 '화학증착소재 실시간 증착막 측정 시스템'을 세계 최초로 개발했다고 16일 밝혔다.

이 측정 시스템은 반도체뿐만 아니라 유기발광다이오드(OLED) 소재, 2차전지 또는 태양전지용 전극소재 등 다양한 분야에도 활용할 수 있다. 이번 연구개발은 국가과학기술연구회가 주관한 '창의형 융합연구사업' 과제를 통해 3년 만에 낸 성과로, 2019년 6월 시스템 개발을 완료하고 현재 반도체 소재 기업들과 상용화를 추진하고 있다.

[e-mail] 김만기 기자

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