많은 벤처기업이 명성을 얻으면 돈이 흐르는 쪽으로 투자하기 마련이지만, ㈜씨트리는 다르다. 1998년 설립 이후 줄곧 기술과 연구개발을 최우선으로 하는 보기 드문 벤처기업이다. ㈜씨트리는 이온성 액체(Ionic Liquids) 연구 초창기인 2000년부터 생산 및 판매를 시작해 현재 국내 뿐 아니라 미국, 독일, 영국, 일본 등지에서도 판매하고 있는 의약품 생산 및 연구개발 기업이다. 이온성 액체는 유기 및 무기 화합물에 훌륭한 용해도를 나타내는 낮은 융해점, 무증기압, 높은 열 안전성을 지닌 유기성 염이다. 이러한 다재다능한 성질로 인해 이온성 액체는 바오오텍 산업, 의약 및 화학 산업에 없어서는 안 될 물질로 각광 받고 있다. 신성장동력 중 하나인 신소재나노융합 분야에도 해당하는 유망사업이다. 특히 이온성 액체를 사용한 리튬이차전지용 전해액 개발 시장은 이온성 액체의 블루오션으로 떠오르고 있다. 우리가 일상에서 핸드폰이나 노트북 등 전자통신 기기의 전지로 다양하게 활용되고 있는 2차 전지 리튬이온(Li-ion) 배터리는 사용되는 전해액은 높은 유전율과 낮은 점도유지를 위해 여러 종류의 유기용매를 블랜딩해 사용한다. 그렇기 때문에 유기용매의 낮은 열적 안정성으로 차량용, 저장용 대형 Li-ion 전지 시장의 활성화에 장애가 되고 있다. 하지만 이러한 난관은 열적 안정성이 우수하면서도 동등한 전기적 특성을 가지고 있는 이온성 액체를 사용하게 되면 해결할 수 있다. ㈜씨트리는 전해액에 이온성 액체를 사용해 전해액의 열적 안정성을 40% 이상 개선한 전해액을 개발하는 정부 사업에 참여해 상용화하기 위한 마지막 점검을 하고 있고, 4~5V의 Li-ion 전지 개발을 위한 기반 기술을 확보한 상태다. 이 기술을 활용한 전지팩을 개발하고, 2012년 상업화해 유럽시장에 진출할 계획도 갖고 있다. ㈜씨트리 관계자는 “마이크로 리액터를 활용해 꾸준히 지적되어 온 이온성 액체의 대량생산 한계를 극복할 수 있는 기술 개발을 진행중”이라고 말했다. ㈜씨트리는 뛰어난 기술력과 가격 경쟁력으로 자연스럽게 이온성 액체 국내시장 점유율도 1위에 올랐고, 이러한 기술력과 공로를 인정 받아 2004년 산업자원부가 주관하는 2004 대한민국 기술대전에서 금상을 수상한 바 있다. /yccho@fnnews.com 조용철기자

반도체 소재·부품·장비(소부장) 기업들이 최신 제품과 기술을 앞세워 서울 삼성동에 집결했다. 24일 한국반도체산업협회에 따르면 25일까지 서울 코엑스에서 '제26회 반도체대전(SEDEX)'을 진행한다. 올해 전시회는 '인공지능(AI) 반도체와 최첨단 패키지 기술의 융합'을 주제로 삼성전자와 SK하이닉스를 비롯해 국내외 총 280개 업체가 700개 부스를 마련해 참가했다. 특히 주성엔지니어링과 신성이엔지 등 반도체 장비기업들을 비롯해 동진쎄미켐과 에프에스티, 미코 등 반도체 소재기업, LX세미콘과 세미파이브, 딥엑스 등 팹리스 업체들이 대거 참여했다. 우선 주성엔지니어링은 반도체 원판(웨이퍼) 위에 필요한 막을 입히는 기능을 하는 원자층증착장비(ALD) '가이던스 시리즈'를 선보였다. 가이던스 시리즈는 시공간 분할을 통해 단차 피복 비율과 박막 응력 등을 조절할 수 있다. 이를 통해 반도체 원판 위에 얇고 균일한 막을 입히는데 유리하다. 가이던스 시리즈는 반도체 원판 위에 소스와 퍼지, 가스 등 노출 시간을 자유자재로 제어할 수 있어 △커패시터 △트랜지스터 △인터커넥터 등 다양한 반도체 공정으로 확대 적용할 수 있다. 주성엔지니어링 관계자는 "반도체 회로선폭이 10㎚ 이하로 미세화 하는 등 빠르게 진화하는 추세"라며 "가이던스 시리즈는 반도체 업체들의 다양한 요구를 충족시킬 수 있을 것"이라고 말했다. 신성이엔지는 국내 반도체 산업 성장을 이끌어온 클린룸 기술을 공개했다. 특히 산업용 공기청정기 'FFU(Fan Filter Unit)' 첨단 공기 제어 기술을 통해 반도체 제조 공간인 클린룸 안에 있는 초미세먼지까지 제어, 제품 품질과 수율을 높이는 기능을 한다. 신성이엔지는 이 분야에서 전 세계 시장 1위 자리를 이어간다. 신성이엔지는 FFU와 함께 △청정 기능에 제습 기능을 더한 'EDM(Equipment Dehumidify Module)' △외부에서 유입되는 공기를 깨끗하게 처리해 실내로 공급하는 '외조기(OAC)' △공기 중 이온성 오염물질을 제거하는 'WSS' △정상 방향으로 기류 환경을 유지해주는 '기류 연동 시스템' △초미세먼지까지 감지하는 '미립자 가시화 시스템' 등을 전시했다. 신성이엔지 관계자는 "이번 반도체대전에 47년간 축적한 공기 제어 기술을 바탕으로 만든 제품들을 대거 출품했다"며 "앞으로도 기술 선도 기업으로서 첨단산업에 쓰이는 다양한 청정 토털솔루션을 선도적으로 제시하며 관련 산업 성장을 이끌 것"이라고 말했다. 세미파이브는 이번 전시회에서 'AI가 세미파이브를 이끈다'는 슬로건을 앞세워 그간 반도체 개발 현황과 AI 설계 플랫폼 등을 알리고 있다. 올해 양산에 들어간 5㎚ 공정 AI 반도체와 함께 내년 상반기 중 양산할 예정인 14㎚ 공정 AI 반도체 플랫폼 등을 공개했다. AI 반도체 분야에서 수요가 급증할 것으로 기대되는 AI 칩렛 솔루션도 전시했다. 세미파이브는 고성능 AI 반도체를 손쉽게 만들 수 있는 개발 플랫폼을 제공한다. 미국과 중국에 사무소를 운영하며 해외 시장 진출도 꾀한다. 세미파이브 관계자는 "AI 전용 반도체를 개발할 수 있는 가장 효율적인 솔루션을 제공한다"며 "앞으로 글로벌 AI 산업 한 축을 축을 담당할 것"이라고 말했다. 업계 관계자는 "최근 전 세계적으로 AI 생태계가 형성되고 고대역폭메모리(HBM) 등 반도체 업황 역시 호조를 보이면서 반도체대전 현장을 찾은 참관객들이 예년보다 늘어났다"며 "이에 발맞춰 참가한 업체들도 이번 전시회에 AI 반도체 등 최신 기술을 대거 선보였다"고 말했다. butter@fnnews.com 강경래 기자

[파이낸셜뉴스] 반도체 소재·부품·장비(소부장) 기업들이 최신 제품과 기술을 앞세워 서울 삼성동에 집결했다. 24일 한국반도체산업협회에 따르면 25일까지 서울 코엑스에서 '제26회 반도체대전(SEDEX)'을 진행한다. 올해 전시회는 '인공지능(AI) 반도체와 최첨단 패키지 기술의 융합'을 주제로 삼성전자와 SK하이닉스를 비롯해 국내외 총 280개 업체가 700개 부스를 마련해 참가했다. 특히 주성엔지니어링과 신성이엔지 등 반도체 장비기업들을 비롯해 동진쎄미켐과 에프에스티, 미코 등 반도체 소재기업, LX세미콘과 세미파이브, 딥엑스 등 팹리스 업체들이 대거 참여했다. 우선 주성엔지니어링은 반도체 원판(웨이퍼) 위에 필요한 막을 입히는 기능을 하는 원자층증착장비(ALD) '가이던스 시리즈'를 선보였다. 가이던스 시리즈는 시공간 분할을 통해 단차 피복 비율과 박막 응력 등을 조절할 수 있다. 이를 통해 반도체 원판 위에 얇고 균일한 막을 입히는데 유리하다. 가이던스 시리즈는 반도체 원판 위에 소스와 퍼지, 가스 등 노출 시간을 자유자재로 제어할 수 있어 △커패시터 △트랜지스터 △인터커넥터 등 다양한 반도체 공정으로 확대 적용할 수 있다. 주성엔지니어링 관계자는 "반도체 회로선폭이 10㎚ 이하로 미세화 하는 등 빠르게 진화하는 추세"라며 "가이던스 시리즈는 반도체 업체들의 다양한 요구를 충족시킬 수 있을 것"이라고 말했다. 신성이엔지는 국내 반도체 산업 성장을 이끌어온 클린룸 기술을 공개했다. 특히 산업용 공기청정기 'FFU(Fan Filter Unit)' 첨단 공기 제어 기술을 통해 반도체 제조 공간인 클린룸 안에 있는 초미세먼지까지 제어, 제품 품질과 수율을 높이는 기능을 한다. 신성이엔지는 이 분야에서 전 세계 시장 1위 자리를 이어간다. 신성이엔지는 FFU와 함께 △청정 기능에 제습 기능을 더한 'EDM(Equipment Dehumidify Module)' △외부에서 유입되는 공기를 깨끗하게 처리해 실내로 공급하는 '외조기(OAC)' △공기 중 이온성 오염물질을 제거하는 'WSS' △정상 방향으로 기류 환경을 유지해주는 '기류 연동 시스템' △초미세먼지까지 감지하는 '미립자 가시화 시스템' 등을 전시했다. 신성이엔지 관계자는 "이번 반도체대전에 47년간 축적한 공기 제어 기술을 바탕으로 만든 제품들을 대거 출품했다"며 "앞으로도 기술 선도 기업으로서 첨단산업에 쓰이는 다양한 청정 토털솔루션을 선도적으로 제시하며 관련 산업 성장을 이끌 것"이라고 말했다. 세미파이브는 이번 전시회에서 'AI가 세미파이브를 이끈다'는 슬로건을 앞세워 그간 반도체 개발 현황과 AI 설계 플랫폼 등을 알리고 있다. 올해 양산에 들어간 5㎚ 공정 AI 반도체와 함께 내년 상반기 중 양산할 예정인 14㎚ 공정 AI 반도체 플랫폼 등을 공개했다. AI 반도체 분야에서 수요가 급증할 것으로 기대되는 AI 칩렛 솔루션도 전시했다. 세미파이브는 고성능 AI 반도체를 손쉽게 만들 수 있는 개발 플랫폼을 제공한다. 미국과 중국에 사무소를 운영하며 해외 시장 진출도 꾀한다. 세미파이브 관계자는 "AI 전용 반도체를 개발할 수 있는 가장 효율적인 솔루션을 제공한다"며 "앞으로 글로벌 AI 산업 한 축을 축을 담당할 것"이라고 말했다. 업계 관계자는 "최근 전 세계적으로 AI 생태계가 형성되고 고대역폭메모리(HBM) 등 반도체 업황 역시 호조를 보이면서 반도체대전 현장을 찾은 참관객들이 예년보다 늘어났다"며 "이에 발맞춰 참가한 업체들도 이번 전시회에 AI 반도체 등 최신 기술을 대거 선보였다"고 말했다. butter@fnnews.com 강경래 기자

[파이낸셜뉴스] 신성이엔지가 반도체 클린룸 국산화를 이룬 기술력을 반도체대전에서 공개한다. 23일 신성이엔지에 따르면 오는 25까지 서울 코엑스에서 열리는 반도체대전에 부스를 마련하고 참가한다. 특히 이번 전시회에서 청정 기능에 제습 기능을 더한 'EDM(Equipment Dehumidify Module)'을 처음 선보인다. 신성이엔지는 1977년 설립된 이후 반도체 클린룸에 쓰이는 산업용 공기청정기 'FFU(Fan Filter Unit)'를 국내 최초로 국산화하는 등 반도체 산업 발전에 기여해왔다. 클린룸은 반도체를 생산하는 청정 공간을 의미한다. FFU는 첨단 공기 제어 기술을 통해 초미세먼지까지 제어, 반도체 품질과 수율을 높이는 기능을 한다. 현재 신성이엔지는 해당 분야에서 국내 점유율 60% 이상을 차지한다. 이날 처음 선보인 EDM은 고성능 로터를 이용해 5%RH(상대습도) 수준까지 습도를 조절할 수 있다. 제습 기능이 작동하지 않아도 청정 기능은 유지된다. 초소형 크기로 제조 설비 내 설치가 용이한 것이 특징이다. 이외에 △휘발성유기화합물(VOCs)을 95% 이상 제거하는 'V-마스터' △공기 중 이온성 가스 오염물질을 제거하는 'WSS' △눈에 보이지 않은 초미세먼지를 가시화하는 '미립자 가시화 시스템' △외부에서 유입되는 오염된 공기를 청정하게 공급해주는 '외조기(OAC)' △2차전지 드라이룸 등을 출품했다. 신성이엔지 관계자는 "1980년대 국내 반도체 산업이 태동하던 시기에 클린룸 국산화를 성공시키며 관련 산업이 성장할 수 있는 밑거름 역할을 했다"며 "기술 고도화를 통해 반도체뿐 아니라 2차전지 드라이룸, 데이터센터 공조 솔루션 영역으로 사업을 확장하는 중"이라고 말했다. butter@fnnews.com 강경래 기자

[파이낸셜뉴스] 삼양홀딩스 바이오팜그룹은 최근 유전자 가위 기술 전문기업 진코어와 유전자 치료제 공동연구계약을 체결했다고 7일 밝혔다.이번 공동연구계약은 삼양홀딩스의 유전자 전달 기술 플랫폼 ‘SENS’와 진코어의 유전자 편집 기술 ‘TaRGET’을 결합해 새로운 유전자 치료제를 개발하기 위한 기초 연구계약이다. 양사는 유전자 편집 기술과 유전자 전달체 융합기술의 타당성을 검증한 후에 본격적인 유전자 치료제 공동개발을 진행할 계획이다. 삼양의 SENS는 핵산 기반 치료제 및 유전자 교정 약물 등을 간, 폐, 비장 등 다양한 조직의 특정 세포에 선택적으로 전달이 가능한 약물 전달 기술(DDS) 플랫폼이다. 핵산을 효과적으로 보호하고 제형에 조직 선택성을 부여하는 양이온성지질과 체내에서 자연 분해되는 생분해성 고분자를 기반으로 디자인돼 유효성과 안전성이 우수하고 반복투여가 가능하다. 진코어는 초소형 유전자 가위 기술인 TaRGET을 기반으로 희귀질환 유전자 치료제를 개발하고 있다. TaRGET은 2023년 국가연구개발 최우수 성과에 선정된 차세대 유전자 편집 기술로, 지난해 미국 제약사와 약 8천억원 규모의 기술 수출 계약을 체결하며 글로벌 시장에서 기술력을 인정받았다. 정밀한 유전자교정이 가능하고 다양한 분야에 활용도가 높은 것으로 평가받고 있다. 조혜련 삼양홀딩스 연구소장은 “삼양홀딩스는 SENS 기술에 상보적인 유전자 기술 플랫폼을 보유한 국내외 기업들과 적극적인 파트너링을 진행중”이라며 “혁신적인 유전자 교정 기술을 가진 진코어와의 공동연구가 희귀질환을 근원적으로 해결하는 치료제 개발로 이어지길 기대한다“고 말했다. 김용삼 진코어 공동대표는 “안전한 치료제 개발을 위해서는 조직 특이성과 유전자가위 기술에 최적화된 전달 기술이 필수적”이라며 “진코어의 초소형 유전자가위와 삼양홀딩스가 보유한 SENS기술을 활용해 효과적이고 안전성이 높은 유전자 치료제 개발을 가속화할 것”이라고 말했다. vrdw88@fnnews.com 강중모 기자

[파이낸셜뉴스] 한국화학연구원 이수연·김태호 박사팀이 개발한 500원 크기의 마찰 발전기로 5W의 전력을 만들어내 LED 전구 100개를 켜냈다. 이 마찰 발전기는 1만번 이상 사용해도, 구멍이 나거나 찢어져도 성능이 그대로 유지됐다. 이 마찰 발전기는 웨어러블 기기나 사물인터넷(IoT), 자가전원 센서 등에 활용할 수 있다. 9월 30일 화학연구원에 따르면, 연구진은 마찰 소재와 전극 사이에 '이온 겔 전기 이중층(iEDL)' 소재를 추가해 전류 누설 문제를 해결하고 전력 발생량을 높인 마찰 발전기를 개발했다. 이온겔 전기 이중층은 전해질과 전극 표면 사이에 형성되는 두 개의 전하 층으로, 여기서는 이온성 액체를 얇게 굳힌 막을 이용해, 마찰 후 생성된 전하 상태가 유지되도록 안정적으로 고정시키는 역할을 맡았다. 마찰 발전기의 성능을 테스트한 결과, iEDL 소재를 적용하지 않았을 때에 비해 일정 시간 동안 생산되는 전력의 양, 즉 전력 밀도가 2W/㎡에서 26W/㎡로 13배 증가했다. 마찰 발전기에 들어간 소재는 찢어지거나 구멍이 생겨도 많은 전기를 생산해내는 높은 내구성도 가졌다. 1만회 반복 실험 결과, 최대 출력 전압이 0.1V 이내로 하락해, 매우 안정적인 성능을 보였다. 또한 4.7μF(마이크로패럿)의 소용량부터 470μF의 대용량 기기까지 충전시킬 수 있었다. 이와함께 500원 크기의 마찰 발전기 1개는 50㎽ 소형 LED 전구 100개를 밝힐 만큼 충분한 전원을 공급했다. 이수연 박사는 "앞으로 후속 연구를 통해 발생된 전기를 동시에 효율적으로 저장할 수 있는 소자 개발과 고효율 독립 전원 시스템 구축이 성공한다면 2030년경 실용화가 가능할 것"이라고 예상했다. 한편, 연구진은 이번에 개발한 마찰발전기를 재료·화학 과학기술 분야 국제학술지인 '어드밴스드 펑셔널 머터리얼즈(Advanced Functional Materials)'에 발표하고 9월호 표지논문으로 선정됐다.  monarch@fnnews.com 김만기 기자

[파이낸셜뉴스] 신성이엔지가 국내 디스플레이 산업 성장을 이끈 클린룸 기술을 공개한다. 신성이엔지는 오는 16일까지 코엑스에서 열리는 '2024 K디스플레이 산업 전시회'에 참가한다고 14일 밝혔다. 1977년 설립된 신성이엔지는 국내 최초로 클린룸 핵심 장비인 'FFU(Fan Filter Unit)'를 국산화하며 디스플레이 산업 발전에 기여해온 기업이다. 클린룸은 △반도체 △디스플레이 △2차전지 △바이오 생산에 필수적인 고청정 공간을 뜻한다. 산업용 공기청정기인 FFU는 최첨단 공기 제어 기술을 통해 초미세먼지까지 제어, 제품 품질과 수율을 높이는 설비다. 현재 신성이엔지는 해당 분야에서 국내 점유율 60% 이상을 차지하고 있다. 이외에도 △외부에서 유입된 오염된 공기를 깨끗하게 처리해 실내로 공급하는 '외조기(OAC)' △공기 중 이온성 오염물질을 제거하는 'WSS' △정상 방향으로 기류 환경을 유지해주는 '기류 연동 시스템' △초미세먼지까지 감지하는 '미립자 가시화 시스템' 등 첨단 공기 제어 기술을 바탕으로 개발된 클린룸 관련 장비를 소개한다. 신성이엔지 관계자는 "차별화된 공기 제어 기술을 바탕으로 만든 혁신 장비를 소개할 예정"이라며 "지속적인 연구·개발을 통해 최적의 첨단 산업 환경을 구축하고 국내외 디스플레이 산업을 이끌 것"이라고 말했다. 한편 올해 23회째를 맞이한 K디스플레이 전시회는 최신 디스플레이 기술과 제품을 볼 수 있는 국내 최대 규모 디스플레이 전시회다. 유기발광다이오드(OLED) 분야에서 세계 최고 기술을 보유한 국내 양대 패널 기업과 국내외 소부장 기업들이 대거 참여한다. butter@fnnews.com 강경래 기자

국내 연구진이 한번 충전에 더 많은 전기를 저장하고 오래 사용할 수 있는 리튬 금속전지에 들어갈 세계 최고 수준의 전해액 조성 기술을 개발했다. 이 전해액으로 만든 리튬 금속전지는 200회 이상 충방전을 거듭해도 저장용량이 거의 줄지 않았다. 또한 리튬 대비 4.4V 높은 충전 전압 조건에서 다른 전해액보다 약 5% 정도 높은 75.0%의 높은 전기용량 유지율을 보였다. 19일 한국과학기술원(KAIST)에 따르면 이번 기술개발은 KAIST 생명화학공학과 최남순 교수, UNIST 화학과 홍성유 교수, 서울대 화학생물공학부 이규태 교수, 고려대 화공생명공학과 곽상규 교수, 경상국립대 나노·신소재공학부 고분자공학전공 이태경 교수의 공동연구를 통한 결실이다. 리튬 이온전지는 음극에 흑연을 주로 사용한다면 리튬 금속전지는 리튬으로 만들어 용량을 10배 늘릴 수 있는 것으로 알려져 있다. 리튬 금속전지를 오랜시간 사용하기 위해선 전해액의 이온 전달 성능뿐만 아니라 전극 표면을 보호하는 것이 필수적이다. 전자를 주는 성질이 강한 리튬금속 음극과 전자를 빼앗으려는 고전압 양극에 접촉하고 있는 전해액이 분해되지 않도록 전극과 전해액 사이에 보호층을 형성시켜야 한다. 연구진은 전극·전해액 계면을 안정화하는 첨가제 기술과의 조합을 통해 리튬 금속전지의 고전압 수명 성능 및 고속 충전 특성을 획기적으로 높이는 데 성공했다. 전해액의 주 용매는 기존에 보고되지 않은 용매를 새롭게 디자인하고 합성해 불이 붙을 가능성이 낮은 환형 설폰아마이드 계열 용매 'TFSPP'를 사용했다. 이 용매는 기존에 사용되는 용매보다 우수한 고전압 안정성을 가져 전지 내부 가스 발생을 억제할 수 있었다. 또한 두 가지 이온성 첨가제를 사용해 리튬 금속 음극에 형성된 보호층이 부피 변화를 견디도록 설계했다. 아울러 전자 방출 경향성이 높은 첨가제를 적용해 양극 표면에 보호층을 형성해 양극의 구조 안정성을 향상시켰다. 연구진은 이 고전압 용매가 전극을 보호하는 첨가제와 함께 시너지 효과를 이끌어 고전압 리튬 금속전지 성능을 끌어올렸다고 설명했다. monarch@fnnews.com 김만기 기자

[파이낸셜뉴스] 국내 연구진이 한번 충전에 더 많은 전기를 저장하고 오래 사용할 수 있는 리튬 금속전지에 들어갈 세계 최고 수준의 전해액 조성 기술을 개발했다. 이 전해액으로 만든 리튬 금속전지는 200회 이상 충방전을 거듭해도 저장용량이 거의 줄지 않았다. 또한 리튬 대비 4.4V 높은 충전 전압 조건에서 다른 전해액보다 약 5% 정도 높은 75.0%의 높은 전기용량 유지율을 보였다. 19일 한국과학기술원(KAIST)에 따르면 이번 기술개발은 KAIST 생명화학공학과 최남순 교수, UNIST 화학과 홍성유 교수, 서울대 화학생물공학부 이규태 교수, 고려대 화공생명공학과 곽상규 교수, 경상국립대 나노·신소재공학부 고분자공학전공 이태경 교수의 공동연구를 통한 결실이다. 리튬 이온전지는 음극에 흑연을 주로 사용한다면 리튬 금속전지는 리튬으로 만들어 용량을 10배 늘릴 수 있는 것으로 알려져 있다. 리튬 금속전지를 오랜시간 사용하기 위해선 전해액의 이온 전달 성능뿐만 아니라 전극 표면을 보호하는 것이 필수적이다. 전자를 주는 성질이 강한 리튬금속 음극과 전자를 빼앗으려는 고전압 양극에 접촉하고 있는 전해액이 분해되지 않도록 전극과 전해액 사이에 보호층을 형성시켜야 한다. 연구진은 전극·전해액 계면을 안정화하는 첨가제 기술과의 조합을 통해 리튬 금속전지의 고전압 수명 성능 및 고속 충전 특성을 획기적으로 높이는 데 성공했다. 전해액의 주 용매는 기존에 보고되지 않은 용매를 새롭게 디자인하고 합성해 불이 붙을 가능성이 낮은 환형 설폰아마이드 계열 용매 'TFSPP'를 사용했다. 이 용매는 기존에 사용되는 용매보다 우수한 고전압 안정성을 가져 전지 내부 가스 발생을 억제할 수 있었다. 또한 두 가지 이온성 첨가제를 사용해 리튬 금속 음극에 형성된 보호층이 부피 변화를 견디도록 설계했다. 아울러 전자 방출 경향성이 높은 첨가제를 적용해 양극 표면에 보호층을 형성해 양극의 구조 안정성을 향상시켰다. 연구진은 이 고전압 용매가 전극을 보호하는 첨가제와 함께 시너지 효과를 이끌어 고전압 리튬 금속전지 성능을 끌어올렸다고 설명했다. KAIST 생명화학공학과 김세훈 박사과정생은 "용매와 첨가제의 조합 기술을 통해 실용화가 가능한 리튬 금속전지용 용매 조성 프레임을 개발했다"며 "전지의 사용기간을 연장하는, 보다 안정적인 전극-전해액 계면층을 형성하는 새로운 전해액 조성 기술"이라고 말했다. 한편, 연구진은 이번에 개발한 기술을 국제 학술지 '어드밴스드 머티리얼즈(Advanced Materials)'에 발표했다.   monarch@fnnews.com 김만기 기자

반도체 장비기업들이 대거 '세미콘코리아 2024'에 참가해 신기술을 공개했다. 1일 국제반도체장비재료협회(SEMI)에 따르면 국내 최대 반도체 전시회인 세미콘코리아가 오는 2일까지 서울 삼성동 코엑스에서 열린다. '경계를 넘어선 혁신'을 주제로 한 올해 행사엔 신성이엔지와 한미반도체, 파크시스템스, 저스템 등 국내외 500여개 장비·재료 업체들이 약 2100개 부스를 마련해 참가했다. 우선 신성이엔지는 'FFU(Fan Filter Unit)' 등 반도체 클린룸 장비 기술을 공개했다. 산업용 공기청정기인 FFU는 첨단 공기제어 기술을 통해 초미세먼지까지 제어, 제품 품질과 수율을 높이는 장비다. 현재 신성이엔지는 해당 분야에서 전 세계 점유율 60% 이상을 차지한다. 신성이엔지는 FFU 외에 △외부에서 유입되는 오염된 공기를 깨끗하게 처리해 실내로 공급하는 '외조기(OAC)' △공기 중 이온성 오염물질을 제거하는 'WSS' △정상 방향으로 기류 환경을 유지해주는 '기류 연동 시스템' △휘발성 유기화합물을 제거하는 'V-마스터' △초미세먼지까지 감지하는 '미립자 가시화 시스템' 등을 공개했다. 신성이엔지 관계자는 "47년간 축적한 공기제어 기술을 바탕으로 만든 다양한 장비들을 출품했다"며 "앞으로도 클린룸 기술 선도 기업으로서 첨단산업환경 청정 토털솔루션을 선도적으로 제시하며 관련 산업 성장을 이끌 것"이라고 말했다. 한미반도체는 반도체 후공정 장비인 'TC본더'를 공개했다. 특히 TC본더는 '고대역폭메모리(HBM)' 공정에 필수로 쓰이면서 최근 주목을 받는다. HBM은 D램 메모리반도체를 수직으로 쌓아 올려 성능을 높인 제품이다. HBM은 인공지능(AI) 반도체와 함께 다양한 기기로 적용이 확대된다. 한미반도체는 이번 세미콘코리아 전시회를 통해 하이퍼 모델 '듀얼 TC본더 그리핀', 프리미엄 모델 '듀얼 TC 본더 1.0 드래곤' 등 TC본더 제품군을 적극 알리고 있다. 아울러 올 상반기 중 출시할 예정인 '7세대 뉴 마이크로쏘 & 비전플레이스먼트 6.0 그리핀' 등을 공개했다. 파크시스템스는 반도체 검사공정에 쓰이는 원자현미경을 출품했다. 원자현미경은 사물을 나노미터(㎚, 10억분의 1m) 단위로 정밀하게 측정할 수 있다. 광학현미경과 전자현미경 배율은 각각 수천배와 수십만배인데 반해, 원자현미경은 수천만배에 달한다. 원자현미경은 반도체 회로선폭이 나노미터 단위로 미세화하면서 국내외 유수 반도체 기업들 사이에서 도입이 활발히 이뤄지는 추세다. 파크시스템스는 이렇듯 반도체 웨이퍼, 포토마스크 등 다양한 반도체 공정에서 원자현미경 역할이 커지는 것을 세미콘코리아 참관객들을 대상으로 적극 알릴 방침이다. 이를 위해 현장에서 △전하 농도 측정 및 자동 영상화 △박막 전압 및 관련 특성 이미징 △전기 데이터 분석 등을 제시했다. 저스템은 차세대 반도체 습도제어 솔루션 'JFS(Justem Flow Straightener)'를 공개했다. JFS는 기류제어시스템을 이용해 반도체 공정 내 45% 습도를 반도체 웨이퍼를 담는 장치(FOUP) 안에서 1% 이하로 낮출 수 있는 솔루션이다. 이를 통해 습도로 인한 손실을 줄이고 반도체 수율을 향상시킬 수 있다. 저스템은 글로벌 반도체 업체와 JFS 기술에 대한 양산 평가를 마친 뒤 공급 계약을 앞두고 있다. 김신우 신성이엔지 상무는 "지난해 반도체 불황으로 장비·재료 기업 상당수 실적이 예상치를 하회했다"며 "하지만 올해 반도체 시장이 반등할 것으로 예상되면서 장비·재료 기업들이 세미콘코리아를 통해 국내외 바이어들에 기술력을 적극 알리고 실적 만회에 나서려는 분위기가 감지된다"고 말했다. butter@fnnews.com 강경래 기자