[파이낸셜뉴스] 반도체 산업은 우리나라가 퍼스트무버의 지위를 확보한 국가의 기간산업이다. 하지만 제조 라인의 첨단공정장비 중에는 여전히 높은 비율로 해외에 의존하고 있다. 이런 가운데 국내 연구진이 국내 최초로 반도체 제조장비용 세라믹 신소재를 개발했다. 이는 세계 최고 수준의 내플라즈마성 소재를 국내 기술로 개발해 반도체 공정장비의 고도화를 이루고 세계시장에서의 선폭 미세화 경쟁에서 기술적 우위를 확보했다는 점에서 큰 의미가 있다. 한국재료연구원(KIMS)은 엔지니어링세라믹연구실 박영조 박사팀이 ㈜미코세라믹스와 공동연구를 통해 반도체 제조장비 내부의 오염입자를 줄일 수 있는 내플라즈마성 세라믹 신소재를 국내 최초로 개발했다고 3일 밝혔다. 관련 기술은 PCT 특허출원이 완료됐다. 반도체 제조때 일반적으로 플라즈마를 이용해 필요한 부분만 남기고 제거하는 식각 공정을 실시한다. 이때 실리콘 웨이퍼는 물론 장비 내부의 구성 부품도 플라즈마에 노출돼 오염입자가 발생, 칩 불량의 주요한 원인이 되고 있다. 반도체 선폭이 미세화될수록 고출력의 플라즈마 식각이 요구되기 때문에 오염입자 발생을 최소화하기 위한 내플라즈마성 신소재 개발이 필요하다. 실리콘 웨이퍼 식각을 위해 플라즈마를 쪼일 때 오염입자를 방지하기 위한 두 가지 변수는 '낮은 식각율'과 '작은 표면조도'의 유지다. 연구진은 이미 확보된 투명 세라믹 개발 과정에 사용된 무기공 이론밀도 치밀화 소결기술을 이트리아·마그네시아 복합세라믹에 적용해 잔류 기공이 없는 완전 치밀체 소결을 달성해 식각률을 최소화했다. 또한, 내플라즈마성이 검증된 이트리아와 마그네시아를 복합해 소결과정에서의 결정립 성장을 최소화시켜 300나노미터(㎚) 수준의 미세구조를 달성함으로써 최저 표면조도의 구현을 확인했다. 김하늘 선임연구원은 "이번 연구결과는 서로 다른 물질이라도 균일한 작은 크기의 결정립으로 치밀한 소재와 부품을 제조하면, 오히려 단일 물질의 소재 및 부품보다 반도체 공정장비의 신뢰성을 향상시킬 수 있다는 사실을 최초로 입증하고 이를 국제적으로 인정받았다는데 큰 의미가 있다."고 말했다. 이번 연구결과는 세계적 권위의 학술지인 '사이언티픽 리포트(Scientific Report)'에 지난 5월 13일자로 게재됐다. monarch@fnnews.com 김만기 기자

삼원테크(대표이사 이택우)는 유압용 관이음쇠 국산화 기술력을 바탕으로 중장비용 주문품 관이음쇠를 주로 생산해 온 기업이다. 설립초기 국내 중장비 회사와 일본에 대한 매출 위주였으나 지속적인 기술개발과 해외시장 개척을 통해 지난 1997년 영국, 1998년 미국 수출이 이뤄짐으로써 성장가도를 달려왔다. ◇국산화 기술력 바탕 안정적 매출=삼원테크가 생산하고 있는 유압용 관이음쇠는 유압으로 작동되는 기계, 장치의 유압발생원에 부착돼 유압이 흐르도록 하는 파이프, 호스 또는 내연기관 등을 연결시켜주는 부품이다. 주로 굴삭기, 굴착기, 로우더, 크레인 등과 같은 건설중장비, 지게차, 덤프트럭 등의 산업차량, 장갑차, 탱크와 같은 군장비, 공작기계 등 사용 범위가 넓다. 관이음쇠는 수요부문에 따라 요구되는 가공의 정밀도가 다르기 때문에 크게 시장품과 주문품 시장으로 나뉘어진다. 삼원테크는 중저압용의 시장품 보다는 주문품을 주로 생산하고 국내시장에는 대우종합기계, 볼보건설기계코리아, 대동공업, 클라크머터리얼핸들링아시아 등 건설중장비 및 산업차량 생산업체들을 주요 수요처로 두고 있다. 또한 해외에는 캐터필러, 고마츠, 디어, 히다치, 볼보, 미쓰비시 등과 같은 중장비, 농기계 제조회사 등이 주요 고객이다. ◇고품질, 가격 경쟁력 갖춰=이처럼 국내외에 안정적인 매출처를 확보할 수 있는 경쟁력은 대규모 수치제어(CNC) 설비를 통해 고품질의 제품을 미국, 일본, 유럽의 관이음쇠 생산 및 유통회사보다 낮은 가격으로 생산, 공급할 수 있다는 데 있다. 이는 중장비 제조사가 요구하는 다양한 규격의 관이음쇠를 생산할 수 있도록 전문화된 설비와 누유를 방지할 수 있는 정밀가공기술, 원재료인 단조품을 삼화금속과 중국의 청도천호금속유한공사, 청도삼왕금속유한공사국과 같은 계열회사로부터 조달하고 있기 때문이다. ◇동부증권 주간사 등록심사 청구=꾸준히 호전되고 있는 실적도 삼원테크의 경쟁력을 대변한다. 지난해 매출액이 153억원으로 전년 대비 65.2%의 신장세를 나타낸 가운데 영업이익과 순이익도 각각 32억원, 23억원으로 54.0%, 55.7% 증가했다. 올 상반기에도 매출액 92억원, 영업이익 26억원, 순이익 21억원을 기록했다. 삼원테크는 동부증권을 주간사로 지난 25일 코스닥위원회에 등록예비심사를 청구했다. 등록요건을 충족해 적격 판정을 받으면 이르면 오는 12월∼내년 1월 등록공모를 거쳐 내년 1월중 시장에 등록할 전망이다. 공모규모는 심사청구일 기준으로 110만주로 주당예정발행가는 6000∼7000원(액면가 500원), 공모금액은 66억∼77억원 수준이다. 현 자본금 규모는 12억원(발행주식 240만주)으로 최대주주인 이종준씨(40.0%, 96만주)를 비롯해 특수관계인 4인의 보유지분이 95.0%(228만주)에 이른다. / swshin@fnnews.com 신성우기자

[파이낸셜뉴스]  기업회생절차(법정관리)가 진행중인 반도체 클린룸 제어시스템 제조업체 시스웍이 새 주인 찾기에 돌입했다. 업계에선 새주인 교체이후 거래가 다시 재개 될 수 있을지 주목하는 분위기다. 1일 투자은행(IB)업계에 따르면 시스웍의 매각 주간사인 삼일회계법인은 오는 15일까지 원매자들을 대상으로 인수의향서(LOI)를 접수 받는다. 매각 주간사측은 내달 6일 본입찰을 계획하고 있다. 이번 딜은 사전 예비 인수자가 존재하는 스토킹호스 방식 딜 이다. 2004년에 설립한 시스웍은 클린룸 제어시스템 및 BLDC(Brushless DC) 모터를 독자 개발해 판매하는 회사다. 클린룸은 반도체, 디스플레이, 바이오, 제약 산업 분야의 제조업체는 생산수율을 높이기 위해 작업환경에서 부유하는 미세먼지를 ‘제로(Zero)’ 수준으로 만든다. 클린룸에 사용되는 FFU(Fan Filter Unit)와 EFU(장비용 FFU · 공장 내 기류를 순환시켜주는 역할)의 감시제어시스템, 냉 · 난방 및 환기시스템에 들어가는 BLDC(Brushless DC) 모터는 국내에서 유일하게 시스웍이 개발하고 있다. 시스웍은 2022사업연도의 재무제표에 대한 감사보고서 제출에서 계속기업 존속능력 불확실성으로 인한 '의견거절'을 받았다. 이에 상장폐지 사유가 발생했다. 회사의 주식은 현재 거래정지 상태다. 시스웍은 올 4월 회생절차 개시 신청이후 6월 회생정차 개시 결정을 받았다. 이후 법원이 매각 주간사를 선정하고 새 주인 찾기에 나선 것이다. IB업계에선 클린룸 시장이 높은 시장 진입 장벽과 성장성을 지녀 매물로서의 가치가 있다고 봤다. 실제 세계 클린룸 시장 규모는 2024년 약 93.7억달러로 2029년까지 연평균 7.11%로 가파르게 성장할 것으로 예상된다. IB업계 관계자는 “시스웍은 거래정지 상장사로 인수 시 상장사 최대주주 지위 확보가 가능하며, 인수 후 경영정상화 시 상장적격성 심사사유 해소 가능할 것으로 예상된다”라며 “특히 시스웍은 국내 최초로 BLDC모터를 개발했으며, 해당 기술은 일반모터 대비 전기효율이 높고 기대수명이 높은 등의 차별점을 가지고 있다”라고 말했다. 이어 “실제 BLDC모터를 개발한 기술력을 바탕으로 물류이송용, 자동문용 등 산업용 BLDC모터 신제품을 개발해 성장잠재력을 보유하고 있어 관련 기술에 관심 있는 원매자들에게 기회가 될 수 있다”라고 부연했다. kakim@fnnews.com 김경아 기자

한국 델 테크놀로지스는 선박용 모니터 및 패널 PC 제조업체인 테트라다인이 비즈니스용 데스크톱 ‘델 옵티플렉스(Dell OptiPlex)’에 고객 맞춤형 해상용 시스템 플랫폼을 구축했다고 26일 밝혔다. 테트라다인은 1999년 설립 이후, 장비용 모니터를 시작으로 조선 해양, 방산, 발전소 등 특수 산업 분야의 디스플레이 솔루션을 개발 및 제조하고 있다. 테트라다인은 2005년 이래 델 테크놀로지스의 워크스테이션, PC, 서버 등의 제품에 해상 진동 및 충격으로부터 플랫폼을 고정하고 보호하는 항진동 키트를 장착해 특수 산업 고객 맞춤형 플랫폼을 개발해왔다. 해당 플랫폼은 한국 KR, 노르웨이 DNV GL, 미국 ABS 등 세계 선박용 7대 선급 인증을 획득해 조선해양시장에 공급되고 있다. 테트라다인은 고성능과 확장성이 특징인 델의 산업용 데스크톱 PC인 ‘옵티플렉스 XE 시리즈’에 최적화된 항진동 키트인 ‘TD Kit’를 개발해 차별화된 경쟁력을 확보했으며, 향후 델 모니터 및 워크스테이션, 서버, 스토리지 등의 플랫폼으로 선박용 시스템 솔루션 라인업을 더욱 확장할 계획이다. 테트라다인이 채택한 ‘델 옵티플렉스 XE4’는 튼튼한 내구성을 갖춘 산업용 제품이다. 미국 국방부가 인정하는 군사 표준규격인 ‘MIL-STD 810G’ 테스트를 통과했고 부식이 일어나거나 최대 45도까지 치닫는 엣지 환경을 견디도록 설계됐다. 별다른 도구 없이도 간편하게 유지 관리를 할 수 있어 사용성도 탁월한 제품이다. 최대 125W CPU를 탑재한 12세대 인텔 코어 프로세서와 새로운 하이브리드 코어 기술을 통해 고집약적 워크로드를 원활히 처리하도록 설계됐으며, 동급 최고 수준의 그래픽을 탑재했다. AI와 머신러닝 기술에 기반한 지능형 소프트웨어 최적화 솔루션인 ‘델 옵티마이저’도 지원한다. 테트라다인은 제품의 안정성과 신뢰성을 가장 중시하는 조선해양기자재 기업의 특성상, 델 테크놀로지스의 탁월한 기술력과 솔루션의 안정성을 최고의 강점으로 꼽았으며 다양한 업계 고객들 사이에서 오랜 기간 축적한 높은 브랜드 인지도와 신뢰도도 높이 평가했다. 또한 코로나 팬데믹 이후 전 세계에 닥친 공급망 불안에도 견고한 글로벌 공급망과 안정적인 납기, 기술 지원팀의 적극적인 협조와 신속한 대응을 강점으로 꼽았다.  테트라다인 경영 및 품질관리 담당 한승혜 이사는 “테트라다인은 디지털 전환이 빠르게 일어나고 있는 조선해양기자재 업계에서 차별화된 경쟁력과 우위를 확보하는 것을 목표로 삼고 있다"며 "델 테크놀로지스와의 긴밀한 협업을 통해 '델 옵티플렉스 XE'시리즈 외에도 워크스테이션, 서버, 스토리지 등으로 테트라다인의 선박용 시스템 솔루션 라인업을 다양화할 계획"이라고 말했다. 김경진 한국 델 테크놀로지스 총괄사장은 “테트라다인과 함께 조선해양기자재 업계의 디지털 전환에 지속적으로 기여하길 기대한다"며 "향후에도 고성능 산업용 제품과 신속한 지원 서비스를 통해 테트라다인이 혁신을 이어 나갈 수 있도록 협력해 나갈 것”이라고 밝혔다. solidkjy@fnnews.com 구자윤 기자

【파이낸셜뉴스 춘천=김기섭 기자】 강원자치도가 반도체 교육센터와 반도체 소모품실증센터, 반도체 신뢰성검증센터, 의료 AI반도체센터 등 반도체 테스트베드 3+1 사업에 선정, 1500억원 규모의 반도체 원스톱 인프라를 구축할 수 있게 됐다. 김진태 강원자치도지사가 3일 기자간담회를 통해 "강원자치도가 국비 총 1500억원이 투입되는 반도체 테스트베드 3+1 사업에 확정, 강원권 K-반도체 클러스터가 본격 시작된다"고 밝혔다. 반도체 테스트베드 3+1 사업이란 제조장비용 부품을 검증하는 반도체 소모품 실증센터, 설계와 칩, 완제품 전주기를 검증하는 반도체 신뢰성 검증센터, AI반도체를 설계하는 의료 AI 반도체 센터 등 3개 센터에 전문인력을 양성하는 반도체 교육센터를 합한 사업을 말한다. 강원자치도는 지난해 국비 200억원이 지원되는 반도체 교육센터를 유치한데 이어 올해 나머지 3개 센터를 모두 유치, 총 1500억원이 투입되는 반도체 원스톱 인프라를 구축할 수 있게 됐다. 김 지사는 “원주 반도체 클러스터 조성은 반도체 공장 유치를 위한 과정”이라며 “반도체와 관련된 도지사 공약은 원주 반도체 클러스터 조성과 반도체 공장 유치로 두 가지인데, 원주 반도체 클러스터 조성은 인력양성, 테스트베드 구축, 나아가 공장유치까지 포괄하는 더 큰 개념으로 접근해야 한다”고 설명했다. 이어 “지난 2년간 도에서는 원주 반도체 산업 추진을 위해 국비 사업 4가지를 추진, 모두 유치하는데 성공했고 총 1500억원을 투입해 강원권 K-반도체 클러스터 구축을 본격적으로 시작할 수 있게 됐다"고 말했다. 김 지사는 또 “20여 년 전 강원 연고 기업이 충북 음성에 반도체공장을 이전했다는 것을 비춰보면 도내에 산업 생태계가 전무했다는 것을 의미한다"며 "원주 반도체 클러스터 조성으로 반도체 산업 생태계를 착실하게 마련해 나가겠다"고 밝혔다. kees26@fnnews.com 김기섭 기자

【파이낸셜뉴스 춘천=김기섭 기자】 강원특별자치도가 서울에서 수도권 기업들을 대상으로 기업 투자유치 설명회를 개최했다. 19일 강원특별자치도에 따르면 이날 서울 강원특별자치도민회관 대회의실에서 수도권 기업들을 대상으로 2023년 강원특별자치도 기업 투자유치설명회를 열고 강원특별자치도 투자환경과 투자지원제도를 소개하는 한편 우수기업 사례 발표와 1대 1 맞춤형 투자상담을 진행했다. 이번 설명회에는 김진태 강원특별자치도지사, 육동한 춘천시장, 원강수 원주시장, 김홍규 강릉시장, 여문원 미코세라믹스 대표이사, 김석순 비알팜 대표이사, 정도영 에이앤티파마 대표이사 등 100여 명이 참석했다. 도는 이날 반도체 장비용 부품 전문기업인 미코세라믹스, 의료기 및 화장품 생산기업인 비알팜, 보톡스 제조기업인 에이엔티파마와 총 1137억원 투자, 130명 신규 고용 협약을 체결했다. 강릉과학산업단지에 위치한 미코세라믹스는 반도체 장비용 세라믹 소재 부품을 생산하는 전문기업으로 제3공장 부지 옆에 제4공장을 신설하고 655억원 투자와 50명 신규고용을 계획하고 있다. 원주의 비알팜은 송어 정소에서 추출한 원료의약품을 갖고 4등급 의료기기와 화장품을 생산하는 기업으로, 빠른 성장세와 함께 원주 제2공장을 신설하고 288억 원 투자와 50명을 신규 고용할 계획이다. 경기도 하남에서 춘천 남춘천산업단지로 이전하는 에이앤티파마는 보툴리눔 톡신 제품을 개발하는 회사로 중국 수출용 보톡스 대량생산을 위해 194억원을 투입해 본사를 이전하고 공장을 신설, 30명의 신규 인원을 고용하기로 했다. 한편 도는 이번 투자협약으로 15개 기업 2861억 원을 유치하면서 올해 투자유치 목표인 2150억 원을 초과 달성했다. 남진우 강원특별자치도 산업국장은“이번 투자유치설명회를 통해 기업들이 강원특별자치도에서 성공 투자 가능성을 확인하시길 바란다"며 "도에서도 기업하기 좋은 환경 조성과 투자인센티브도 적극 지원해 나갈 계획”이라고 말했다. kees26@fnnews.com 김기섭 기자

[파이낸셜뉴스] 그린리소스가 상장 첫날 공모가 대비 3배 이상 급등하며 성공적으로 증시에 입성했다. 같은 날 상장한 한선엔지니어링도 '따블'을 기록했다. 24일 한국거래소에 따르면 그린리소스는 공모가(1만7000원) 대비 207.65% 상승한 5만2300원에 거래를 마쳤다. 이달 상장한 새내기주 중 상장 당일 주가 상승률 1위다. 공모가 대비 약 73% 상승한 29500원에 장을 시작한 그린리소스는 오후 들어 상승폭을 꾸준히 키웠다. 상장 첫날 그린리소스의 거래량과 거래대금은 각각 3428만주. 1조3359억5300만원이다. 지난 2011년 설립된 그린리소스는 초고밀도 특수코팅 전문기업이다. 주요 제품으로는 내식성 및 내플라즈마 코팅 소재, 초고밀도 특수코팅, 초전도선재 제조장비 등이 있다. 앞서 그린리소스는 수요예측에서 753.19대 1의 경쟁률을 기록하며 공모 희망 범위 상단을 초과한 1만7000원에 공모가를 확정했다. 일반청약 경쟁률은 590대 1로 증거금 약 2조563억원이 몰렸다. 같은 날 증시에 입성한 한선엔지니어링도 강세를 보였다. 이날 한선엔지니어링은 공모가(7000원) 대비 161.86% 오른 1만8330원에 거래를 마쳤다. 한선엔지니어링의 상장 첫날 거래량은 3546만주다. 거래대금은 6476억3600만원을 기록했다. 한선엔지니어링은 유체, 기체의 흐름과 속도 등을 제어하는 계측장비용 피팅, 밸브, 모듈화 전문 기업이다. 에너지, 조선, 반도체 등 다양한 산업에 제품을 공급하고 있다. 앞서 한선엔지니어링은 기관 투자자 수요예측에서 709.54대 1의 경쟁률을 기록하며 공모가를 희망 공모 범위(5200원~6000원) 상단을 초과하는 7000원에 확정했다. 일반 청약 경쟁률에서도 1141.25대 1을 기록하며 흥행에 성공했다. 증권가에서는 그린리소스와 한선엔지니어링에 대해 견조한 실적 성장이 예상된다고 내다봤다. 그린리소스의 오는 2024년 예상 영업이익률은 27.4%로 올해 영업이익률(20.6%) 대비 약 7%가량 늘어날 것으로 전망된다. 박종선 유진투자증권 연구원은 “그린리소스의 경우 초고밀도 코팅의 매출 비중 확대와 초전도선재 이온빔보조증착(IBAD) 장비 납품으로 내년도 실적이 크게 성장할 것으로 예상된다”며 “한선엔지니어링은 국내 유일 8대 선급 인증 획득을 기반으로 글로벌 주요 프로젝트에 참여해 중장기적 성장을 지속할 것으로 전망된다”고 말했다. hippo@fnnews.com 김찬미 기자

[파이낸셜뉴스] 고성능 피팅, 밸브 및 모듈 제조기업 한선엔지니어링이 공모가를 7000원으로 확정했다고 10일 밝혔다. 한선엔지니어링은 지난 2일부터 8일까지 기관 투자가를 대상으로 수요예측을 실시한 결과, 709.54대 1의 경쟁률을 기록해 공모가 희망밴드(5200~6000원)를 초과한 7000원으로 공모가를 확정했다고 공시했다. 이번 수요예측에는 국내외 1966개 기관이 참여했으며, 참여 기관 중 99.03%가 공모가 상단 초과를 제시했다. 확정된 공모가격에 따라 한선엔지니어링의 전체 공모금액은 297억5000만원으로 상장 후 시가총액은 약 1190억원 규모가 된다. 한선엔지니어링은 지난 2012년 설립됐다. 주요 사업으로 유체 및 기체의 흐름과 속도 등을 제어하는 계측장비용 피팅과 밸브를 제조하는 사업을 영위하고 있으며, 지난해 매출액은 410억원, 영업이익은 72억원을 기록했다. 신성장 동력으로 수소, 2차전지 에너지저장장치(ESS), 반도체 사업 등을 추진 중이다. 이제훈 한선엔지니어링 대표이사는 "한선엔지니어링은 장기 성장의 기틀을 마련하기 위해 미래 성장동력이 될 수소, 2차전지 산업에서 경쟁력을 갖추기 위한 기술력을 고도화하겠다"고 말했다. 한선엔지니어링은 상장을 통해 조달한 자금을 △기존 공장 부지 매입자금 상환 △신사업 분야 생산설비(CAPA) 증설 △연구인력 확보 등에 투자할 계획이다. 이 회사는 오는 13~14일 일반청약을 거쳐 이달 24일 코스닥 시장에 상장할 예정이다. 상장 주관회사는 대신증권이다. dschoi@fnnews.com 최두선 기자

파운드리(반도체 위탁생산) 분야 절대강자인 대만 TSMC가 글로벌 극자외선(EUV) 포토마스크 제조장비 독점 업체 지분을 취득하면서 향후 2나노 초미세공정 기술 경쟁에 불을 지폈다. 삼성전자는 초미세공정의 핵심인 EUV 노광장비 독점기업인 네덜란드 ASML의 차세대 장비 확보에 공을 들이는 등 반도체 제조사들과 '슈퍼 을'의 합종연횡이 치열해 지고 있다. ■TSMC, 포토마스크 독점업체 지분 참여13일 업계와 외신에 따르면 TSMC는 최근 임시이사회를 열고 인텔이 소유한 오스트리아 극자외선(EUV) 노광장비 포토마스크 제조장비 업체인 IMS의 지분 10% 취득을 의결했다. 또, 영국 반도체 설계 기업인 ARM의 기업공개(IPO)시 공모가를 기준으로 최대 1억달러(약 1328억원) 내 투자도 결정했다. TSMC의 ARM 투자는 파트너사와의 협력관계를 고려한 전략적 판단으로 풀이된다. 삼성전자, TSMC, 인텔, 애플, 퀄컴, 엔비디아 등 글로벌 빅테크들이 ARM의 설계 자산(IP)을 활용하고 있다. 업계에서는 TSMC의 IMS 지분 취득은 '깜짝 발표'라는 반응이 나오고 있다. IMS는 EUV 노광장비용 포토마스크 제조장비 시장의 98%를 점유하고 있다. 인텔은 2009년 지분투자에 이어 2016년 IMS를 인수했다. 지난 6월 인텔은 IMS 사업 지분 약 20%를 사모펀드인 베인캐피탈에 매각했다. 포토마스크는 반도체 회로 설계가 그려진 부품으로 빛이 포토마스크를 통과하면서 웨이퍼에 새길 패턴이 만드는 부품이다. IMS가 생산하는 '멀티 빔 마스크 라이터(writer)'는 얇은 회로를 더 정확하고 빠른 속도로 포토마스크를 제작할 수 있어 반도체 업계의 패러다임을 바꿨다는 분석도 있다. 업계에서는 IMS의 장비 없이는 ASML의 EUV 노광장비도 무용지물이라는 평가까지 나온다. 반도체 업계 관계자는 "ASML의 차세대 노광장비인 ''하이 뉴메리컬어퍼처(하이NA) EUV'를 염두한 결정으로 보인다"면서 "7나노 이하 초미세공정에서 노광장비의 중요성이 커지면서 TSMC도 기존 기술협력에서 더 나아간 것"으로 해석했다. ■삼성, ASML 동맹 견고TSMC를 추격 중인 삼성전자는 2012년 차세대 노광기 개발 협력을 위해 ASML 지분 3.0%를 약 7000억원에 매입한 바 있다. 2016년 투자비 회수 차원에서 ASML 보유 지분 절반을 매각했으며, 올해 한 차례 더 매각을 진행해 2·4분기 말 기준 0.7%의 지분만 보유하고 있다. 업계에서는 삼성전자가 ASML의 지분을 줄였지만 양사의 협력관계는 견고한 것으로 보고 있다. 미래 파운드리 경쟁 분야인 2나노 이하 초미세 공정 반도체 구현에 필요한 기술 사양을 갖춘 것으로 알려진 차세대 EUV 노광장비인 하이NA가 연내 시제품 출시 및 내년 본격 공급될 예정이라 삼성전자가 물량 확보에 공을 들이는 것으로 알려졌다. SK하이닉스, TSMC, 인텔도 ASML의 차세대 노광장비 확보전에 뛰어들 전망이다. 업계 관계자는 "초미세 공정을 위해서는 EUV 노광장비에 대한 의존도가 높은 상황"이라면서 "삼성을 비롯한 반도체 공룡들의 ASML 장비 확보전은 이전보다 더 치열해질 전망"이라고 내다봤다. 한편, 최근 2나노를 두고 반도체 업체간 경쟁이 격화되고 있다. TSMC는 지난 6월 2나노 제품의 시범 생산을 위한 준비작업에 들어갔다고 밝히며 선두 지키기에 나선 가운데, 삼성전자는 TSMC보다 먼저 개발한 게이트올어라운드(GAA) 공정으로 역전극에 나서겠다는 계획이다. 양사 외에도 인텔과 라피더스가 2나노전에 참전하면서 초미세공정 경쟁이 격화될 예정이다. rejune1112@fnnews.com 김준석 기자

【파이낸셜뉴스 원주=김기섭 기자】 수도권과 인접한 원주시에 올들어 7개 기업이 타 지역에서 이전하거나 신규 공장을 증설하기로 협약을 맺는 등 기업도시로의 입지를 다지고 있다. 13일 강원특별자치도와 원주시에 따르면 자동차 필터 시스템 전문기업인 세원이 원주에 자동차 선루프 제조공장 증설하기로 하고 오는 14일 투자 협약식을 갖는다. 세원은 기존 원주 태장농공단지 1공장 대지 내 2170㎡ 부지에 내년까지 55억원을 투자해 자동차용 선루프 제조 공장을 증설하고 21명의 인력을 신규 채용할 계획이다. 1986년 설립, 1995년 원주로 본사를 이전한 세원은 태장농공단지에 1공장을 두고 있고 20여 년간 자동차와 중장비용 에어·오일·연료·에어컨 필터링시스템, 리저버 등을 생산해 오고 있다. 앞서 지난달에는 충북 청주시 오창과학산업단지에 본사를 둔 반도체 공정장비용 소재부품을 생산하는 지큐엘이 반도체 공정용 부품의 수요 증가를 대비하고 안정적인 국내 공급망을 확보하기 위해 원주 공장을 신설하기로 했다. 지큐엘은 원주 문막농공단지 부지에 건축과 설비 등 470억원을 투자해 내년 3월까지 2900여 평 규모의 실리콘 잉곳 제조 공장을 준공할 계획이다. 지난 5월에는 임플란트 전문기업인 네오바이오텍이 원주 기업도시로 이전, 신사옥 준공식을 가졌으며 450억원을 투자해 기업도시 4만7720㎡에 연면적 1만4612㎡ 규모의 공장을 건립하기로 했다. 이에 따른 고용 창출효고하는 250여명에 이를 것으로 예상됐다. 유가공 전문 향토기업인 데어리젠도 지난 7월 150억원을 들여 문막반계산업단지 1만6409㎡, 연면적 4929㎡ 규모로 치즈 전문공장 건립하기로 했으며 내년 5월 준공될 예정이다. 원강수 원주시장은 "지역경기가 살아나려면 지역에 일자리가 많아야 하고 그러려면 기업유치를 해야 하고 지역내 향토기업이 신규 투자할 수 있는 기반을 조성해야 한다"며 "올해 들어서도 타 지역 기업들의 원주 이전이 이어지고 있고 향토기업들의 신규 투자도 계속되고 있는 만큼 일자리도 계속 늘어날 것"이라고 말했다. kees26@fnnews.com 김기섭 기자