에너지기술연구원, 새 촉매 개발
아산화질소를 질소 산소로 99% 분해
500시간 이상 사용해도 성능 유지
[파이낸셜뉴스] 한국에너지기술연구원 수소융복합소재연구실 이신근 박사팀이 반도체나 디스플레이 생산 공정에서 배출되는 온실가스를 깨끗한 공기로 바꾸는 촉매를 개발했다.
반도체와 디스플레이 생산 공정에서 사용되는 아산화질소는 지구온난화지수가 이산화탄소 대비 300배 이상이며, 대기 중에 머무는 기간이 약 120년으로 강력한 온실가스다.
28일 에너지기술연구원에 따르면, 이 촉매는 1~20%의 다양한 농도에서도 아산화질소를 99% 이상 분해한다. 또, 500시간 이상의 운전에도 촉매의 성능이 떨어지지 않는다.
연구진은 "이 촉매를 실제 공정에 적용하기 위해 촉매 분해 시스템 업체와의 협력을 추진하고 있으며, 올 하반기부터 상용화 단계에 진입할 것으로 예상된다"고 말했다.
반도체 증착에 사용되는 아산화질소는 연소, 플라즈마, 촉매분해 방식을 통해 분해된다. 하지만 연소 방식은 분해 과정에서 온실가스인 이산화탄소, 질소산화물이 발생하며, 플라즈마를 이용한 분해 방식에서도 질소산화물이 생성되고 전력소모가 많다는 문제가 있다.
반면, 촉매 분해 방식은 낮은 온도에서도 대량의 배출가스를 분해할 수 있고 질소산화물을 생성하지 않아 가장 친환경적인 분해 방식으로 평가받고 있다. 현재 질산 제조 공정 등에 활용되고 있으나, 반도체 제조 공정에는 최대 15%에 달하는 고농도의 아산화질소를 분해할 수 있는 기술이 필요해 아직까지 적용되지 않았다.
연구진은 현재 분해 촉매로 사용되고 있는 고가의 루테늄보다 매우 저렴하며 우수한 산화환원반응을 가진 구리를 촉매로 적용했다. 지지체의 표면을 따라 얇고 고르게 분산된 구리는 아산화질소 분해 반응을 일으키는 표면적을 극대화하는 역할을 한다. 이를 통해 표면에 흡착된 아산화질소는 질소와 산소로 빠르게 전환돼 질소산화물로 화합되는 것을 방지한다.
촉매의 내부에는 열과 힘에 강하면서도 제조공정이 매우 간단한 알루미나 지지체를 적용해 양산화 가능성을 높였다. 지지체는 가래떡을 뽑아내는 형태의 간단한 압출 공정을 통해 제조된다. 표면에는 구리 촉매가 얇게 퍼질 수 있도록 분무 형태의 스프레이 코팅법을 적용했다. 이처럼 간단한 공정을 통해 실험실 규모임에도 하루 30㎏ 이상의 촉매 제조를 가능케 했다.
이신근 박사는 "이 촉매는 간단한 제조공정으로 대량생산이 가능해 상용화 가능성이 높다"며, "반도체, 디스플레이뿐만 아니라 암모니아 연소 등 다양한 분야에 적용 가능한 유망한 기술로 국가 온실가스 저감 목표에 기여할 수 있다"고 말했다.
monarch@fnnews.com 김만기 기자
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