[파이낸셜뉴스]  하나증권은 1일 예스티에 대해 차세대 반도체 장비 실적이 올해부터 반영 돼 고성장의 원년이 될 것이라며 주목해야 한다고 진단했다. 다만 투자의견과 목표주가는 제시하지 않았다. 최재호 연구원은 "최근 반도체 미세 공정 변화에 따라 진화된 장비에 대한 수요와 중요도가 높아지고 있는 상황인데, 동사는신규 차세대 반도체 장비의 핵심 장비를 다수 보유하고 있어 올해부터 높은 성장이 예상된다“라며 ”실제 차세대 습도 제어 장비 NEOCON과 HBM향 장비 매출만으로 연간 매출액 수준을 넘어설 전망이어서 올해 실적은 작년대비 최소 2배 이상의 매출액 및 신규 장비들의 높은 수익성을 감안해 OPM은 10% 이상을 달성할 것으로 전망한다”라고 밝혔다. 이어 “핵심적인 관전 포인트이자 밸류에이션 리레이팅 요소는 고압 어닐링 장비”라며 “현재 독점 체제로 이뤄져 있는 상황에서 이원화 시 보수적으로 M/S 20%만 확보해도 영업이익 기준 200억원 이상이 추가된다”라며 “결론적으로 이원화 결정 시 경쟁사의 24F P/E 46배인 점을 감안하면 동사는 현재 매우 저평가 되어있는 상태”라고 덧붙였다. 최근 반도체 기업들의 HBM(High Bandwidth Memory) 투자가 집중적으로 이뤄지고 있는 상황에서 동사는 HBM 제조 공정에 사용되는 장비 3종(웨이퍼 가압, 칠러, 퍼니스 장비)을 보유하고 있어 직접적인 수혜를 받고 있는 상황이다. 하나증권에 따르면 장비 3종의 2023년 연간 수주 규모는 약 400억원 규모로 파악되며, 이 중 웨이퍼 가압 장비는 패키징 공정 중 언더필 공정에 사용하는 장비로 작년 10월부터 12월까지 약 273억원 규모의 공급 계약을 체결했다. 최 연구원은 “올해 6~7월 납품완료될 것으로 예상되는데, 포케스팅 물량을 감안했을 때 올해 하반기에는 추가적으로 약 200억원 이상의 공급 계약을 체결할 것으로 전망한다”라며 “EDS 공정에 사용되는 칠러, 퍼니스 장비는 작년 약 80억원의 수주를 달성한 것으로 파악되며, 이 역시 올해 추가적인 수주가 나와줄 가능성이 높다”라고 언급했다. 하나증권은 칠러 장비, 퍼니스 장비의 추가 수주가 나와주지 않아도 연간 HBM향 장비 매출로만 별도 기준 연간 매출액 수준인 600억원 이상을 기록할 전망이라고 봤다. 특히 국내에서 독점 중인 ‘고압 어닐링 장비’ 양산을 준비 완료해 이원화시 폭발적인 시너지가 기대된다고 전망했다. 최 연구원은 “예스티의 가장 큰 모멘텀은 ‘고압 어닐링 장비’다. 고압 어닐링 장비는 반도체 산화 공정에서 발생하는 웨이퍼 Si 표면 결함을 고압의 수소 및 중수소로 치환시켜 전기적 특성을 개선하는 장비로 현재 국내 경쟁사가 독점하고 있는 상황”이라며 “이원화의 가능성을 주목해야 한다”라고 강조했다. 그러면서 “예스티는 2019년부터 개발을 시작해 2021년 개발을 완료했으며, 2022~2023년 약 2년간 S社, H社 의 평가를 진행했다”라며 “S社는 2023년 메모리 공정의 양산 퀄테스트가 완료되었으며, 현재 파운드리까지 테스트를 진행 중인 것으로 파악된다. H社 역시 2023년 NAND의 산화 공정의 파이 널 테스트가 완료된 것으로 파악된다”라며 “오랜 업력 기반으로 축적된 정밀 온도, 압력 제어 기술력과 고객사와의 네트워크를 통해 경쟁사 대비 개선된 성능과 낮은 납품 단가를 책정하고 있어 고객사 입장에서 채택 여지가 크다고 판단한다”라고 덧붙였다. kakim@fnnews.com 김경아 기자

[파이낸셜뉴스] 예스티가 지난해 고대역폭메모리(HBM) 장비를 중심으로 역대 최대 반도체 장비 수주성과를 올리며 본원사업이 흑자전환했다. 고압 어닐링 기술 고도화에도 성공해 반도체 장비부문의 사업 확대가 가속화될 전망이다. 예스티는 어닐링 공정에서 반도체 웨이퍼의 생산성을 60% 향상시킬 수 있는 핵심기술 개발에 성공했다고 26일 밝혔다. 예스티는 뛰어난 고온·고압 열처리 기술을 기반으로 반도체 어닐링 장비의 성능 고도화뿐 아니라 기술적 진입장벽을 구축해 나가고 있다. 예스티의 신기술을 적용한 고압 어닐링 장비를 사용할 경우, 어닐링 공정에서 반도체 웨이퍼를 한 번에 125매까지 처리할 수 있다. 기존 장비는 회당 최대 75매 처리가 가능했다. 이번 기술개발로 어닐링 공정이 도입된 반도체 제조 과정에서 웨이퍼의 생산성이 획기적으로 증가할 것으로 기대된다. 현재 도입을 검토 중인 글로벌 반도체 기업들이 해당 기술에 상당한 관심을 보이고 있다. 예스티는 기존에 진행해 온 고압 어닐링 장비에 대한 상용화 테스트뿐 아니라 반도체 생산성을 대폭 향상시킬 수 있는 이번 신기술을 적용한 고압 어닐링 장비도 양산할 계획이다. 지난해부터 한양대, 포항공대와 국책과제로 진행 중인 차세대 고압 어닐링 장비 개발 또한 순조롭게 진행되고 있다. 예스티는 고압 어닐링 장비에 적용 가능한 추가 응용기술 발굴에도 연구개발 역량을 집중할 예정이다. 자체 연구개발을 비롯해 국내외 유명 연구기관들과 협력을 통해 고압 어닐링 장비 성능을 지속적으로 고도화해 나가겠다는 게 회사 측의 설명이다. 예스티 관계자는 “이번에 개발한 고압 어닐링 장비의 성능 및 생산성 향상 기술을 활용하면 큰 폭의 비용절감 효과가 예상되기 때문에 글로벌 반도체 기업들의 수요가 클 것으로 기대하고 있다”며 “고도화된 차세대 고압 어닐링 장비들을 중심으로 매출을 지속적으로 확대해 나갈 것”이라고 말했다. 고압 어닐링 장비는 반도체 미세화 공정에서 신뢰성을 향상시키는 데 사용되는 장비다. 예스티는 자체 기술을 기반으로 고압 어닐링 장비 개발을 완료했으며, 상용화를 위한 고객사 평가를 진행 중이다. dschoi@fnnews.com 최두선 기자

[파이낸셜뉴스]  한양증권은 8일 반도체 및 디스플레이 열처리 장비 전문 기업 예스티에 대해 신규 반도체 장비들의 퍼포먼스가 기대되며, 이를 통해 새로운 변화를 맞이할 것으로 전망된다고 분석했다. 이준석 연구원은 “높은 수준의 열원 기술과 압력 제어 기술을 바탕으로 기존 장비로는 캐쉬 카우 역할을 함과 동시에 신규 포트폴리오를 바탕으로 실적 체질 개선을 목표로 하고 있다”며 “예스티의 투자 포인트는 신규 제품 라인업”이라고 밝혔다. 그러면서 “예스티의 신규 장비로는 고압 어닐링 장비, NEOCON 장비, PCO 장비가 있다”며 “신규 라인업인 NEOCON 장비와 PCO 장비는 이미 매출이 발생하고 있으며, 고압 어닐링 장비까지 테스트가 완료되어 납품까지 이루어진다면 예스티는 새로운 변화를 맞이할 것”이라고 부연했다. 한양증권은 고압 어닐링 장비를 실적에 가장 큰 핵심 장비로 꼽았다. 이 연구원운 “어닐링 공정은 웨이퍼 표면의 결함을 고압의 수소 및 중수소로 치환하여 반도체의 신뢰성을 향상시키는 공정”이라며 “예스티의 장비는 현재 베타 테스트를 진행 중으로, 오랜 업력으로 고객사와 충분한 네트워크를 쌓아왔기 때문에 테스트 통과가 관건이 될 것”이라고 말했다. 또한 NEOCON 장비에 대해서는 “네오콘 장비는 모듈 부착식으로 신규 라인 증설이 필요하지 않다”며 “작년 10월 해당 장비 개발을 완료하여 4Q22 국내 글로벌 반도체 제조 기업으로부터 50대의 수주를 받아 4Q22에 납품이 완료했다”고 언급했다. 특히 원가 절감 효과가 크기 때문에 향후 다양한 고객사로부터 수주가 확대될 것으로 전망된다고 봤다. 이 연구원은 “신규 장비 중 작년 4분기부터 매출이 발생한 NEOCON 장비를 필두로 올해는 흑자전환을 기대한다”며 “고성능 패키지 기판(FC-BGA) 시장 규모는 작년 80억 달러에서 2030년에는 164억 달러까지 CAGR 9.4%로 상승할 것이라 전망되고, 고압 어닐링 장비 및 NEOCON 장비와 함께 신규 포트폴리오의 한 축을 담당할 것”이라고 덧붙였다. kakim@fnnews.com 김경아 기자

[파이낸셜뉴스] 코스닥 반도체 장비 전문기업 예스티는 기존 전환사채(CB)의 매도청구권(콜옵션) 행사로 취득한 100억원 규모의 주식 90만6289주를 전량 소각했다고 1일 밝혔다. 이번 소각으로 예스티는 주주가치를 제고하는 한편 부채 감소를 통해 재무구조를 개선할 전망이다. 뿐만 아니라 예스티는 고압 어닐링 장비 개발에 박차를 가해 회사의 성장을 가속화할 방침이다. 예스티는 지난 4월 산업통상자원부 주관 '반도체 구조결함 개선용 중수소 고압 어닐링 장비 개발' 정부과제에 경쟁사와 경합을 통해 단독으로 선정됐다. 해당 과제는 국내 유명 반도체 회사가 수요기업으로 참여하고 있으며, 수요기업과 협의해 차세대 고압 어닐링 장비의 실질 설계를 진행 중이다. 예스티는 이번 국책과제를 통해 공정 적용도와 생산성이 높은 장비를 개발할 계획이다. 예스티는 기존에 자체 개발 중인 고압 어닐링 장비도 알파테스트에서 고객들이 요구하는 성능을 충족하는 성공적인 결과를 확인했다. 현재 베타호기에 대한 공정 적용 전 자체검증을 완료했으며, 올해 하반기에는 고객사에 반입돼 실질적인 공정평가가 이뤄질 예정이다. 예스티 관계자는 “자체 개발 중인 고압 어닐링 장비는 핵심 설비를 국산화했을 뿐 아니라 기존 장비 대비 공정 확장성이 우수하다”라며 “생산성, 가격경쟁력 면에서도 기존 장비와 비교해 뛰어나며 고효율 히터 기술을 도입, 반도체 생산 과정에서 탄소 배출을 감소시킬 수 있다”고 말했다. 그는 이어 “고압 어닐링 장비를 조속히 상용화해 회사의 성장을 극대화하겠다”며 “이와 함께 고도화된 고압 어닐링 장비 개발 국책과제도 성실히 수행해 글로벌 최고의 반도체 장비회사로 도약할 것”이라고 강조했다. 고압 어닐링 장비는 고압의 수소 및 중수소를 이용해 반도체 표면의 결함을 제거하는 어닐링 공정에 사용되는 장비다. 반도체 생산 공정의 효율성을 높이는 핵심 장비로 알려져 있으며 예스티는 열압 제어 기술을 기반으로 2021년부터 고압 어닐링 장비를 개발해 왔다. dschoi@fnnews.com 최두선 기자

【 평택(경기)=최두선 기자】 "이번 국책과제에 선정된 가장 큰 이유는 고압 기술력의 차이다. 경쟁사보다 설비, 생산능력 모두 앞선 상황에서 이익 개선에 주력하겠다." 장동복 예스티 대표이사(사진)는 18일 파이낸셜뉴스와 인터뷰에서 이 같이 밝히고, "4년 과제를 막 시작했지만 설계는 60% 이상 마친 상황"이라고 말했다. 이어 "진공과 가압 기술력이 합쳐진 고도화된 어닐링 장비를 개발해 빠른 상용화에 나설 것"이라고 강조했다. 예스티는 최근 경쟁사와의 경합을 통해 국책과제인 '차세대 고압 어닐링 장비' 개발기업으로 단독 선정됐다. 예스티는 기존 기술력을 기반으로 실질적인 설계 단계에 돌입했다. 이번 국책과제는 상용화를 전제로 개발을 추진한다. 예스티는 수요기업이 제시한 장비의 성능과 사양을 최대한 반영해 설계를 진행할 계획이다. 포스텍, 한양대 연구진도 주요 기술진으로 참여한다. 장 대표는 "국책과제 선정에 의심은 없었지만 선정이 안 되더라도 자체 개발에 나설 예정이었다"고 설명했다. 그는 "국책과제 이외에 올해 하반기를 목표로 한 고압 어닐링 장비는 이미 웨이퍼 평가를 시작했다"며 "자동화라인에 바로 연결할 수 있는 완성품으로 매출이 먼저 발생할 것"이라고 덧붙였다. 장 대표는 고압 어닐링 장비가 현재 반도체 장비업계에서 가장 핫한 아이템이라고 전했다. 그는 "고압 어닐링 장비는 예스티의 미래가치"라며 "테스트가 끝나면 내년 6월까지 수주 매출이 이뤄질 것"이라고 자신했다. 예스티는 고압 어닐링 장비 외에도 차세대 습도제어 장비 네오콘에서 초도물량 50대를 수주했다. 향후 공정 확대가 진행되면 100대 이상의 수주를 기대하고 있다. 지난해에는 구조조정의 일환으로 자회사를 매각해 약 120억원 규모의 자사주를 매입하기도 했다. 현재 기존 전환사채(CB)에 부여된 100억원의 매도청구권(콜옵션)을 행사했으며, 콜옵션 행사로 취득한 주식 전량도 소각할 계획이다. 장 대표는 "지난 2~3년 동안 실적이 안 좋았다"며 "시장에서 경쟁 요소가 사라진 아이템들을 정리했다. 고압 어닐링과 네오콘 등에 집중한 덕분에 영업이익 개선을 기대하고 있다"고 강조했다. dschoi@fnnews.com 최두선 기자

【 평택(경기)=최두선 기자】 "이번 국책과제에 선정된 가장 큰 이유는 고압 기술력의 차이다. 경쟁사보다 설비, 생산능력 모두 앞선 상황에서 이익 개선에 주력하겠다."  장동복 예스티 대표이사( 사진)는 18일 파이낸셜뉴스와 인터뷰에서 이 같이 밝히고, "4년 과제를 막 시작했지만 설계는 60% 이상 마친 상황"이라고 말했다. 이어 "진공과 가압 기술력이 합쳐진 고도화된 어닐링 장비를 개발해 빠른 상용화에 나설 것"이라고 강조했다.  예스티는 최근 경쟁사와의 경합을 통해 국책과제인 '차세대 고압 어닐링 장비' 개발기업으로 단독 선정됐다. 예스티는 기존 기술력을 기반으로 실질적인 설계 단계에 돌입했다.  이번 국책과제는 상용화를 전제로 개발을 추진한다. 예스티는 수요기업이 제시한 장비의 성능과 사양을 최대한 반영해 설계를 진행할 계획이다. 포스텍, 한양대 연구진도 주요 기술진으로 참여한다.  장 대표는 "국책과제 선정에 의심은 없었지만 선정이 안 되더라도 자체 개발에 나설 예정이었다"고 설명했다. 그는 "국책과제 이외에 올해 하반기를 목표로 한 고압 어닐링 장비는 이미 웨이퍼 평가를 시작했다"며 "자동화라인에 바로 연결할 수 있는 완성품으로 매출이 먼저 발생할 것"이라고 덧붙였다.  장 대표는 고압 어닐링 장비가 현재 반도체 장비업계에서 가장 핫한 아이템이라고 전했다. 그는 "고압 어닐링 장비는 예스티의 미래가치"라며 "테스트가 끝나면 내년 6월까지 수주 매출이 이뤄질 것"이라고 자신했다.  예스티는 고압 어닐링 장비 외에도 차세대 습도제어 장비 네오콘에서 초도물량 50대를 수주했다. 향후 공정 확대가 진행되면 100대 이상의 수주를 기대하고 있다. 지난해에는 구조조정의 일환으로 자회사를 매각해 약 120억원 규모의 자사주를 매입하기도 했다. 현재 기존 전환사채(CB)에 부여된 100억원의 매도청구권(콜옵션)을 행사했으며, 콜옵션 행사로 취득한 주식 전량도 소각할 계획이다.  장 대표는 "지난 2~3년 동안 실적이 안 좋았다"며 "시장에서 경쟁 요소가 사라진 아이템들을 정리했다. 고압 어닐링과 네오콘 등에 집중한 덕분에 영업이익 개선을 기대하고 있다"고 강조했다. dschoi@fnnews.com 최두선 기자

[파이낸셜뉴스] 코스닥 반도체 장비 전문기업 예스티가 차세대 고압 어닐링 장비 개발 국책과제와 관련해 실질 개발 설계 단계에 돌입한다. 8일 예스티에 따르면 이 회사는 최근 경쟁사와의 경합을 통해 단독 선정된 국책 과제인 차세대 고압 어닐링 장비의 상용화를 전제로 장비 설계에 착수했다. 이번 설계 단계에는 향후 장비를 사용할 수요 기업들도 참여할 예정이다. 수요기업이 제시한 장비의 성능과 사양을 최대한 반영해 설계를 진행하고, 이를 통해 개발 속도와 장비의 공정 활용도를 높이겠다는 것이 회사 측의 설명이다. 예스티 관계자는 “차세대 고압 어닐링 장비 개발 및 신속한 상용화를 위해 수요기업과 긴밀한 소통을 통해 요구사항을 최대한 반영할 계획”이라며 “수요기업의 구매를 전제로 한 국책과제인 만큼 성공적인 과제 수행 시, 공정적용과 확산에는 문제가 없을 것으로 본다”라고 말했다. 그는 이어 “국책과제와는 별도로 자체 개발 중인 고압 어닐링 장비 개발도 공정단계 검증절차를 거쳐 신속하게 상용화할 수 있도록 관련 테스트에 박차를 가할 계획”이라고 덧붙였다. 앞서 예스티는 기존 어닐링 장비 생산기업과 경쟁해 고도화된 고압 어닐링 장비 개발 국책과제에 최종 선정된 바 있다. 해당 국책과제의 연구개발비는 70억원에 달하며, 설계 이후 △양산 장비 제작 △장비 반입 후 공정평가 △최종 평가 후 구매협약 진행 순으로 진행될 예정이다. 고압 어닐링 장비는 고압 수소 및 중수소를 통해 반도체 표면의 결함을 제거하는 어닐링 공정에 사용되는 반도체 수율 향상을 위한 핵심 장비다. 예스티는 열압 제어 기술을 기반으로 지난 2021년부터 고압 어닐링 장비를 개발해 왔다. 최근 자체 개발한 고압 어닐링 장비의 알파 테스트를 성공적으로 마치고 공정 적용을 위한 베타 테스트를 앞두고 있다. dschoi@fnnews.com 최두선 기자

[파이낸셜뉴스] 최근 정부가 반도체 기술 초격차를 목표로 관련 연구개발 지원에 나선 가운데, 예스티가 국책과제를 통해 차세대 고압 어닐링 장비 개발에 착수한다. 27일 예스티에 따르면 이번 국책과제는 정부가 총 30개 사업에 286억원의 예산을 투입해 진행하는 대규모 연구개발 사업이다. 예스티는 이미 상용화에 성공해 제품을 판매 중인 경쟁사와 경합한 결과, 70억원의 연구개발비 지원 사업 주체로 단독 선정됐다. 예스티 관계자는 "산업통상자원부가 주관하는 ‘차세대 지능형반도체 기술개발 사업(반도체 제조공정 장비)’에 선정돼 반도체 구조 결함 개선용 중수소 고압 어닐링 장비 개발을 추진한다"고 말했다. 예스티는 고압 어닐링 장비와 관련해 알파 테스트를 성공적으로 마치고 공정평가를 위한 베타 테스트를 준비 중이다. 이번 국책과제 선정으로 생산성 및 공정 성능 측면에서 더욱 고도화된 고압 어닐링 장비를 선제적으로 개발할 계획이다. 기존에 개발 중인 예스티의 고압 어닐링 장비는 자체 보유한 설계 기술을 기반으로 150~900℃ 사이의 온도와 1~30기압까지의 공정 적용이 가능하다고 알려졌다. 차세대 고압 어닐링 장비에 대한 예스티의 개발 목표는 현재 개발 중인 베타기 대비 약 50% 증가한 웨이퍼 처리량과 공정 확대성이다. 예스티는 차세대 고압 어닐링 장비에도 자체 챔버 기술을 적용할 예정으로 이를 통해 장비의 효율성을 극대화할 방침이다. 현재 경쟁사가 판매 중인 고압 어닐링 장비는 수입 제품이 적용돼 가격 및 관리 측면에서 고객 부담이 크다는 게 특징이다. 예스티의 장비는 자체 기술을 사용하는 만큼, 가격 경쟁력을 비롯해 세정 및 장비 셋업 시간을 크게 단축할 수 있어 이번 국책 과제 선정에서도 평가위원들로부터 높은 평가를 받았다. 회사 관계자는 “생산성 및 공정 성능이 향상된 차세대 고압 어닐링 장비에 대한 수요 증가가 예상되며 정부 측면에서 이를 해결하고자 국책 과제를 시행하게 됐다”고 말했다. 이어 “현재 자체 개발 중인 고압 어닐링 장비가 경쟁사 대비 생산성이 뛰어나면서도 가격 경쟁력까지 확보했다는 점에서 우수한 점수를 얻어 차세대 고압 어닐링 장비를 개발하는 이번 과제에 선정됐다”고 말했다. 아울러 이 관계자는 “이번 국책과제로 어닐링 장비를 고도화하는 한편, 이와 별도로 고압 어닐링 장비에 대한 베타 테스트도 빠른 시일 내에 완료해 연내 장비 공급을 진행하는 게 목표”라고 덧붙였다. 예스티는 이번 과제수행과 함께 상용화를 추진 중인 고압 어닐링 장비 개발도 가속화할 계획이다. 고압 어닐링 장비 알파 테스트에서는 고객사인 국내 주요 반도체 업체가 요구하는 성능 수준 이상의 장비 성능을 검증받았다. 기존 고객사 외에도 또 다른 글로벌 반도체 기업과 어닐링 장비에 대한 공급 논의를 진행 중이다. 고압 어닐링 장비는 반도체 미세화 공정에서 수율 향상을 위한 필수 장비로 주목받고 있다. 시장 규모는 약 6700억원으로 추정된다. dschoi@fnnews.com 최두선 기자

[파이낸셜뉴스] 반도체 장비 전문기업 예스티는 신성장 동력 핵심 아이템인 고압 어닐링 베타 장비 개발을 본격화한다고 2일 밝혔다. 베타 테스트는 실제 반도체 제조공정 적용을 위한 것으로 테스트가 성공적으로 진행될 경우 실제 공정 적용을 거쳐 상용화로 이어질 전망이다. 예스티는 국내 굴지의 글로벌 반도체 기업과 고압 어닐링 장비 상용화를 위한 알파 테스트를 진행 중에 있다. 베타 테스트는 알파 테스트 결과를 기반으로 기존 장비의 문제점을 개선하고 신뢰성을 높이기 위해 장비를 업그레이드한 후 현장평가를 진행하는 방식으로 진행될 예정이다. 예스티 관계자는 “고객사와 긴밀한 협업을 통해 고압 어닐링 알파 장비의 평가가 순조롭게 진행되고 있다”라며 “알파 테스트를 통해 확보된 데이터를 기반으로 실제 공정에 적용할 베타 장비의 제작도 완료할 것”이라고 말했다. 그는 이어 “본격적인 장비 공급은 내년부터 이뤄질 것으로 예상하고 있으며 고압 어닐링 장비를 글로벌 반도체 생산라인에 반입해 공정 적용 테스트가 마무리되면 바로 장비 공급으로 이어질 것”이라며 “고압 어닐링 장비 상용화가 이뤄지면 반도체 사업부문 매출과 수익성이 큰 폭으로 개선될 것”이라고 강조했다. 고압 어닐링 장비는 반도체 산화공정에서 발생한 계면 결함을 고압 수소, 중수소로 치환하는 어닐링 공정에 적용되는 장비다. 최근 글로벌 반도체 기업들이 생산량 및 전력효율 향상 측면에서 공정 미세화에 대규모 투자를 진행하고 있어 미세화 공정에서도 적용이 가능한 고압 어닐링 장비의 필요성이 증가하고 있다. 예스티는 자체 열제어 기술과 고압기술을 기반으로 지난해부터 반도체 핵심제조 공정장비 중 하나인 고압 어닐링 장비를 개발해 왔다. 예스티의 고압 어닐링 장비는 최대 30기압의 고압 처리를 통해 중수소 농도 100%를 유지할 수 있는 것은 물론 반도체 계면에 중수소 침투율 극대화가 가능한 것이 특징이다. 한편, 예스티의 최대주주 장동복 대표이사와 특수관계자들은 적극적으로 자사주 매입에 나서고 있어 신사업에 대한 기대감을 높이고 있다. 올해 4월부터 8월까지 최대주주와 회사 주요 관계자들이 취득한 자사주 규모는 119만주로 100억 원이 넘는 규모의 지분취득이 이뤄졌다. dschoi@fnnews.com 최두선 기자

[파이낸셜뉴스] 반도체 장비 전문기업 예스티가 국내 굴지의 글로벌 반도체 기업과 상용화를 전제로 테스트를 진행 중이라고 11일 밝혔다. 이 회사는 자체 기술로 고압어닐링 장비를 개발 중이다.  고압어닐링 장비는 반도체 제조 핵심 공정장비로 최근 시장에서 관련 기술에 대한 관심이 높다. 현재 테스트를 진행 중인 장비는 ‘알파’ 장비다. 예스티는 올해 말까지 장비 신뢰도 높여 상용화를 본격화할 예정이다.  예스티의 고압 어닐링 장비는 300~800℃ 온도 범위에서 고압(최대 30기압)을 가해 100% 농도의 중수소 어닐링 공정 등에 적용할 수 있다. 기존 어닐링 공정은 600~1100℃의 온도를 요구할뿐 아니라 중수소 침투율의 한계로 산화막 계면 결함 개선 효율이 떨어진다. 반면, 예스티의 어닐링 장비는 고압으로 반도체 계면에 중수소 침투율을 향상시켜 어닐링 효과를 극대화할 수 있다.  어닐링 공정은 반도체 제조 핵심 공정 중 하나로 반도체 실리콘 옥사이드(Si) 표면의 결함을 고압의 수소·중수소로 치환해 제품의 신뢰성을 향상시킨다. 어닐링 공정을 마치면 반도체의 구동 전류 및 집적회로 성능이 높아진다. 삼성과 SK하이닉스뿐 아니라 해외 주요 반도체 기업들도 정보처리 속도 향상과 수율 개선을 위해 어닐링 공정 설비에 대한 투자를 확대하고 있는 추세다. 고압 어닐링 공정을 통한 반도체 수율 향상이 핵심 경쟁력으로 부각되면서 고압 어닐링 장비의 수요가 큰 폭으로 증가하고 있다.  최근 상장된 고압어닐링 장비 기술을 보유한 HPSP(에이치피에스피)가 시장에서 높은 밸류를 받고 있을 정도로 어닐링 장비에 대한 시장의 관심 또한 높은 상황이다.  지금까지 어닐링 장비는 주로 해외에서 핵심 부품을 수입해 제작됐다. 따라서 예스티가 개발 중인 장비의 상용화가 이뤄질 경우 가격 경쟁력뿐 아니라 핵심 부품 국산화로 인한 장비 공급에 소요되는 리드타임을 단축할 수 있다는 장점이 있다는 게 회사 측 설명이다.  예스티 관계자는 “지난 2년간 고압 어닐링 장비 개발에 주력해온 결과 자체 기술로 알파 장비를 개발, 테스트를 진행하고 있다”라며 “알파 테스트를 기반으로 장비를 개선해 ‘베타’ 테스트까지 진행하면 상용화가 가능할 것으로 본다”고 말했다.  그는 이어 “회사 전반적으로 기존 캐시카우 사업인 반도체 후공정과 디스플레이 장비부문은 공급 아이템을 확대하는 한편, 고압어닐링 장비 상용화를 기점으로 수익성이 좋은 반도체 전공정 분야로 사업을 확대해 나갈 계획”이라고 덧붙였다.  예스티는 최근 고압어닐링 장비의 압력 챔버 등에 관한 기술을 기반으로 중수소 리액터 장치를 국내 최초로 개발하는 데 성공해 관련 핵심 기술을 특허 출원한 바 있다. dschoi@fnnews.com 최두선 기자