[파이낸셜뉴스]산업통상자원부는 오는 19일부터 수소불화탄소(HFC) 감축을 위한 '오존층 보호 등을 위한 특정물질의 관리에 관한 법'이 시행된다고 18일 밝혔다. 오존층 보호법은 '키갈리 개정서'에 따른 것으로 지구온난화물질인 HFC류에 대한 국내 소비량 감축을 목적으로 하고 있다. 법 시행 이후 산업부는 내년부터 2045년까지 기존 사용량의 80%를 감축할 계획이다. 산업부는 기업들과 간담회 등을 갖고, 감축 방안을 마련할 예정이다. 올해 제2종 특정물질(HFCs)을 제조·수입·판매하고 있는 자는 오는 6월19일까지 제조업 허가, 2023년도 제조수량·수입 허가 및 판매 계획 승인 등을 받아야 한다. 한편 '키갈리 개정서'는 2016년 10월 열린 몬트리올 의정서 당사국 총회에서 기존 오존층파괴물질 외에 강력한 지구온난화물질인 수소불화탄소(HFC)까지 감축하기 위해 채택됐다. 개정서에는 미국, 유럽, 일본 등 전세계 137개국에서 참여했다. HFC는 수소염화불화탄소(HCFC)의 대체물질로 사용됐으나 지구 온난화에 미치는 영향이 크다는 점이 발견돼 규제 필요성이 제기돼왔다. leeyb@fnnews.com 이유범 기자

[파이낸셜뉴스]반도체와 철강, 냉매 제조에서 필수소재로 쓰이는 불화수소의 핵심원료 형석 가격이 10년 만에 천장을 뚫었다는 소식에 램테크놀러지가 강세다. 램테크놀러지는 초고순도 불화수소 정제 기술 특허를 보유하고 있다. 12일 오전 10시 13분 현재 램테크놀러지는 전 거래일 대비 600원(9.93%) 오른 6420원에 거래 중이다. 11일 증권시보 등 중국 매체에 따르면 형석 가격은 전통적 냉매업계의 수요 호조와 신에너지산업 발전으로 t당 3000위안을 돌파했다. 일부 업체는 3200~3300위안까지 올렸다. 이달 8일 기준 푸젠강미광업과 저장우이선룽은 t당 각 50위안, 장시더안실업은 100위안, 장시헝퉁광업은 150위안을 각각 상향 조정했다. 형석 가격은 지난 10년 동안 크게 움직이지 않았다. 니켈, 코발트, 리튬 등 신에너지 주요 자원과 달리 형석은 전통산업이 주요 수요처다. 냉각제 산업에 전체의 50%를 공급하고 나머지는 반도체와 제강 등에 투입된다. 하지만 글로벌 경기침체와 중국 내 부동산 경기 악화, 코로나19로 인한 수출차질이 타격을 줬다. 플루오린화 칼슘으로 이뤄진 형석은 반도체와 냉매, 제강 등 제조공정에서 반드시 필요한 불화수소의 기본원료다. 형석에 황산을 반응시켜 물이 없는 불화수소 기체인 무수불산을 만들고 이를 다시 정제해 고순도 불화수소를 생산한다. 불화수소는 반도체·제강 공정에서 불순물을 제거하기 위해 없어서는 안 되는 소재이다. 무수불산은 냉매의 원재료다. 앞서 2019년 일본이 대한국 수출규제의 무기로 사용했던 품목 중 하나가 고순도 불화수소다. 형석 가격 상승은 갈수록 엄격해지는 환경보호 조치로 광산기업 가동률이 하락한 데다 겨울철 휴업 업체까지 증가한 것이 1차적 영향으로 풀이된다. 중국 정부는 2016년부터 형석을 전략광물로 지정, 생산을 통제해왔다. 3·4분기 들어 형석으로 만드는 불화수소 생산량이 대폭 늘었다. 중국 원자재 시장 조사업체 바이인포 데이터를 보면 불화수소 생산량은 7월 30일~8월 5일 3만1000t에서 9월 24일~30일 3만8000t까지 증가했다. 한국은 일본과 수출마찰 이후 불화수소 국산화에 성공했지만 원재료 대부분은 멕시코와 중국에 여전히 의존하고 있다. 현대제철은 지난해 9월 삼성전자와 함께 반도체 제조과정에서 나온 폐수슬러지(침전물)로 형석 대체물을 만들었다고 발표했다. 그러나 아직 활용 목표치는 연간 수입량(2만t)의 절반 수준에 불과하다. 한편 램테크놀러지의 8월 12일 반기보고서에 따르면 이 회사는 2020년 기존 불화수소 정제 효율 및 양산성 향상을 위한 정제 기술을 개발했다. 2021년에는 불화수소 정제 특허 1건 등록, 중기부 기술혁신 개발사업 협약을 체결했다. kmk@fnnews.com 김민기 기자

【 베이징=정지우 특파원】 반도체와 철강, 냉매 제조에서 필수소재로 쓰이는 불화수소의 핵심원료 형석 가격이 10년 만에 천장을 뚫었다. 이달 들어 관련업체들도 잇따라 가격인상 행렬에 동참하는 추세다. 형석을 전량 수입해 쓰는 한국도 영향이 불가피할 전망이다. 11일 증권시보 등 중국 매체에 따르면 형석 가격은 전통적 냉매업계의 수요 호조와 신에너지산업 발전으로 t당 3000위안을 돌파했다. 일부 업체는 3200~3300위안까지 올렸다. 이달 8일 기준 푸젠강미광업과 저장우이선룽은 t당 각 50위안, 장시더안실업은 100위안, 장시헝퉁광업은 150위안을 각각 상향 조정했다. 중국 최대 형석업체 진시자원은 증권시보에 "형석 가격은 확실히 상승 추세다. 일부에서는 t당 3300위안까지 받고 있다"고 전했다. 형석 가격은 지난 10년 동안 크게 움직이지 않았다. 니켈, 코발트, 리튬 등 신에너지 주요 자원과 달리 형석은 전통산업이 주요 수요처다. 냉각제 산업에 전체의 50%를 공급하고 나머지는 반도체와 제강 등에 투입된다. 하지만 글로벌 경기침체와 중국 내 부동산 경기 악화, 코로나19로 인한 수출차질이 타격을 줬다. 플루오린화 칼슘으로 이뤄진 형석은 반도체와 냉매, 제강 등 제조공정에서 반드시 필요한 불화수소의 기본원료다. 형석에 황산을 반응시켜 물이 없는 불화수소 기체인 무수불산을 만들고 이를 다시 정제해 고순도 불화수소를 생산한다. 불화수소는 반도체·제강 공정에서 불순물을 제거하기 위해 없어서는 안 되는 소재이다. 무수불산은 냉매의 원재료다. 앞서 2019년 일본이 대한국 수출규제의 무기로 사용했던 품목 중 하나가 고순도 불화수소다. 형석 가격 상승은 갈수록 엄격해지는 환경보호 조치로 광산기업 가동률이 하락한 데다 겨울철 휴업 업체까지 증가한 것이 1차적 영향으로 풀이된다. 중국 정부는 2016년부터 형석을 전략광물로 지정, 생산을 통제해왔다. 3·4분기 들어 형석으로 만드는 불화수소 생산량이 대폭 늘었다. 중국 원자재 시장 조사업체 바이인포 데이터를 보면 불화수소 생산량은 7월 30일~8월 5일 3만1000t에서 9월 24일~30일 3만8000t까지 증가했다. 증권시보는 "형석은 불화수소 외에도 신에너지, 신소재 등 전략적 신흥산업과 흑연 양극재, 태양광 패널, 인산리튬 등 국방, 군사 분야와도 떨어질 수 없다"고 설명했다. 형석 매장량이 가장 많은 국가(2021년 기준)는 멕시코다. 중국, 남아프리카공화국, 몽골 등이 뒤를 잇는다. 멕시코와 중국을 합치면 매장량이 1억1000만t으로 전 세계의 3분의 1을 차지한다. 한국은 일본과 수출마찰 이후 불화수소 국산화에 성공했지만 원재료 대부분은 멕시코와 중국에 여전히 의존하고 있다. 한국에도 형석광산이 있다. 다만 1980년대 이후 중국산 형석 유입으로 채산성이 악화돼 생산이 사실상 중단된 상태다. 현대제철은 지난해 9월 삼성전자와 함께 반도체 제조과정에서 나온 폐수슬러지(침전물)로 형석 대체물을 만들었다고 발표했다. 그러나 아직 활용 목표치는 연간 수입량(2만t)의 절반 수준에 불과하다. 중국 진시자원은 2021년 연례보고서에서 형석 수요는 오는 2025년까지 150만~200만t에 달하고 2030년엔 500만t을 넘어설 것으로 내다봤다. jjw@fnnews.com

[파이낸셜뉴스]오는 2024년부터 지구온난화물질인 수소불화탄소(HFC)류에 대한 국내 소비량 감축 규제가 시작된다. 정부는 이를 위해 내년 하반기까지 'HFC 감축계획안'을 확정하기로 했다. 산업통상자원부는 이런 내용을 담은 '오존층 보호를 위한 특정물질의 제조 규제 등에 관한 법률' 일부개정법률안이 11일 국무회의에서 의결됐다고 밝혔다. 이번 법률 개정은 공포 후 6개월이 지난 후 시행되며, 2024년부터 '키갈리 개정서'에 따라 HFC류에 대한 국내 소비량 신규 감축이 실시된다. 지난 2016년 아프리카 르완다 키갈리에서 열린 제28차 몬트리올 의정서 당사국총회에서는 오존층 파괴물질 외에 강력한 지구온난화 물질인 수소불화탄소(HFC)까지 감축하기 위한 '키갈리 개정서'가 채택됐다. 현재 미국, 유럽연합(EU), 일본 등 137개국이 개정서를 비준했다. 이번 법률 개정을 통해서는 특정물질의 정의에 HFC를 추가해 기존 오존층 파괴물질을 제1종, 수소불화탄소(HFCs)를 제2종으로 구분했다. 또한 특정물질을 제조할 때 부산물로 배출되는 HFC-23에 대한 '최대한 파괴 의무' 근거를 마련했다. HFC-23은 HFC 18종 중 지구온난화지수(GWP)가 가장 높은 물질이다. 특정물질 제조·수입 부담금 징수 대상이 확대됨에 따라 이를 정비하기 위해 부담금 산정에 필요한 세부 사항은 대통령령에 위임했다. 아울러 관련 법령 등에 따라 부담금의 가산금 요율 한도를 낮추고, 과태료 상한액을 현실화했다. 정부는 특정물질을 사용하는 업체가 규제에 선제적으로 대응하고, 대체 전환을 원활히 추진할 수 있도록 지원을 강화한다는 계획이다. 산업부는 내년 상반기에 최근 3년간의 국내 HFC 생산·소비량 산정, 분야별 협의회를 통한 업계 수요 분석과 의견 수렴 등에 나선다. 내년 하반기까지는 우리 업계에 적합한 'HFC 감축계획안'을 확정한다. 향후 관련 업계에 안내·홍보하며 규제 완화, 신규 지원 사업 발굴 등으로 업계 부담을 낮출 방안도 마련하기로 했다. leeyb@fnnews.com 이유범 기자

정부가 일본의 반도체 소재 수출규제 대안으로 러시아산 불화수소(에칭가스) 수입을 타진했지만 최종 불발된 것으로 뒤늦게 확인됐다. 정부의 안일한 대응이라는 평가 속에 최근 러시아의 우크라이나 침공으로 전화위복이 됐다는 분석도 있다. 27일 파이낸셜뉴스 취재 결과 지난 2019년 7월께 청와대는 러시아산 불화수소 수입을 적극 추진했지만 국내 반도체 업체의 실증테스트에서 모두 탈락, 결국 무산됐다. 반도체 업계 관계자는 "우리 정부 주도로 수개월간 러시아산 불화수소를 테스트했었다"며 "기존 일본산과 비교해 러시아산의 순도 등 품질이 현저하게 떨어졌고, 공정에 투입할 수 없는 것으로 결론났다"고 밝혔다. 이 일은 당시 러시아가 일본의 한국 수출규제 품목인 불화수소를 한국 기업에 공급할 수 있다고 한국 외교라인 측에 먼저 제안하면서 진행됐다. 러시아는 자신들의 불화수소가 일본산과 동등하거나 더 우위에 있다면서 대체재가 급했던 한국을 설득했다. 이후 정부는 국내 반도체업체를 불러 러시아산 불화수소 수입 가능성을 검토해보라고 전했다. 정부 회의에 참석한 업계 관계자들은 민감한 반도체 공정에 투입되는 소재를 갑자기 바꾸면 생산성 저하로 이어질 수 있다며 난색을 표했고, 6개월간 러시아산 불화수소에 대한 실증테스트를 해보기로 했다. 업계 관계자는 "정부는 '러시아가 기초과학이 우수하니 불화수소 품질도 좋을 수 있다'며 써보라고 권했다"며 "어쨌든 무산돼서 다행이다. 러·우크라 사태로 공급망 리스크가 커진 지금 생각해보면 아찔한 일"이라고 말했다. 국내 반도체 업계는 국산화에 주력했다. 솔브레인, SK머티리얼즈, 램테크놀로지, 이엔에프테크놀로지 등이 고순도 불화수소 국산화에 성공했고 빠른 속도로 품질을 끌어올렸다. km@fnnews.com 김경민 기자

[파이낸셜뉴스] 램테크놀러지가 지난 10월 초고순도 불화수소(HF) 생산기술을 개발 완료하고 특허를 취득했다. 이번에 렘테크놀러지가 개발한 초고순도 불화수소 생산기술은 기존방식과는 다르게 한번에 액체와 기체형태의 초고순도 불화수소를 동시에 생산이 가능한 것이 특징이다. 또한 기존의 방식은 형석을 가지고 증류법, 전기 분해법, 흡착법, 그리고 막분리법 등의 다양한 정제 공정을 통해야했지만 이런 전처리과정이 생략된다. 이 불화수소는 불소 화합물 중에서 가장 보편적으로 생산되고 있으며 무수 형태인 불화수소 및 초순수가 포함된 수용액 상태인 불산 상태로 공급된다. 공업용 불산과 같은 저순도 불산은 공업 용도로서 사용되고 있으며 반도체와 디스플레이의 식각 및 세정 용도에서는 초고순도의 불산이 필요하다. 반도체 제조 공정용 불산에 불순물이 존재하게 되면 식각 및 세정 시 웨이퍼에 잔류해 패턴형성 결함 발생의 원인이 되어 반도체 생산 수율을 저하시킨다. kim091@fnnews.com 김영권 기자

[파이낸셜뉴스] "세계 최고 수준의 측정표준·측정과학기술 역량과 인프라로 국산 장비 성능검증, 측정연구장비 개발, 맞춤형 인재양성까지 전주기 지원하고 있으며, 앞으로도 대한민국 소부장 경쟁력 강화에 도움이 되겠다." 박현민 한국표준과학연구원(KRISS) 원장이 13일 소재부품장비 연구성과 기자간담회를 개최하고 지난 2년간 성과와 향후 계획을 발표했다. 표준과학연구원은 외국산에 독점화된 반도체 장비와 관련해 센서가 내장된 '지능형 식각공정 장비' 개발을 추진키로 했다. 또한 불화수소 이외의 반도체용 가스의 품질평가를 진행해 국내 가스 소재 생산업체들의 품질향상에 기여할 예정이다. 이와함께 소부장 산업에 중요한 연구장비를 국산화하고 전문인력 양성에 주력키로 했다. 표준과학연구원은 세계 최고의 '측정표준' 기술로 우리나라 기업체들이 개발한 기술에 확신을 심어주고 있다. 여기에 원천기술 개발과 불화수소를 포함한 반도체용 가스소재 국산화, 연구장비 인력양성까지 소부장 전반을 아우르고 있다. 또한 1999년부터 반도체·디스플레이 산업의 60% 이상 공정에서 사용되는 진공 장비측정 평가시스템을 마련해 산업체 수요를 파악하고 관련 문제를 해결해 왔다. 실제로 표준과학연구원 반도체측정장비팀은 2019년 일본의 수출규제 사건 이후 외국산 장비와 국산 장비의 성능 비교 등을 진행해 국산 장비의 성능이 뛰어남을 증명하고, 국산 장비 사용을 장려했다. 지난 5월에는 플라즈마 변수를 직접 측정할 수 있는 밀도측정 기술을 세계최초로 개발했다. 이 기술은 웨이퍼 공정결과에 영향을 주는 플라즈마 밀도값 및 균일도를 실시간으로 측정할 수 있으며, 측정불확도 2% 이내로 세계 최고다. 이와함께 표준과학연구원의 가스분석표준그룹은 불화수소를 포함한 반도체용 가스의 소재 국산화에 기여했다. 생산 능력은 갖췄지만, 제품의 품질 검증 문제가 걸림돌이었던 국내 기업에 시의적절하게 애로사항을 해결해줬다. 현재 SK머티리얼즈는 표준과학연구원과 기술협력을 통해 세정용 특수가스 삼불화질소와 육불화텅스텐가 세계 1위, 모노실란이 세계 2위 시장 점유율을 기록하고 있다. 뿐만아니라 표준과학연구원이 자체 개발한 장비를 설치해 시연할 수 있도록 지원하는 개방형 연구실인 13일 '오픈 이노베이션랩'을 새롭게 개소했다. 오픈 이노베이션을 통해 다양한 분야 장비 개발자들의 소통 공간으로 활용돼 융합연구 촉진과 실험실 개발장비의 상용화에 기여할 전망이다. 이외에도 이공계 졸업자 10명을 선발해 지난 3월부터 연구장비 SW개발 교육을 실시하고 있다. 올해 하반기부터는 연구장비 기업 재직자를 대상으로 SW개발 역량강화를 위한 교육을 진행할 예정이다.   monarch@fnnews.com 김만기 기자

[파이낸셜뉴스]  일본 수출규제 2년만에 3대 품목 중 불화수소 대일 수입액이 6분의 1 수준으로 급락했다. 소부장 100대 핵심품목 대일의존도가 크게 감소했고, 소부장 연구개발(R&D) 사업화로 매출 3306억원, 투자 4451억원 등을 달성했다. 시가총액 1조원 이상 소부장 중소·중견기업도 기존 13개에서 2021년 31개로 2.4배 가량 늘었다. 산업통상자원부는 1일 일본 수출규제 2년만에 '소재부품장비 경쟁력 강화 2년 성과'를 발표하고 글로벌 소부장 강국 도약에 나선다고 밝혔다. 2019년 7월 이후 일본 3대 수출규제 품목 중 불화수소는 대일 수입액이 6분의 1 수준으로 감소했다. 불화수소 수입액은 2019년 1~5월 2840만달러에서 2021년 1~5월 460만달러로 83.6% 줄었다. 불화폴리이미드는 대체소재(UTG)를 채택해 대일 수입이 사실상 0으로 전환됐다. 불화폴리이미드는 대체소재(UTG)를 채택해 대일 수입이 사실상 0으로 전환돼 일본 의존에서 탈피했다. EUV레지스트는 대부분 일본산을 수입했는데, 2년만에 대일 의존도가 50% 이하로 감소했다. 대신 벨기에산 수입을 12배 늘리는 등 수입 다변화를 이뤘다. 100대 핵심품목 대일 의존도(HS코드 기준)는 2019년 1~5월 31.4%에서 2021년 1~5월 24.9%로 약 6.5%포인트 감소했다.  소부장 산업 전체 대일의존도도 16.8%에서 15.9%로 0.9%포인트 하락했다. 중국 수입비중도 3.1%포인트 감소해 공급망 다변화에 진전이 있었다. 아울러 소부장 수요-공급기업이 함께한 정부 R&D 과제사업에서 2020년말까지 매출 3306억원, 투자 4451억원, 고용 3291명, 특허출원 1280건의 성과를 달성했다. 공공연구소와 대학도 소부장 기업을 적극 지원했다. 37개 공공연구기관이 보유한 2만6000대의 장비와 1만1000명의 인력을 활용해 소부장 기업 기술애로를 지원했다. 용접, 열처리 등 주요 제조기술을 보유한 12개 대학은 '대학 소부장 자문단'을 구성해 기업 생산성 향상을 집중 지원했다. 2019년에서 2021년 시가총액 1조원 이상 소부장 중소·중견기업은 기존 13개에서 31개로 크게 증가했다. 소부장 으뜸기업은 시가총액이 101.8%, 소부장 강소기업은 124.9% 상승해 같은기간 상장기업 전체 평균(63.1%)에 비해 큰 폭으로 시장가치가 올랐다. 이같은 성장은 소부장 수요-공급 협력모델에서 태동된 '연대와 협력 생태계' 조성 성과에 따른 것이다. 수요 대기업은 생산라인을 소부장 기업에 개방해 신규 기술을 검증받게 했다. 수요기업 설비개방은 2018년 0건에서 2020년 74건으로 급증했다. 2019년 7월 이후 국내 소부장 기업 개발기술에 최소 239건의 직·간접 매출발생과 수요기업 인증 119건이 발생했다. 문승욱 산업부 장관은 “지난 2년간 우리 소부장 생태계의 혁신적 변화로 소부장 중소·중견 기업이 크게 성장하는 계기가 됐다"며 "우리 소부장 산업이 국내를 넘어 세계로 진출하는 토대가 됐다"고 강조했다.  lkbms@fnnews.com 임광복 기자

[파이낸셜뉴스] 한국표준과학연구원(KRISS)이 일본 수출규제에 대응해 반도체용 불화수소 국산화 지원에 나섰다. KRISS는 고순도 가스 소재에 대한 품질평가 설비를 완공하고 품질평가를 시작한다고 22일 밝혔다. 국내 기업을 대상으로 약 20종에 대해 시험검사 서비스를 진행할 예정이다. KRISS는 지난해 8월부터 설비 구축을 추진해 분석 장비비 8억원, 시설 구축비 7억원 등 긴급 자체 예산 15억원을 사용해 실험실을 완공했다. KRISS는 이를 통해 반도체용 고순도 가스에 대한 신뢰성 있는 시험 결과를 제공할 수 있게 됐다. 국내 반도체용 가스 소재 개발업체와 반도체 제조사 등 관련 산업 전반의 경쟁력 향상이 기대된다. 불화수소는 반도체 원판인 웨이퍼의 세정과 식각공정에 사용된다. 반도체의 제조 수율을 높이기 위해서는 고순도의 불화수소가 필요하다. 고순도 불화수소는 쇼와덴코, 모리타, 스텔라 케미파 등 일본업체에서 세계시장을 독점하고 있다. 국내 고순도 불화수소의 순도 검증법은 업체별로 달라서 표준화돼 있지 않다. KRISS에서 이번에 국산 불화수소의 품질평가 실험실을 마련해 이를 해결할 수 있게 됐다. 사용되는 측정기술과 표준물질은 KRISS가 자체 개발했다. KRISS 가스분석표준그룹은 세계 각국의 측정능력을 비교하는 국제비교에서 세계 최고 수준을 기록하고 있다. 또한, 표준가스 제조시설을 미국, 영국, 대만의 표준기관에 공급하는 등 기술력을 인정받고 있다. 불화수소의 품질평가는 불순물을 측정해 순도를 결정하는 방법으로 진행된다. 실린더에 들어 있는 액체상태의 불화수소를 기체화해 가스의 조성을 분석한다. 기체 크로마토그래프(Gas Chromatograph)와 푸리에변환 적외선분석기(FTIR)를 이용해 10여 종의 기체상 불순물을 분석하고, 유도결합 플라스마 질량분석기(ICP-MS)로 20여 종의 금속성분 불순물을 분석해 최종 순도를 결정한다. 개발업체는 KRISS의 분석결과를 자사 제품과 비교해 부족한 점을 개선할 수 있다. KRISS는 이와 관련한 표준 시험절차서 개발을 2021년 상반기에 완료하고, 20여 종의 가스 소재에 대한 분석법 개발을 연차적으로 진행할 예정이다. 더불어, 국내 업체들과 협의체를 구성해 숙련도 시험을 개최하는 등 국내 가스 소재 업체의 기술 자립화 지원에 힘쓸 전망이다. 박현민 원장은 "KRISS가 가진 세계 최고 수준의 측정기술을 바탕으로 관련 산업의 국가 경쟁력 향상에 이바지하겠다"고 말했다. 한편, 이번 시험서비스는 KRISS 표준성과한마당에서 신청할 수 있다. monarch@fnnews.com 김만기 기자

[파이낸셜뉴스]신한금융투자는 18일 SK머티리얼즈에 대해 불화수소 국산화, 하드마스크 개발 등의 성장 스토리를 쓰고 있다며 투자의견 ‘매수’를 유지하고, 목표주가를 기존 22만원에서 25만원으로 올렸다. 소현철 신한금융투자 연구원은 “SK머티리얼즈는 반도체용 초고순도(순도 99.999%) 불화수소(HF) 가스 양산을 시작했다”며 “초고순도 불화수소는 반도체 제조과정에서 회로의 패턴을 형성하는 웨이퍼의 식각(etching)과 세정(cleaning) 공정에 사용되는 가스로 반도체 미세공정의 핵심이다”고 설명했다. SK머티리얼즈는 경북 영주에 연간 15톤 규모의 생산시설을 통해서 본격적으로 양산하고 2023년까지 국산화율을 70%까지 올릴 예정이다. 올해 2월 금호석유화학의 포토레지스트 사업부를 인수했고, 내년 신규 생산시설을 준공해 2022년부터 연 5만갤런의 ArF 포토레지스트 생산을 목표로 하고 있다. 또 반도체 노광공정에 사용되는 하드마스크(SOC) 개발을 진행하고 있다. 소 연구원은 “2·4분기 반도체향 특수가스와 소재 부문 선전으로 영업이익은 전 분기 대비 4.6% 오른 555억원으로 컨센서스(552억원)에 부합하겠다”며 “3·4분기 신규 메모리 반도체 라인 Ramp-up 본격화, 애플향 OLED 패널 생산, 중국 OLED TV 라인 가동으로 영업이익이 654억원으로 전 분기 대비 17.8% 증가할 전망”이라고 진단했다. 올해 영업이익은 2463억원으로 전년 동기 대비 14.7% 증가할 것으로 예상했다. 소 연구원은 “2021년 영업이익은 전년 동기 대비 16.9% 증가한 2880억원으로 신규 사업 본격화가 성장을 견인하겠다”고 설명했다. fnljs@fnnews.com 이진석 기자