삼성전자가 극자외선(EUV) 공정을 적용한 업계 최선단(최소 선폭)의 14나노 D램을 양산한다고 12일 밝혔다. 5개의 레이어 공정을 적용한 최선단의 14나노 공정과 EUV 성숙도를 기반으로, 기술 초격차를 이어간다는 전략이다. 삼성전자는 지난해 3월 업계 최초로 EUV 공정을 적용한 D램 모듈을 고객사들에게 공급한 바 있다. 업계에서 유일하게 EUV 멀티레이어 공정을 적용해 최선단 14나노 D램을 구현하는 등 차별화된 공정 기술력을 선보이고 있다. 반도체 회로를 보다 세밀하게 구현할 수 있는 EUV 노광 기술을 적용해 D램의 성능과 수율을 향상시켜 14나노 이하 D램 미세 공정 경쟁에서 확고한 우위를 확보해 나갈 계획이다. 5개의 레이어에 EUV 공정이 적용된 삼성전자 14나노 D램은 업계 최고의 웨이퍼 집적도로 이전 세대 대비 생산성이 약 20% 향상됐다. 또 14나노 D램 제품의 소비전력은 이전 공정 대비 약 20% 개선됐다. 이번 신규 공정을 최신 DDR5(Double Data Rate 5) D램에 가장 먼저 적용한다. DDR5는 최고 7.2Gbps의 속도로 DDR4 대비 속도가 2배 이상 빠른 차세대 D램 규격이다. 최근 인공지능(AI), 머신러닝 등 데이터를 이용하는 방식이 고도화되면서 데이터센터, 슈퍼컴퓨터, 기업용 서버 시장의 고성능 DDR5에 대한 수요가 지속적으로 커지고 있다. 삼성전자는 고용량 데이터 시장 수요에 적극 대응하기 위해 이번 공정으로 단일 칩 최대 용량인 24Gb(기가비트) D램까지 양산할 계획이다. 이주영 삼성전자 메모리사업부 D램개발실장(전무)은 "고용량, 고성능 뿐 아니라 높은 생산성으로 5G·AI·메타버스 등 빅데이터 시대에 최고의 메모리 솔루션을 공급하겠다"고 강조했다. km@fnnews.com 김경민 기자

국내 3대 통신사 중 한곳인 KT의 황창규 회장은 삼성전자 반도체총괄 사장 시절 이른바 '황의 법칙'으로 유명했습니다. 황의 법칙은 반도체 메모리 용량이 1년마다 2배씩 증가한다는 이론입니다. 실제로, 그가 반도체 사업을 총괄하던 1999년 이후 삼성전자는 매년 메모리 용량을 2배 늘린 낸드플래시 반도체를 개발해 지금까지 세계 시장을 지배하고 있습니다. 이처럼 반도체 메모리 용량의 획기적인 발전은 바로 미세공정 기술력에 달려 있습니다. 반도체 미세공정은 반도체 칩 회로의 선폭을 줄여 더 작고 세밀하게 만드는 기술입니다. 즉, 반도체의 크기를 줄일수록 웨이퍼(모래에서 추출한 실리콘판)에서 더 많은 반도체를 생산할 수 있는 것이지요. 미세공정 기술이 발전할 수록 원가 감소와 생산성 증대 효과가 커져 반도체 제조사의 수익 개선에 결정적인 역할을 하게 됩니다. 앞서 이야기한 것처럼 한국이 세계 메모리 반도체 시장의 절대강자 지위를 유지하는 것도 바로 미세공정 기술력에서 타의추종을 불허하고 있기 때문입니다. 특히, D램 메모리 반도체 시장의 경우 작년 4.4분기 국산 점유율은 무려 74%(D램 익스체인지 조사)에 달합니다. 이는 D램 시장의 1~2위인 삼성전자와 SK하이닉스의 미세공정 기술이 미국, 대만 등 경쟁사들을 압도하기 때문입니다. 삼성전자는 2010년 세계 최초로 30나노미터(1나노미터는 머리카락 10만분의 1)급 D램을 양산하고, 2011년에는 20나노대(28나노) 시대를 열었습니다. 삼성전자는 2014년 3월에는 세계 최초로 20나노(2z) D램을 양산하며 반도체 실적이 고공행진중입니다. SK하이닉스도 작년 3.4분기 20나노 D램 생산에 들어가며 삼성전자와의 격차를 좁히고 있습니다. 10나노대 D램 시대도 한국 기업들의 몫입니다. 삼성전자가 이르면 올 상반기에 18나노 D램 양산을 선언한 상태입니다. 박성욱 SK하이닉스 사장도 최근 언론에 "내년 초 10나노대 D램을 양산하겠다"고 밝히면서 반도체 미세공정의 새 시대가 눈앞으로 다가왔습니다. cgapc@fnnews.com 최갑천 기자

광주과학기술원의 정건영 교수(오른쪽)와 연구팀이 클린룸에서 나노임프린트 공정으로 제작된 그래핀 나노링 패턴을 살펴보고 있다. 국내 연구진이 TV, 휴대폰, 컴퓨터의 필수부품인 반도체 소자에 적용 가능한 그래핀 나노링을 제작해 차세대 반도체 개발에 새로운 가능성을 열었다. 교육과학기술부는 광주과학기술원 정건영 교수 연구팀이 얇은 그래핀 위에 나노 임프린트 기술을 적용해 15나노미터(㎚) 이하 선폭의 그래핀 나노리본을 원형으로 연결한 '그래핀 나노링'을 제작, 넓은 면적에 배열하는데 성공했다고 7일 밝혔다. 이번 연구 결과는 재료과학 분야의 권위 있는 학술지인 '어드밴스드 머티리얼(Advanced Materials)'지 온라인판에 지난달 29일 게재됐다. 그래핀은 전도성과 투과성, 유연성이 뛰어나 태양전지나 발광다이오드(LED)의 투명전극 및 휘어지는 디스플레이 전극에 활용될 수 있는 신소재다. 그러나 최근까지 필요할 때 전류를 자유자재로 차단할 수 있는 전자 밴드갭이 없어 반도체 소자에 적용하는데 한계가 있었다. 따라서 대다수의 연구자들은 그래핀에 전자 밴드갭을 형성하기 위해 나노 수준의 매우 얇은 굵기를 가진 1차원 그래핀 선인 '그래핀 나노리본'을 만드는데 노력해왔다. 하지만 이번 연구에서 정 교수팀이 그래핀 나노링 제작과 배열에 성공하면서 넓은 면적에 다양한 형태의 그래핀 나노구조체를 제작·배열하는 것이 가능해졌다. 정건영 교수는 "이번 연구는 나노 크기의 모양과 선폭의 그래핀을 대면적으로 자유롭게 만들고 제어할 수 있는 가능성을 열었다는 점이 의미 있는 연구성과"라며 "미래 그래핀 기반 반도체와 센서 소자 개발에 단초를 열었다"고 말했다. jhpark@fnnews.com 박지현 기자

삼성SDI는 유기발광다이오드(OLED) 회로선폭을 기존 4 마이크로미터(㎛, 1000분의 1㎜)에서 2 마이크로미터로 대폭 줄인 ‘시스템 온패널(SoP) ’기술을 세계 최초로 개발했다고 23일 밝혔다. 또한 삼성SDI는 이 기술을 중대형 휴대폰용 2.5인치 능동형(AM) OLED 2.5인치에 적용, 상용화하는데도 성공했다. SoP는 CPU, 메모리, 반도체, 구동 회로 등 화면을 구동하는데 필요한 여러 가지 부품들을 한군데 모아 OLED 패널위에 집적시키는 최첨단 기술이다. SoP 기술을 휴대폰에 적용하면 별도의 구동회로와 회로 장착용 칩(Chip)이 없이 OLED 패널만 갖고도 디스플레이 구동이 가능하다. 삼성SDI 관계자는 “OLED 모듈 한 개당 4∼5달러 정도의 원가절감 효과와 함계 휴대폰을 보다 얇고 가볍게 만들 수 있을 것”이라며 “또한 SoP 기술을 통해 패널과 구동 회로를 한꺼번에 설계할 수 있어 OLED 출시에 소요되는 기간도 기존보다 5개월 정도 줄일 수 있다”고 설명했다. OLED는 패널에 흐르는 전류에 민감해 균일한 화질을 유지하기 위한 보상회로 기술이 필요하다. 하지만 회로선 폭을 미세화 하기 어려워 SoP 개발에 곤란을 겪고 있는데 상용화가 가능한 OLED에 적용한 것은 삼성SDI가 세계에서 처음이다. 삼성SDI는 2006년쯤부터는 모든 휴대폰용 OLED에 SoP 기술을 적용할 뿐만 아니라 회로선 폭 1마이크로미터(㎛)의 SoP 제품도 개발한다는 방침이다. 삼성SDI는 관련 기술개발을 위해 2002년 10월부터 20여명의 연구 인력과 약 38억원의 연구 개발비를 투입했다. 정부의 21세기 프론티어(Frontier) 연구개발 사업 중 차세대 정보 디스플레이 관련 국책 과제로 선정, 과학기술부로부터 일부 연구비를 지원받기도 했다. 삼성SDI 중앙연구소 OLED 개발담당 정호균 전무는 “독자적인 설계와 공정 기술로 LCD에만 적용됐던 SoP 기술을 OLED에 적용하는데 성공했다”며 “꾸준한 화질 향상과 원가절감형 제품 개발로 계속 치열해지는 OLED 시장에서 최고의 지위를 유지해 나갈 것”이라고 말했다. 한편 삼성SDI는 지난 2001년 세계 최초로 풀컬러 수동형(PM) OLED를 양산한 이후 현재 월 250만개의 생산능력을 갖추며 시장점유율 1위를 차지하고 있다. 지난해 5월에는 저온폴리실리콘(LTPS) 방식의 세계 최대인 17인치 능동형 OLED를 개발한 바 있다. / namu@fnnews.com 홍순재기자

교보증권 이선근 연구원은 29일 “LG화학이 석유화학 부문의 수요강세로 실적개선폭이 커질 전망”이라며 “목표주가를 9만7000원으로 상향조정한다”고 평가했다. 이 연구원은 특히 “2차전지의 경우 라인 가동율이 원활해져 수익성이 높아졌다”며 “올 2분기 영업이익도 시장기대치를 웃돌 것으로 보인다”고 설명했다. /godnsory@fnnews.com김대희기자

반도체 장비기업들이 반도체 경기가 호황에 진입하면서 3·4분기에 호실적을 낸 것으로 나타났다. 반도체 시장이 내년까지 상승 흐름을 이어갈 것으로 예상되면서 장비기업들이 올 4·4분기에도 긍정적인 실적을 내놓을 것으로 전망된다. 12일 관련 업계에 따르면 한미반도체가 주력 반도체 장비인 'TC본더'를 앞세워 올해 3·4분기에 분기 사상 최대 실적을 달성했다. 한미반도체는 이 기간 매출액 2085억원, 영업이익 993억원을 기록했다. 이익률은 무려 48%에 달했다. 올해 3·4분기 누적 실적 역시 매출액 4093억원, 영업이익 1834억원을 올리며 나란히 최대 실적을 갈아치웠다. 한미반도체 측은 올해 하반기 들어 국내외 시장에 TC본더 공급을 본격화하면서 기록적인 실적 달성이 가능했다고 설명했다. TC본더는 열을 이용해 반도체 칩을 위아래로 정밀하게 붙이는 기능을 하며, 최근 인공지능(AI) 반도체와 함께 수요가 크게 늘어나는 고대역폭메모리(HBM) 공정에 필수로 쓰인다. 한미반도체 관계자는 "SK하이닉스, 미국 마이크론 등에 TC본더를 납품하면서 현재 이 분야에서 전 세계 시장 점유율 1위 자리를 이어간다"며 "6세대 HBM4 제조를 위한 '마일드 하이브리드 본더'를 추가로 선보이는 등 앞선 기술력을 통해 실적 상승 흐름을 이어갈 것"이라고 말했다. 주성엔지니어링은 올해 3·4분기 실적을 집계한 결과 매출액이 전년 동기 861억원보다 71% 늘어난 1472억원이었다. 같은 기간 영업이익 역시 62억원에서 522억원으로 744% 증가했다. 이익률은 35%에 달했다. 올해 3·4분기 누적 매출액은 3011억원으로 이미 지난해 연간 실적 2847억원을 훌쩍 넘어섰다. 주성엔지니어링은 반도체 원판(웨이퍼) 위에 필요한 물질을 정밀하게 입히는 증착장비에 주력한다. 특히 원자층증착장비(ALD) 분야에서는 글로벌 경쟁력을 확보했다는 평가를 받았다. 주성엔지니어링은 원자층증착장비 등을 SK하이닉스에 활발히 납품한다. 반도체 증착장비에서 확보한 기술력을 유기발광다이오드(OLED), 태양광 등 다른 장비 분야로 확대하는 중이다. 주성엔지니어링 관계자는 "올해 2·4분기 이후 원자층증착장비 등 반도체 장비 수주와 함께 납품 물량이 꾸준히 늘어나면서 매 분기 실적 개선 흐름이 이어진다"며 "올해 4·4분기에도 긍정적인 실적 흐름이 예상된다"고 말했다. 파크시스템스 역시 호실적을 내놨다. 파크시스템스는 올해 3·4분기 매출액과 영업이익이 각각 전년 동기보다 28%, 60% 늘어난 414억원, 87억원이었다. 누적 매출액과 영업이익 역시 전년 동기보다 각각 12%, 24% 증가한 1117억원, 220억원이었다. 파크시스템스는 사물을 나노미터(㎚, 10억분의 1m) 단위로 정밀하게 측정할 수 있는 원자현미경 사업에 주력한다. 광학현미경과 전자현미경 배율은 각각 수천배와 수십만배인데 반해, 원자현미경은 수천만배에 달한다. 특히 원자현미경은 반도체 회로선폭이 ㎚ 단위로 미세화하면서 국내외 유수 반도체 기업들 사이에서 반도체 검사를 위해 도입이 활발히 이뤄지는 추세다. 이런 이유로 파크시스템스는 지난해 반도체 경기 침체에도 불구하고 매출액 1453억원을 기록, 사상 최대 실적을 갈아 치우기도 했다. 이렇듯 반도체 장비기업들이 올해 3·4분기 기록적인 실적을 낸 것은 최근 반도체 시장이 호황에 진입하고 이에 따라 전방산업 대기업들이 설비 투자를 늘리고 있기 때문으로 풀이된다. 실제로 시장조사기관 SEMI는 올해 세계 반도체 장비 시장이 전년 1063억달러(148조9369만원) 보다 2.5% 증가한 1090억달러(152조6981만원)로 예상했다. 특히 내년에는 올해보다 17.4% 늘어난 1280억달러(179조3152만원) 규모로 사상 최대를 기록할 전망이다. 업계 관계자는 "최근 AI 반도체 수요 증가와 함께 여기에 들어가는 HBM 생산량 역시 빠르게 늘어나면서 시스템반도체, 메모리반도체 시장 모두 호조를 보인다"며 "이에 따라 반도체 장비기업들이 전방산업 투자 증가에 따른 낙수효과를 보는 상황"이라고 말했다. butter@fnnews.com 강경래 기자

[파이낸셜뉴스] 반도체 장비기업들이 반도체 경기가 호황에 진입하면서 3·4분기에 호실적을 낸 것으로 나타났다. 반도체 시장이 내년까지 상승 흐름을 이어갈 것으로 예상되면서 장비기업들이 올 4·4분기에도 긍정적인 실적을 내놓을 것으로 전망된다. 12일 관련 업계에 따르면 한미반도체가 주력 반도체 장비인 'TC본더'를 앞세워 올해 3·4분기에 분기 사상 최대 실적을 달성했다. 한미반도체는 이 기간 매출액 2085억원, 영업이익 993억원을 기록했다. 이익률은 무려 48%에 달했다. 올해 3·4분기 누적 실적 역시 매출액 4093억원, 영업이익 1834억원을 올리며 나란히 최대 실적을 갈아치웠다. 한미반도체 측은 올해 하반기 들어 국내외 시장에 TC본더 공급을 본격화하면서 기록적인 실적 달성이 가능했다고 설명했다. TC본더는 열을 이용해 반도체 칩을 위아래로 정밀하게 붙이는 기능을 하며, 최근 인공지능(AI) 반도체와 함께 수요가 크게 늘어나는 고대역폭메모리(HBM) 공정에 필수로 쓰인다. 한미반도체 관계자는 "SK하이닉스, 미국 마이크론 등에 TC본더를 납품하면서 현재 이 분야에서 전 세계 시장 점유율 1위 자리를 이어간다"며 "6세대 HBM4 제조를 위한 '마일드 하이브리드 본더'를 추가로 선보이는 등 앞선 기술력을 통해 실적 상승 흐름을 이어갈 것"이라고 말했다. 주성엔지니어링은 올해 3·4분기 실적을 집계한 결과 매출액이 전년 동기 861억원보다 71% 늘어난 1472억원이었다. 같은 기간 영업이익 역시 62억원에서 522억원으로 744% 증가했다. 이익률은 35%에 달했다. 올해 3·4분기 누적 매출액은 3011억원으로 이미 지난해 연간 실적 2847억원을 훌쩍 넘어섰다. 주성엔지니어링은 반도체 원판(웨이퍼) 위에 필요한 물질을 정밀하게 입히는 증착장비에 주력한다. 특히 원자층증착장비(ALD) 분야에서는 글로벌 경쟁력을 확보했다는 평가를 받았다. 주성엔지니어링은 원자층증착장비 등을 SK하이닉스에 활발히 납품한다. 반도체 증착장비에서 확보한 기술력을 유기발광다이오드(OLED), 태양광 등 다른 장비 분야로 확대하는 중이다. 주성엔지니어링 관계자는 "올해 2·4분기 이후 원자층증착장비 등 반도체 장비 수주와 함께 납품 물량이 꾸준히 늘어나면서 매 분기 실적 개선 흐름이 이어진다"며 "올해 4·4분기에도 긍정적인 실적 흐름이 예상된다"고 말했다. 파크시스템스 역시 호실적을 내놨다. 파크시스템스는 올해 3·4분기 매출액과 영업이익이 각각 전년 동기보다 28%, 60% 늘어난 414억원, 87억원이었다. 누적 매출액과 영업이익 역시 전년 동기보다 각각 12%, 24% 증가한 1117억원, 220억원이었다. 파크시스템스는 사물을 나노미터(㎚, 10억분의 1m) 단위로 정밀하게 측정할 수 있는 원자현미경 사업에 주력한다. 광학현미경과 전자현미경 배율은 각각 수천배와 수십만배인데 반해, 원자현미경은 수천만배에 달한다. 특히 원자현미경은 반도체 회로선폭이 ㎚ 단위로 미세화하면서 국내외 유수 반도체 기업들 사이에서 반도체 검사를 위해 도입이 활발히 이뤄지는 추세다. 이런 이유로 파크시스템스는 지난해 반도체 경기 침체에도 불구하고 매출액 1453억원을 기록, 사상 최대 실적을 갈아 치우기도 했다. 이렇듯 반도체 장비기업들이 올해 3·4분기 기록적인 실적을 낸 것은 최근 반도체 시장이 호황에 진입하고 이에 따라 전방산업 대기업들이 설비 투자를 늘리고 있기 때문으로 풀이된다. 실제로 시장조사기관 SEMI는 올해 세계 반도체 장비 시장이 전년 1063억달러(148조9369만원) 보다 2.5% 증가한 1090억달러(152조6981만원)로 예상했다. 특히 내년에는 올해보다 17.4% 늘어난 1280억달러(179조3152만원) 규모로 사상 최대를 기록할 전망이다. 업계 관계자는 "최근 AI 반도체 수요 증가와 함께 여기에 들어가는 HBM 생산량 역시 빠르게 늘어나면서 시스템반도체, 메모리반도체 시장 모두 호조를 보인다"며 "이에 따라 반도체 장비기업들이 전방산업 투자 증가에 따른 낙수효과를 보는 상황"이라고 말했다. butter@fnnews.com 강경래 기자

[파이낸셜뉴스] 원자현미경에 주력하는 파크시스템스가 올해 3·4분기 호실적을 내놨다. 현재까지 수주 상황을 감안하면 파크시스템스가 올해 연간으로 사상 최대 실적 경신이 가능할 전망이다. 파크시스템스는 올해 3·4분기 실적을 집계한 결과 매출액이 전년 동기보다 28% 늘어난 414억원이었다고 7일 밝혔다. 같은 기간 영업이익은 60% 증가한 87억원이었다. 영업이익률은 21%였다. 누적 실적으로도 전년 동기와 비교해 개선됐다. 파크시스템스 올해 3·4분기 누적 매출액은 전년 동기 대비 12% 늘어난 1117억원이었다. 같은 기간 영업이익은 24% 증가한 220억원이었다. 영업이익률은 20%에 달했다. 파크시스템스 관계자는 "올 하반기 장비 출고 물량이 늘어나면서 지난 2·4분기를 기점으로 매 분기 실적 상승 흐름이 이어진다"고 말했다. 파크시스템스는 최근 반도체 경기가 호황에 접어들면서 주목을 받는 업체 중 한 곳이다. 이 회사는 사물을 나노미터(㎚, 10억분의 1m) 단위로 정밀하게 측정할 수 있는 원자현미경 사업에 주력한다. 광학현미경과 전자현미경 배율은 각각 수천배와 수십만배인데 반해, 원자현미경은 수천만배에 달한다. 특히 원자현미경은 반도체 회로선폭이 ㎚(나노미터, 10억분의 1m) 단위로 미세화하면서 국내외 유수 반도체 기업들 사이에서 반도체 검사를 위해 도입이 활발히 이뤄지는 추세다. 이런 이유로 파크시스템스는 지난해 반도체 경기 침체에도 불구하고 매출액 1453억원을 기록하며 사상 최대 실적을 갈아 치우기도 했다. 증권가에서는 파크시스템스이 올해 반도체 경기 회복과 함께 전년보다 늘어난 실적을 예상한다. 하나증권은 파크시스템스가 올해 전년보다 15% 증가한 1673억원 매출액을 올릴 것으로 내다봤다. 같은 기간 영업이익은 275억원에서 466억원으로 증가하면서 수익성을 개선할 전망이다. 김민경 하나증권 연구원은 "최근 블랙웰 출시 지연을 두고 TSMC와 엔비디아간 서로 설계 결함과 공정 기술 문제 여부를 두고 갈등이 벌어진다"며 "이처럼 공정 난이도 상승에 따른 생산 차질로 인해 원자 단위로 검사를 진행할 수 있는 파크시스템스 원자현미경 수요는 더욱 증가할 것"이라고 말했다. 한편 시장조사기관 QY리서치에 따르면 파크시스템스는 지난해 전 세계 원자현미경 시장 점유율 20.61%를 기록, 2022년에 이어 2년 연속 업계 1위 자리를 이어갔다. QY리서치는 파크시스템스가 올해도 21.33% 점유율로 선두 자리를 지킬 것으로 예상했다. butter@fnnews.com 강경래 기자

반도체 소재·부품·장비(소부장) 기업들이 최신 제품과 기술을 앞세워 서울 삼성동에 집결했다. 24일 한국반도체산업협회에 따르면 25일까지 서울 코엑스에서 '제26회 반도체대전(SEDEX)'을 진행한다. 올해 전시회는 '인공지능(AI) 반도체와 최첨단 패키지 기술의 융합'을 주제로 삼성전자와 SK하이닉스를 비롯해 국내외 총 280개 업체가 700개 부스를 마련해 참가했다. 특히 주성엔지니어링과 신성이엔지 등 반도체 장비기업들을 비롯해 동진쎄미켐과 에프에스티, 미코 등 반도체 소재기업, LX세미콘과 세미파이브, 딥엑스 등 팹리스 업체들이 대거 참여했다. 우선 주성엔지니어링은 반도체 원판(웨이퍼) 위에 필요한 막을 입히는 기능을 하는 원자층증착장비(ALD) '가이던스 시리즈'를 선보였다. 가이던스 시리즈는 시공간 분할을 통해 단차 피복 비율과 박막 응력 등을 조절할 수 있다. 이를 통해 반도체 원판 위에 얇고 균일한 막을 입히는데 유리하다. 가이던스 시리즈는 반도체 원판 위에 소스와 퍼지, 가스 등 노출 시간을 자유자재로 제어할 수 있어 △커패시터 △트랜지스터 △인터커넥터 등 다양한 반도체 공정으로 확대 적용할 수 있다. 주성엔지니어링 관계자는 "반도체 회로선폭이 10㎚ 이하로 미세화 하는 등 빠르게 진화하는 추세"라며 "가이던스 시리즈는 반도체 업체들의 다양한 요구를 충족시킬 수 있을 것"이라고 말했다. 신성이엔지는 국내 반도체 산업 성장을 이끌어온 클린룸 기술을 공개했다. 특히 산업용 공기청정기 'FFU(Fan Filter Unit)' 첨단 공기 제어 기술을 통해 반도체 제조 공간인 클린룸 안에 있는 초미세먼지까지 제어, 제품 품질과 수율을 높이는 기능을 한다. 신성이엔지는 이 분야에서 전 세계 시장 1위 자리를 이어간다. 신성이엔지는 FFU와 함께 △청정 기능에 제습 기능을 더한 'EDM(Equipment Dehumidify Module)' △외부에서 유입되는 공기를 깨끗하게 처리해 실내로 공급하는 '외조기(OAC)' △공기 중 이온성 오염물질을 제거하는 'WSS' △정상 방향으로 기류 환경을 유지해주는 '기류 연동 시스템' △초미세먼지까지 감지하는 '미립자 가시화 시스템' 등을 전시했다. 신성이엔지 관계자는 "이번 반도체대전에 47년간 축적한 공기 제어 기술을 바탕으로 만든 제품들을 대거 출품했다"며 "앞으로도 기술 선도 기업으로서 첨단산업에 쓰이는 다양한 청정 토털솔루션을 선도적으로 제시하며 관련 산업 성장을 이끌 것"이라고 말했다. 세미파이브는 이번 전시회에서 'AI가 세미파이브를 이끈다'는 슬로건을 앞세워 그간 반도체 개발 현황과 AI 설계 플랫폼 등을 알리고 있다. 올해 양산에 들어간 5㎚ 공정 AI 반도체와 함께 내년 상반기 중 양산할 예정인 14㎚ 공정 AI 반도체 플랫폼 등을 공개했다. AI 반도체 분야에서 수요가 급증할 것으로 기대되는 AI 칩렛 솔루션도 전시했다. 세미파이브는 고성능 AI 반도체를 손쉽게 만들 수 있는 개발 플랫폼을 제공한다. 미국과 중국에 사무소를 운영하며 해외 시장 진출도 꾀한다. 세미파이브 관계자는 "AI 전용 반도체를 개발할 수 있는 가장 효율적인 솔루션을 제공한다"며 "앞으로 글로벌 AI 산업 한 축을 축을 담당할 것"이라고 말했다. 업계 관계자는 "최근 전 세계적으로 AI 생태계가 형성되고 고대역폭메모리(HBM) 등 반도체 업황 역시 호조를 보이면서 반도체대전 현장을 찾은 참관객들이 예년보다 늘어났다"며 "이에 발맞춰 참가한 업체들도 이번 전시회에 AI 반도체 등 최신 기술을 대거 선보였다"고 말했다. butter@fnnews.com 강경래 기자

[파이낸셜뉴스] 반도체 소재·부품·장비(소부장) 기업들이 최신 제품과 기술을 앞세워 서울 삼성동에 집결했다. 24일 한국반도체산업협회에 따르면 25일까지 서울 코엑스에서 '제26회 반도체대전(SEDEX)'을 진행한다. 올해 전시회는 '인공지능(AI) 반도체와 최첨단 패키지 기술의 융합'을 주제로 삼성전자와 SK하이닉스를 비롯해 국내외 총 280개 업체가 700개 부스를 마련해 참가했다. 특히 주성엔지니어링과 신성이엔지 등 반도체 장비기업들을 비롯해 동진쎄미켐과 에프에스티, 미코 등 반도체 소재기업, LX세미콘과 세미파이브, 딥엑스 등 팹리스 업체들이 대거 참여했다. 우선 주성엔지니어링은 반도체 원판(웨이퍼) 위에 필요한 막을 입히는 기능을 하는 원자층증착장비(ALD) '가이던스 시리즈'를 선보였다. 가이던스 시리즈는 시공간 분할을 통해 단차 피복 비율과 박막 응력 등을 조절할 수 있다. 이를 통해 반도체 원판 위에 얇고 균일한 막을 입히는데 유리하다. 가이던스 시리즈는 반도체 원판 위에 소스와 퍼지, 가스 등 노출 시간을 자유자재로 제어할 수 있어 △커패시터 △트랜지스터 △인터커넥터 등 다양한 반도체 공정으로 확대 적용할 수 있다. 주성엔지니어링 관계자는 "반도체 회로선폭이 10㎚ 이하로 미세화 하는 등 빠르게 진화하는 추세"라며 "가이던스 시리즈는 반도체 업체들의 다양한 요구를 충족시킬 수 있을 것"이라고 말했다. 신성이엔지는 국내 반도체 산업 성장을 이끌어온 클린룸 기술을 공개했다. 특히 산업용 공기청정기 'FFU(Fan Filter Unit)' 첨단 공기 제어 기술을 통해 반도체 제조 공간인 클린룸 안에 있는 초미세먼지까지 제어, 제품 품질과 수율을 높이는 기능을 한다. 신성이엔지는 이 분야에서 전 세계 시장 1위 자리를 이어간다. 신성이엔지는 FFU와 함께 △청정 기능에 제습 기능을 더한 'EDM(Equipment Dehumidify Module)' △외부에서 유입되는 공기를 깨끗하게 처리해 실내로 공급하는 '외조기(OAC)' △공기 중 이온성 오염물질을 제거하는 'WSS' △정상 방향으로 기류 환경을 유지해주는 '기류 연동 시스템' △초미세먼지까지 감지하는 '미립자 가시화 시스템' 등을 전시했다. 신성이엔지 관계자는 "이번 반도체대전에 47년간 축적한 공기 제어 기술을 바탕으로 만든 제품들을 대거 출품했다"며 "앞으로도 기술 선도 기업으로서 첨단산업에 쓰이는 다양한 청정 토털솔루션을 선도적으로 제시하며 관련 산업 성장을 이끌 것"이라고 말했다. 세미파이브는 이번 전시회에서 'AI가 세미파이브를 이끈다'는 슬로건을 앞세워 그간 반도체 개발 현황과 AI 설계 플랫폼 등을 알리고 있다. 올해 양산에 들어간 5㎚ 공정 AI 반도체와 함께 내년 상반기 중 양산할 예정인 14㎚ 공정 AI 반도체 플랫폼 등을 공개했다. AI 반도체 분야에서 수요가 급증할 것으로 기대되는 AI 칩렛 솔루션도 전시했다. 세미파이브는 고성능 AI 반도체를 손쉽게 만들 수 있는 개발 플랫폼을 제공한다. 미국과 중국에 사무소를 운영하며 해외 시장 진출도 꾀한다. 세미파이브 관계자는 "AI 전용 반도체를 개발할 수 있는 가장 효율적인 솔루션을 제공한다"며 "앞으로 글로벌 AI 산업 한 축을 축을 담당할 것"이라고 말했다. 업계 관계자는 "최근 전 세계적으로 AI 생태계가 형성되고 고대역폭메모리(HBM) 등 반도체 업황 역시 호조를 보이면서 반도체대전 현장을 찾은 참관객들이 예년보다 늘어났다"며 "이에 발맞춰 참가한 업체들도 이번 전시회에 AI 반도체 등 최신 기술을 대거 선보였다"고 말했다. butter@fnnews.com 강경래 기자