[파이낸셜뉴스] 아바코가 중국 최대 디스플레이 업체 BOE에 증착물류장비 공급을 사실상 확정했다. 14일 관련 업계에 따르면 아바코가 BOE로부터 증착물류장비 우선협상대상자로 선정됐다. 증착물류장비는 유기발광다이오드(OLED) 전공정에 쓰이는 핵심 장비로 분류된다. 앞서 BOE는 지난해 말 중국 청두 지역에 11조4000억원을 들여 8.6세대 OLED 공장을 건설한다는 계획을 발표했다. 아바코는 이번 BOE가 건설하게 될 8.6세대 OLED 공장에 증착물류장비를 공급할 것으로 알려졌다. 양사간 공식 공급 계약은 올 상반기 중 체결할 것으로 예상된다. butter@fnnews.com 강경래 기자

[파이낸셜뉴스] 아이엘사이언스가 차세대 전고체 2차전지(배터리) 상용화를 앞당길 수 있는 '양산 시스템 구축 기반 기술'을 확보했다. 15일 아이엘사이언스에 따르면 '소형 인라인 증착 설비를 이용한 롤투롤 리튬 증착 시스템' 기술을 특허로 출원했다. 전 세계적으로 많은 기업들이 리튬 금속 음극 기반 전고체 2차전지 개발에 박차를 가한다. 하지만 양산을 위해서는 리튬막을 증착할 수 있는 기술이 필요하다. 특히 증착설비를 작게 구현하고 양산에 적합한 고효율·저비용 증착 시스템이 중요하다. 아이엘사이언스는 가천대와 '금속 리튬 기반 음극 혁신 소재 및 전고체 2차전지 시스템' 개발을 위한 산학협력 협약을 체결했다. 2차전지 분야 권위자인 윤영수 교수가 이끄는 전지 및 에너지 변환 연구소 연구 결과물은 하이브리드 연료전지, 원자력 안정성 극대화 소재 및 차세대 전고체 2차전지 실효적 구현을 위한 공정 개발에 핵심적 역할을 할 것으로 기대된다. 또한 산학협력 일환으로 고재환 박사를 아이엘사이언스가 설립한 '가천대 차세대 배터리R&D센터' 센터장으로 영입했다. 고 박사는 가천대에서 신소재 공학 박사 학위를 받은 뒤 주성엔지니어링과 지에스나노텍, 참엔지니어링 등을 거쳤다. 국내외 유수 학술지에 다수 논문을 게재한 2차전지 분야 석학이다. 아이엘사이언스 관계자는 "이번 산학협력을 통해 혁신적 기술을 선보일 수 있도록 연구·개발에 매진한다"며 "실리콘렌즈 기술로 자동차 램프 시장에서 글로벌 시장 점유율 확대뿐 아니라 중장기적으로 2차전지 밸류체인에서 중요한 역할을 할 수 있도록 기반 기술을 축적할 것"이라고 말했다. butter@fnnews.com 강경래 기자

[파이낸셜뉴스] 특수지 전문기업 국일제지의 자회사 국일그래핀이 그래핀 기계장치에 관한 특허를 등록했다고 19일 밝혔다. 특허 명칭은 ‘그래핀 증착장치(Graphene layer deposition apparatus, 등록번호: 1024386640000)’다. 이번 특허는 티타늄 증착 공정에 비해 상대적으로 공정시간이 많이 소요되는 그래핀 합성 공정의 시간차를 고려해 개발됐다. 티타늄층이 형성된 기판들을 복수의 그래핀 형성부로 분할해 이송하고 복수의 그래핀 형성부로부터 다량의 그래핀이 합성되도록 하기 위해 발명됐다. 회사 관계자는 “해당 기술은 자사에서 보유한 저온 무전사 박막 그래핀 합성 기술을 바탕으로 ‘다중챔버를 활용한 그래핀 합성부’의 공정시간을 단축해 생산하는 것을 구체화했다는 점에 의의가 있다”라고 설명했다.  한편 이 회사는 해외 유수 기업으로부터 기술력을 인정받아 설비 증설 등 제안을 검토 중에 있다. kakim@fnnews.com 김경아 기자

[파이낸셜뉴스] 특수지 전문기업 국일제지 자회사 국일그래핀이 ‘대면적 그래핀 증착방법 및 이를 이용한 그래핀 연속 증착 장치’ 특허 등록을 완료했다고 13일 밝혔다. 해당 특허는 필름 기판을 공급 및 회수하는 필름 이송부를 포함한 롤투롤 공정(Roll-to-Roll processing) 장치를 구비하고 티타늄 층을 증착시켜 형성하는 스퍼터(Sputter)부와 티타늄층에 그래핀을 성장시키는 인젝터(Injector)를 포함하는 제조방식의 내용을 담고 있다. 각 공정은 독립된 챔버로 나누어져 이루어진다. 필름 기판 위에서 티타늄 층을 증착시킨 후 환원가스와 반응가스가 섞이지 않도록 한다. 이를 위해 티타늄 층을 환원단계와 그래핀 성장단계로 시간적 분할함과 동시에 퍼지가스로 환원가스와 반응가스의 공급 영역이 공간적으로도 분할된다. 환원가스와 반응가스가 섞여서 발생하는 파티클을 방지해 고품질의 그래핀을 제조할 수 있다. 국일제지 관계자는 “저온 무전사 그래핀 제조기술에 관한 국내외 특허 및 장치부분까지 특허를 보유함으로써 기술력을 확보하고 특허를 토대로 테스트를 지속하고 있다”며 “국일그래핀의 성남PM센터에서 다방면의 연구를 통해 무전사 그래핀의 우수한 성질을 가지는 제품 개발에도 힘쓰는 중”이라고 설명했다. taeil0808@fnnews.com 김태일 기자

[파이낸셜뉴스] 특수지 전문기업 국일제지의 자회사 국일그래핀이 대면적 그래핀 증착방법 및 이를 이용한 그래핀 연속 증착 장치(Method for forming large area graphene layer and grapheme layer deposition apparatus using the same, 등록번호: 10-2370692) 특허 등록을 완료했다고 13일 밝혔다. 본 특허의 구체적 제조방법은 필름 기판을 공급 및 회수하는 필름 이송부를 포함한 롤투롤 공정(Roll-to-Roll processing)장치를 구비하고 티타늄층을 증착시켜 형성하는 스퍼터(Sputter)부와 티타늄층에 그래핀을 성장시키는 인젝터(Injector)를 포함하고 있다. 각 공정은 독립된 챔버로 나누어져 이루어지는 생산방식이다. 필름 기판 위에서 티타늄층을 증착 시킨 후 환원가스와 반응가스가 섞이지 않도록 티타늄층을 환원단계와 그래핀 성장단계가 시간적으로 분할함과 동시에 퍼지가스로 환원가스와 반응가스의 공급 영역이 공간적으로도 분할된다. 환원가스와 반응가스가 섞여서 발생하는 파티클을 방지해 고품질의 그래핀을 제조할 수 있다. 국일제지 관계자는 “저온 무전사 그래핀 제조기술에 관한 국내외 특허 및 장치부분까지 특허를 보유함으로써 기술력을 확보하고 특허를 토대로 기술 테스트를 지속적으로 하고 있다”며 “국일그래핀의 성남PM센터에서 다방면의 연구를 통해 무전사 그래핀의 우수한 성질을 가지는 제품 개발 과정과 테스트를 진행하고 있다”고 설명했다. 그는 이어 “고객사들과 협의 및 기술미팅을 통해 가시적 성과 창출을 목표로 하고 있다”고 덧붙였다. dschoi@fnnews.com 최두선 기자

[파이낸셜뉴스] "높은 기술력을 바탕으로 국내 반도체 박막 증착 시장을 선도하고 있다. 반도체 부품에서 모듈, 소재까지 영역을 확대하겠다."  신현국 지오엘리먼트 대표이사 (사진)는 23일 파이낸셜뉴스와의 인터뷰에서 "2000년대 초반 반도체에 접목됐던 원자층 증착(ALD) 기술은 디스플레이와 자동차, 의료기기 등으로도 확장될 것"이라며 이 같이 말했다.  10월 코스닥시장 상장을 앞둔 지오엘리먼트는 반도체 8대 공정 중 증착·금속 배선 공정에 쓰이는 ALD과 물리적 증착(PVD) 공법의 핵심 부품 및 소재를 공급하고 있다.  올해 올해 기술성 평가에서 한국기업데이터와 이크레더블로부터 각각 A, A등급을 획득한 지오엘리먼트는 현재 총 39개의 특허를 보유 및 출원 중이다.  신 대표는 "지오엘리먼트는 세계에서 유일하게 기화상수를 이용해 화학약품 보관용기 격인 ‘캐니스터’를 생산하는 회사"라며 "센서 부문에서도 과거 걸림 등에 의한 사고위험이 있던 부레 타입을 개선해 국내 최초로 초음파 레벨 센서를 도입했다"고 설명했다. 이어 "캐니스터와 레벨 센서를 조합해 커스텀마이징(일대일 특화)된 기화이송 시스템을 공급할 수 있게 됐다"며 "지오엘리먼트의 제품이 국내에서 표준으로 자리 잡았단 점은 회사의 제품과 기술 강점을 부각하는 면모 중 하나"라고 덧붙였다.  실제 지오엘리먼트가 제출한 증권신고서에 따르면 회사의 전구체용 캐니스터와 초음파 레벨센서는 국내 관련 시장에서 95%의 점유율을 차지하고 있다.  국내 최초로 300mm 반도체용 스퍼터링 타겟인 알류미늄(AL) Q300을 국산화하기도 했다. 신 대표는 "국내서 사용되는 스퍼터링 타겟은 일본과 미국 업체에 의존하고 있었다"며 "국산화 성공에 따라 향후 지속적인 매출 증대를 기대할 수 있게 됐다"고 밝혔다.  지오엘리먼트는 상장 후 스퍼터링 타겟 양산 공급 확대 및 솔리드 캐니스터, 대용량 기화기 등 신제품 출시 등을 가속화할 계획이다.   신 대표는 "지오엘리먼트는 기술 중심의 회사인 만큼 향후에도 지속적으로 기술 중심으로 나아갈 것"이라며 "상장 후 주주들과도 적극 소통하는 기업으로도 성장해 나가겠다"고 덧붙였다.  지오엘리먼트는 오는 10월 6~7일과 12~13일 각각 기관투자자 대상 수요예측 및 일반 청약을 거쳐 10월중 코스닥시장에 입성할 예정이다. jo@fnnews.com 조윤진 기자

[파이낸셜뉴스] APS홀딩스가 메타버스 세계적인 신기술인 가상현실(AR), 증강현실(VR) FMM 증착 독점화 기술이 부각되며 상승세다. 21일 오후 1시 21분 현재 APS홀딩스는 전 거래일 대비 7.69% 오른 1만9600원에 거래되고 있다. 최근 국내 증시에 메타버스 열풍이 불고 있는 가운데 APS홀딩스의 메타버스 기술이 부각되고 있는 모양세다. APS홀딩스는 AR용 고휘도 및 고해상도 4000ppi(pixels per inch) AR 글라스 시제품 제작을 목표로 연구해 왔다. APS홀딩스는 이미 'AR용 고휘도 및 고해상도 마이크로유기발광다이오드(OLED) 기술개발' 국책과제 총괄기관으로 선정된 바 있다. 현재 해상도 4000ppi AR 글라스 시제품 완성을 앞두고 있다. 시장에서는 전자통신 연구원이자 서울대 출신 정기로 대표가 이끄는 APS 홀딩스는 세계최고의 연구진들과 함께 관련 기술을 연구해온 것으로 알려져 있다. 특히 현재 AP시스템에서 국책과제로 8세대 FMM 수평 증착 장비를 개발하고 있다. dschoi@fnnews.com 최두선 기자

[파이낸셜뉴스] 케이피에스가 유기발광다이오드(OLED) FMM(Fine Metal Mask) 인장기와 제조 방법에 대한 미국 특허권을 확보했다. FMM 인장기는 OLED 디스플레이 제조 시 유기물증착 공정을 위한 핵심 장비로 FMM의 처짐 없이 정확한 위치에 고정해 준다. 케이피에스는 26일 '수직형 증착기를 위한 마스크 프레임 조립장치(인장기) 및 그 방법에 대한 기술' 특허를 미국에 등록했다고 공시를 통해 밝혔다. 케이피에스는 이 같은 특허 기술이 적용된 FMM 프레임 조립장치 관련 장비를 세계 재료공학 리더기업인 미국 A사에 납품한 바 있다. 이 회사는 현재 일본 OLED 디스플레이 제조사와 관련 공정 기술을 개발 중이다. 케이피에스에 따르면 수직형 증착기는 기존 수평형 증착기에 비해 마스크 처짐 현상이 적다. 케이피에스 관계자는 "OLED 양산 방식은 처짐 현상 탓에 6세대 기판을 절반으로 잘라 증착하는 하프컷(G6H) 방식 수준에 머물러 있는데 수직형 증착 공정이 개발되면 풀컷을 비롯한 8세대 10세대 등 확장 양산 시도가 가능해진다"라고 설명했다. 이어 "FMM 인장기는 OLED 생산 수율에 직접적인 영향을 주는 장비라서 증착기와 함께 핵심 장치로 꼽힌다"라며 "케이피에스는 그간 기술력을 바탕으로 인장기 제조뿐 아니라 FMM 부품 및 소재에 관한 연구 개발 역시 활발하게 진행하고 있는 중"이라고 덧붙였다. 한편, OLED 디스플레이 및 재료 시장은 신종 코로나바이러스 감염증 팬데믹(세계적 대유행)에 따른 재택 근무, 원격 진료, 온라인 수업 등 영향으로 급성장하고 있다. 글로벌 시장조사 기관인 IHS 마킷은 올해 스마트폰용 중소형 OLED 디스플레이 패널 출하량이 2019년에 비해 10%가량 늘어날 것으로 내다봤다. OLED 재료 시장 역시 눈에 띄게 커지고 있다. 지난해 하반기에만 전년동기 대비 약 30% 증가한 것으로 집계됐다. dschoi@fnnews.com 최두선 기자

[파이낸셜뉴스] 국일그래핀이 그래핀 관련 특허를 출원하고 연구개발을 이어간다. 국일제지의 자회사인 국일그래핀이 “대면적 그래핀 증착방법 및 이를 이용한 그래핀 연속 증착장치”로 특허를 출원했다고 17일 밝혔다 국일그래핀은 출원한 특허를 바탕으로 가동 준비중인 연속식CVD증착장치에서 다양한 분야에 적용 가능한 그래핀 박막을 생산할 계획이다. 특히 플렉시블 연속식CVD증착설비는 대면적 양산화 설비로 장비설계 및 증착응용기술,적용범위에 대한 기술이 이번 특허에 적용된 것으로 알려졌다. 국일그래핀 관계자는 “당사는 그래핀 관련 기술을 꾸준히 연구하고 있는 상태”라며 “앞으로도 지속적인 연구로 그래핀 관련 기술 개발을 이어갈 것”이라고 말했다. 한편 경기도 성남에 그래핀 관련 피엠센터(Pilot Manufacturing Center)를 설립한국일그래핀은 기초연구개발과 파일럿 양산화 생산기능을 가진 설비를 설치중이다. 이번달 부터 전기 등 설비 관련된 제반공사를 시작으로 플렉시블 연속식CVD증착 설비(Roll to Roll설비)와 12인치 그래핀CVD증착 설비를 갖출 예정이다. dschoi@fnnews.com 최두선 기자

한국생산기술연구원이 반도체 생산 장비 내부에서 웨이퍼 위에 박막이 형성되는 전 과정을 실시간으로 관찰하고 측정·분석할 수 있는 '화학증착소재 실시간 증착막 측정 시스템'을 세계 최초로 개발했다고 16일 밝혔다.이 측정 시스템은 반도체뿐만 아니라 유기발광다이오드(OLED) 소재, 2차전지 또는 태양전지용 전극소재 등 다양한 분야에도 활용할 수 있다. 이번 연구개발은 국가과학기술연구회가 주관한 '창의형 융합연구사업' 과제를 통해 3년 만에 낸 성과로, 2019년 6월 시스템 개발을 완료하고 현재 반도체 소재 기업들과 상용화를 추진하고 있다. monarch@fnnews.com 김만기 기자