【 대전=김원준 기자】 최근 반도체 수요 폭증으로 반도체 소재기술이 함께 주목받고 있는 가운데, 반도체의 정밀도를 좌우하는 대표 반도체 소재기술인 반도체 연마제 'CMP(Chemical Mechanical Polishing) 슬러리'와 관련한 국내기업의 특허출원이 꾸준히 늘고 있다. 27일 특허청에 따르면 CMP 슬러리 관련 특허출원은 지난 2009년 87건에서 2018년 131건으로 최근 10년간 연평균 4.7%증가했다. 이 가운데 내국인의 출원 증가율은 6.1%로 외국인의 출원 증가율(3.6%)을 웃돌았고, 내국인의 출원 점유율은 2009년 39.1%에서 2018년에는 44.3%로 5.2%증가했다. 이는 국내 시장 점유율이 높은 글로벌 선도 기업들이 특허분쟁 등으로 특허출원에 주춤한 사이, 국내기업들이 CMP 슬러리 국산화 비중 확대를 위해 꾸준히 노력한데 따른 것이란 분석이다. 반도체 소자는 수 많은 얇은 막이 층층이 쌓여 있어 정밀도를 높이기 위해서는 막이 형성될 때마다 연마제와 패드를 이용해 거친 면을 평탄화하는 공정이 필요하다. 이를 CMP(Chemical Mechanical Pol ishing)공정이라 하며, 이 때 사용되는 연마제가 바로 CMP 슬러리다. 최근 10년간(2009~2018년) CMP 슬러리 분야 다출원인 중 1위는 케이씨텍이 차지했고(건수 164건·점유율 16.3%)이어 글로벌 기업인 후지미(124건·12.4%), 히타치(85건·8.5%), 캐보트(83건·8.3%)가 뒤를 이었다. 이밖에 삼성(70건·7.0%), 솔브레인(53건·5.3%), LG(25건·2.5%)가 10위권에 포함됐다. 특히 국내 중견기업인 케이씨텍과 솔브레인이 활발한 특허출원으로 CMP 슬러리 분야에서 내국인 특허출원 증가세를 이끌고 있는 점이 눈에 띈다. 세부 기술별로 보면, 실리콘 절연막 슬러리 관련 출원 (36.4%·365건)이 가장 많았다. 이어 구리, 텅스텐 등 금속막 슬러리 관련 출원(28.9%·290건), 연마입자 관련 출원(20.1%·202건), 유기막, 상변화막 등 특수막 슬러리 관련 출원(7.5%·75건) 순이었다. 출원인 유형별로는 외국기업이 61.2%(614건), 국내기업이 37.5%(377건)로 국내외 기업들이 특허출원을 주도했다. 기타 국내대학은 1.0%(10건), 국내연구소는 0.2%(2건), 외국대학은 0.1%(1건)로 저조했다. kwj5797@fnnews.com 김원준 기자

[파이낸셜뉴스 대전=김원준 기자] 최근 반도체 수요 폭증으로 반도체 소재기술이 함께 주목받고 있는 가운데, 반도체의 정밀도를 좌우하는 대표 반도체 소재기술인 반도체 연마제 'CMP(Chemical Mechanical Polishing) 슬러리'와 관련한 국내기업의 특허출원이 꾸준히 늘고 있다.  27일 특허청에 따르면 CMP 슬러리 관련 특허출원은 지난 2009년 87건에서 2018년 131건으로 최근 10년간 연평균 4.7%증가했다.  이 가운데 내국인의 출원 증가율은 6.1%로 외국인의 출원 증가율(3.6%)을 웃돌았고, 내국인의 출원 점유율은 2009년 39.1%에서 2018년에는 44.3%로 5.2%증가했다.  이는 국내 시장 점유율이 높은 글로벌 선도 기업들이 특허분쟁 등으로 특허출원에 주춤한 사이, 국내기업들이 CMP 슬러리 국산화 비중 확대를 위해 꾸준히 노력한데 따른 것이란 분석이다.  반도체 소자는 수 많은 얇은 막이 층층이 쌓여 있어 정밀도를 높이기 위해서는 막이 형성될 때마다 연마제와 패드를 이용해 거친 면을 평탄화하는 공정이 필요하다. 이를 CMP(Chemical Mechanical Polishing)공정이라 하며, 이 때 사용되는 연마제가 바로 CMP 슬러리다.  최근 10년간(2009~2018년) CMP 슬러리 분야 다출원인 중 1위는 케이씨텍이 차지했고(건수 164건·점유율 16.3%)이어 글로벌 기업인 후지미(124건·12.4%), 히타치(85건·8.5%), 캐보트(83건·8.3%)가 뒤를 이었다. 이밖에 삼성(70건·7.0%), 솔브레인(53건·5.3%), LG(25건·2.5%)가 10위권에 포함됐다.  특히 국내 중견기업인 케이씨텍과 솔브레인이 활발한 특허출원으로 CMP 슬러리 분야에서 내국인 특허출원 증가세를 이끌고 있는 점이 눈에 띈다.  세부 기술별로 보면, 실리콘 절연막 슬러리 관련 출원 (36.4%·365건)이 가장 많았다. 이어 구리, 텅스텐 등 금속막 슬러리 관련 출원(28.9%·290건), 연마입자 관련 출원(20.1%·202건), 유기막, 상변화막 등 특수막 슬러리 관련 출원(7.5%·75건) 순이었다.  출원인 유형별로는 외국기업이 61.2%(614건), 국내기업이 37.5%(377건)로 국내외 기업들이 특허출원을 주도했다. 기타 국내대학은 1.0%(10건), 국내연구소는 0.2%(2건), 외국대학은 0.1%(1건)로 저조했다.  유 밀 특허청 유기화학심사과 심사관은 “국내 기업의 적극적인 특허출원으로 CMP 슬러리 국산화 확대가 기대된다”며 “반도체의 미세화, 고집적화가 계속 진행되고 있는 만큼, 이러한 요구에 부합하는 CMP 슬러리에 대한 기술개발은 여전히 필요할 것”이라고 말했다. kwj5797@fnnews.com 김원준 기자

반도체 및 디스플레이 장비 전문업체인 케이씨텍은 반도체 웨이퍼 연마제인 세리아 연마제 증설투자를 내달 마무리한다고 13일 밝혔다. 케이씨텍은 이에 따라 다음달부터 증설라인이 양산체제에 돌입할 예정이다. 세리아 연마제는 반도체 공정에 투입돼 웨이퍼 표면을 평탄화하는 소모성 재료다. 케이씨텍의 세리아 연마제 생산시설은 종전에 연간 50t 규모였지만 이번 증설투자로 연간 생산량이 250t 규모로 늘어나게 됐다. 케이씨텍은 오는 2010년까지 생산 능력을 4000t 수준까지 끌어올려 전체 매출의 20% 수준까지 소재 산업을 성장시킬 계획이다. /hwyang@fnnews.com 양형욱기자

다이아몬드공구 전문업체인 인성다이아몬드는 다이아몬드의 강력한 마찰경도를 이용,유리와 철구용기 등 산업용소재를 연마하는데 쓰이는 ‘페퍼(pepper)’를 개발했다고 27일 밝혔다. 이 회사는 그동안 철구용기 등 산업용소재를 미세하게 연마하는데 마찰경도가 뛰어난 공구가 없어 일반 페퍼를 이용해야 하는 불편함이 커 이번 제품을 선보엿다고 설명했다. 또 이번 제품은 철?^아연 등을 이용한 일반 연마제와 달리 고강도 다이아몬드를 활용한 만큼 마찰경도가 5배 이상 뛰어나다고 덧붙였다. 이 회사 이상돈 사장은 “다이아몬드를 이용한 산업용 소재 연마제를 개발하면서 금속가공업체로부터 주문이 증가한다”며 “연말까지 50억원 규모의 매출달성이 가능할 것으로 기대하고 있다”고 말했다. (031)785-9780 /박찬흥기자

지난 1982년 설립된 소디프신호재는 특수 연마재(Garnet, Cerium 등)와 이차전지용 음극활물질(Graphite) 개발에 이어 반도체, 액정표시장치(LCD) 용 특수가스인 NF3의 개발해 주목을 받고 있다. 연마재 분야에 있어서는, 차세대 디스플레이로 확실하게 자리매김한 TFT-LCD Glass 용 고급 연마재 뿐만 아니라 PDP 용 특수 연마재 개발을 완료했다. 또한 이차 전지용 음극활물질은 차세대 전지용까지 개발 중에 있고 NF3, WF6에 이어 기타 반도체용 특수 가스들도 개발 중에 있어 머지 않아 정보 통신 분야의 핵심 소재 기업으로 우뚝 설 전망이다. 지난한해 동양제철화학으로 인수되면서 이로 인한 시너지도 기대되고 있다. 동양제철화학은 화학과 특수가스사업으로의 확장과 성장 시너지 효과 극대화가 기대되고 소디프신소재 자금력과 영업력이 탄탄한 동양제철화학의 후광효과로 인해 안정적인 성장전략의 가시권이 보다 넓어졌다. 올해 신규로 가동되는 삼성전자 7-2라인과 LG필립스LCD의 7라인 공급가능성이 높고 신규 제품인 WF6와 SiH4 등이 새로운 성장동력으로 역할을 해 줄 전망이다. 특히 이들 신규제품은 기존 NF3보다 더 고부가가치 제품들이기 때문에 수익성도 한단계 더 업그레이드 될 전망이다. ■애널리스트 분석 소디프신소재는 TFT-LCD 생산공정에 사용되는 NF3 생산업체로서 주력사업부의 NF3의 판매량은 지속적으로 증가하고 있다. 지난해 있었던 NF3의 라인증설(300톤 → 900톤) 효과가 올해 더욱 확대될 것으로 판단된다. 삼성전자 7세대라인이 본격적으로 가동되고, 06년에는 삼성전자 7-2라인과 LG필립스LCD의 7세대 라인이 본격적으로 가동될 것으로 기대되기 때문에 수요량은 더욱 증가할 것으로 전망된다. 신규사업인 SiH4(모노실란), WF6(불화 텅스텐) 가스 등의 사업도 순조롭기 때문에 06년 매출액은 05년 대비 65% 증가한 875억원에 달할 전망이며, 영업이익도 전년대비 46% 증가한 211억원으로 전망된다. 최근 동양제철화학으로 인수되면서 특수가스업체로서의 중장기적인 전망은 더욱 밝아 졌으며, 영업 등에서 시너지 효과를 발휘 할 것으로 기대된다. /한국투자증권 윤혁진 애널리스트 ※ 저작권자 ⓒ 파이낸셜뉴스. 무단 전재-재배포 금지

공업용 다이아몬드 전문업체 일진다이아몬드가 미크론 파우더(Micron Powder)를 양산, 본격적인 시장 공략에 나선다. 미크론 파우더는 전자제품, 반도체, 자동차 등 첨단분야에서 광범위하게 사용되는 미세 연마제다. 국내에서는 유일하게 일진다이아몬드가 생산하고 있으며 기존 제품 가격보다 4∼5배 비싼 고부가가치 제품이다. 일진다이아몬드는 “그동안 미크론 파우더를 만들어 자체적으로 생산하고 있는 다결정다이아몬드(PCD)와 다결정 입방정 질화붕소 화합물(PCBN) 가공에 사용해 왔으나 다음달 초부터 본격적인 양산에 들어간다”고 29일 밝혔다. 이번 프리미엄급 미크론 파우더 양산으로 내년에는 이 제품만으로 150억원의 매출과 100억원의 수입대체효과를 거둘 것으로 회사측은 예상하고 있다. 일진다이아몬드의 미크론 파우더는 고품질의 단결정 다이아몬드만을 원료로 사용해 우수한 내파괴 인성과 내충격 강도를 지닌 것이 특징으로 꼽힌다. 일진다이아몬드 신택중 사장은 “이번 프리미엄급 미크론 파우더 양산을 시작으로 고기능, 고부가가치의 공업용 다이아몬드 생산에 박차를 가할 계획”이라고 밝혔다. / hwani9@fnnews.com 서정환기자

[파이낸셜뉴스] 생활유리제조전문기업 SGC솔루션이 ‘글라스락 플레인 보온도시락’을 출시한다고 20일 밝혔다. 이번 신제품은 고물가로 인해 도시락 이용자가 증가하고 있는 소비 트렌드에 맞춰 출시됐다. 970㎖, 1300㎖의 두 가지 용량과 뮤트그린, 베이지 컬러로 구성됐다. ‘글라스락 플레인 보온도시락’은 보온 용기와 반찬 용기 2종, 수저 세트 및 파우치, 도시락 가방까지 꼭 필요한 제품으로만 담은 컴팩트한 구성으로, 어디서든 부담없이 사용할 수 있다. 보온 용기는 자사 기존 제품 대비, 내부에 특수 동도금 코팅이 2배 더 두껍게 적용돼 보온력을 강화했다. 품질과 안전 등에 대한 인증인 SGS 검사 결과, 동도금을 적용하지 않은 제품보다 온도가 약 5°C 높게 유지됐다. 보온 용기와 반찬 용기 2종 모두 스테인리스 304 소재로 만들어져 내식성이 우수하고 부식 걱정 없이 안심 사용이 가능하다. 숟가락과 젓가락, 전용 수저 파우치가 함께 구성돼 일회용 수저 사용 없이 편리하게 사용할 수 있다. 단열 처리로 높은 보온력을 갖추고, 핫팩 등을 넣을 수 있는 내부 수납 포켓과 손잡이 디자인의 전용 도시락 가방까지 한 세트로 휴대할 수 있어 일상에서의 사용부터 수험생들의 수능 도시락까지 다양한 활용이 가능하다. 쉽게 개폐가 가능한 감압 구조의 뚜껑으로 만들어졌으며, 입구 보온 슬리브로 보온 및 밀폐력을 높이고 뜨거운 국물도 안전하게 마실 수 있다. 또한 전해 연마 방식으로 만들어져 스테인리스 연마제 제거 작업 없이 주방 세제 세척 후 바로 사용할 수 있다. 임광빈 SGC솔루션 생활용품사업본부 본부장은 “‘글라스락 플레인 보온 도시락’은 외식보다 도시락 이용을 선호하는 소비 흐름에 맞춰 한 끼 식사를 챙길 수 있는 용기와 전용 수저세트, 가방까지 알찬 구성으로 선보이는 신제품”이라고 설명했다. camila@fnnews.com 강규민 기자

[파이낸셜뉴스] 산업용 로봇 제조 및 정보통신장비 전문기업 스맥은 반도체 웨이퍼 시편 자동 폴리싱 및 클리닝 장치 관련 특허를 취득했다고 22일 밝혔다. 이번에 특허 취득한 스맥의 웨이퍼 칩 폴리싱 및 클리닝 장치는 화학적 연마제 없이 반도체 웨이퍼의 시편을 폴리싱해 친환경적이다. 또 폴리싱 및 클리닝 장치가 듀얼 타입으로 장착돼 생산량을 증대시킨다. 기존 장치는 싱글로 화학적 연마제를 사용해 폴리싱 및 클리닝이 개별적으로 이루어졌으며 환경 오염 문제를 발생시키는 문제가 있었다. 하나의 장비 내에서 폴리싱 및 클리닝, 건조 작업을 통합적이고 연속적으로 작업도 가능하다. 웨이퍼 칩을 안정적으로 플레이트에 고정 및 회전시켜 웨이퍼 칩 시편의 검사 부위를 균일하고 정밀하게 처리가 가능해졌다. 국제반도체장비재료협회(SEMI)에 따르면 전세계 반도체 장비 시장 규모는 오는 2025년 1240억달러(약 169조원)로 최고치를 기록할 전망이다. 스맥은 다년간의 연구개발(R&D) 투자에 대한 결실로 반도체 시장에 특화된 공작기계 라인업을 이미 확대했다. 공작기계에서 더 나아가 반도체 폴리싱 장비 특허 취득으로 급격하게 성장하고 있는 국내를 비롯한 해외 반도체 장비 시장에 여러 전용장비 공급을 강화해 실적 성장세를 가속화할 계획이다. 스맥 관계자는 “스맥의 반도체 웨이퍼 장비는 여러 개의 시편 공정 작업을 동시에 할 수 있어 고객 맞춤형 폴리싱 및 클리닝 작업이 가능해 시장에서 각광받고 있다”며 “일련의 작업 자동화로 반도체 생산 증가에 유연하게 대응이 가능해 품질 분석 장비 투자 확대에 따른 매출 향상에 큰 기여를 할 것”이라고 말했다. 한편, 스맥은 공작기계, ICT사업부, 로봇 등 총 62건의 특허를 확보했으며 반도체 장비 분야에도 지속적으로 투자하고 있다. dschoi@fnnews.com 최두선 기자

【파이낸셜뉴스 춘천=김기섭 기자】 자동차용 광택제를 제조하는 신생기업 서안프로텍이 남춘천일반산업단지에 1만2000㎡ 규모의 공장을 설립한다. 24일 강원특별자치도와 춘천시에 따르면 25일 도청 본관 소회의실에서 서안프로텍과 자동차용 광택세정과 연마제 제조공장 창업을 위한 투자 협약식을 체결한다. 서안프로텍은 남춘천산단 내 1만2000㎡(3630평) 부지에 2024년까지 55억원을 투자해 연간 1만개의 자동차용 광택제, 코팅제, 세정제 생산 공장을 건립할 예정이다. 공장이 가동되면 10개의 신규 일자리가 창출된다. 서안프로텍은 지난 7월 창업한 신생기업으로 이번 투자를 발판으로 자동차 관리 용품의 80%이상을 국외 시장에 의존하고 있는 국내 시장 점유율을 높여 자동차 관리 용품 1위 기업으로 만들겠다는 목표다. 배기환 서안프로텍 대표이사는 “춘천 공장 창업을 통해 지역경제 활성화와 높은 수준의 품질, 생산력을 갖춘 기업으로 성장할 수 있도록 최선을 다하겠다”고 말했다. 정광열 도 경제부지사는 “춘천에 투자를 결정해 준 서안프로텍에 감사를 드린다"며 "사업이 원활히 추진될 수 있도록 적극 협조하겠다"고 말했다. kees26@fnnews.com 김기섭 기자

[파이낸셜뉴스] 오상자이엘이 보유한 알리무나 제조 방법이 테슬라의 2차전지 알루미나 보헤마이트의 분리막 채택에 주목을 받고 있다. 27일 금융투자업계에 따르면 오상자이엘은 '알루미나 미립자 및 이의 제조 방법에 관한 특허권'을 갖고 있다. 회사 측은 “본 발명의 제조방법에 의한 판상 α-알루미나는 다양한 각형비를 가질 수 있고 결정의 판과 판 사이가 얇고 가늘다”며 “순도가 매우 높고 입자 크기가 균일하게 분포돼 있어 진주광택 안료, 고급자동차용 외장 도료, 화장품, 코팅제, 플라스틱, 인쇄물, 잉크, 합성피혁, 파우더 코팅제 등 매우 다양한 제품에 적용될 수 있다”고 전했다. 특히 본 발명의 제조방법에 의한 'γ-알루미나' 역시 종래의 γ-알루미나에 비해 더 얇고 정교하게 얻어질 수 있다. 이처럼 알루미나에 대한 제조 방법을 오상자이엘이 가지고 있는 가운데 테슬라가 2차전지 분리막으로 알루미나 또는 보헤마이트 코팅을 한 분리막을 선택했다. 테슬라는 세라믹 성분인 알루미나 또는 보헤마이트 코팅을 통해 고온에서 형태를 유지한다. 가장 유명한 전기차의 선택은 2015년 테슬라 '모델s'에 적용된 스미토모 케미칼의 분리막이다. 한편 테슬라가가 선택한 분리막에 대해 오상자이엘은 수년 간의 연구 끝에 순수 보헤마이트를 이용한 감마 알루미나 개발에 성공했다. 보헤마이트는 촉매지지체, 흡착제, 반도체기판, LED 형광체, 코팅제, 윤활제, 연마제, 파인세라믹 등을 만드는 데 필요한 기초 소재다. 일반적인 수산화 알루미늄에 비해 높은 표면적과 미세한 기공경을 가지고 있는 활성 알루미나다. 오상자이엘이 개발한 순수 보헤마이트는 3가의 수산화알루미늄을 거치지 않고 바로 보헤마이트를 생산하는 것이 특징이다. 독특한 생산 제법으로 결정성과 강도, 내산성이 우수하며, 순수한 알루미늄 메탈에서 출발했기 때문에 결정 구조가 좋고 불순물 관리가 용이하다. 공정이 단순하고 생산 조건 등의 변경이 가능해 비표면적과 입자 크기 등의 물리적 성질을 조절할 수 있다. 감마 알루미나와 델타 알루미나, 세타 알루미나, 알파 알루미나를 독자적으로 생산할 수 있으며 고객사가 원하는 알루미나 성상도 제공 가능하게 돼 독자적인 특정 분야의 제품을 개발할 수 있다. 투자업계 관계자는 "오상자이엘이 개발한 감마 알루미나는 탈황 촉매 등 촉매 개발에 최적화 된 촉매 지지체 전용으로 한다. 파우더를 기본으로 과립이나 정제, 구체 등 다양한 형태로 제공한다"며 "생산비가 적게 들고 품질이 뛰어나 전량 수입에 의존했던 보헤마이트를 대체하고 나아가 수출까지 가능할 것으로 기대되고 있다"고 말했다. dschoi@fnnews.com 최두선 기자